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本发明提供一种激光能量调节装置及激光微加工设备,利用分光器将激光脉冲分成用于照射工件和进行激光能量图像识别的两个激光子脉冲,当进行激光能量图像识别的激光子脉冲在采样板上形成激光光斑后,对激光光斑进行图像拍摄和预处理,再将激光光斑图像与基准激...该专利属于深圳市智鼎自动化技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市智鼎自动化技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种激光能量调节装置及激光微加工设备,利用分光器将激光脉冲分成用于照射工件和进行激光能量图像识别的两个激光子脉冲,当进行激光能量图像识别的激光子脉冲在采样板上形成激光光斑后,对激光光斑进行图像拍摄和预处理,再将激光光斑图像与基准激...