弹性波器件及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种弹性波器件及其制备方法，在具有高声速的支撑衬底上形成呈周期性等间距间隔排列的叠层结构，目标模式为纵向电场激发的高阶声波模式，分立的叠层结构可破坏0阶模式的传播，并大幅降低0阶模式的机电耦合系数，使它们远离主模式，以激发高频和大机电耦合系数声波模式；相邻的叠层结构中具有相反方向的电场，因此叠层结构的周期P和支撑衬底的声速决定了支撑衬底的截止频率，通过截止频率的选择还可以在实现对主模约束的同时使得更高频的寄生模式泄露到支撑衬底中，从而最大程度抑制各种类型寄生模式；该结构不包含空腔和布拉格反射层，因此结构稳定且简单。本发明专利技术可在高频应用中实现大带宽和抑制寄生模式。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微电子器件领域，涉及一种弹性波器件及其制备方法。

技术介绍

1、现代无线通信系统对信号质量的要求越来越高，低损耗、宽带宽、可调谐以及温度稳定性已经成为通讯行业的普遍追求目标。

2、声学谐振器包括声表面波(surface acoustic wave，saw)谐振器和体声波(bulkacoustic wave，baw)谐振器。其中，体声波(bulk acoustic wave，baw)谐振器的目标模式工作频率与压电薄膜的厚度成反比，通过减小压电薄膜的厚度可以提高baw的工作频率。常规的支撑衬底由于无法对baw进行有效地约束，因而需要通过空腔或者布拉格反射层等进行目标模式的约束。然而随着频率的提高，空腔结构对器件的稳定性和散热特性提出了挑战，而布拉格反射层则会引入复杂的制备工艺以及产生寄生效应。基于压电异质衬底的声表面波(surface acoustic wave，saw)谐振器在高品质因数(q值)、体积、温度稳定性以及功率容量方面均有较大的优势，然而目前常用的声表面波模式声速较低，难以应用在3.5ghz以上频段。</p>

3、基于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弹性波器件，其特征在于：所述弹性波器件包括：

2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述压电薄膜的厚度记为h，且h<P；所述压电薄膜包括钽酸锂薄膜、铌酸锂薄膜、锆钛酸铅薄膜及铌镁酸铅-钛酸铅薄膜中的一种或组合。

3.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述目标模式为纵向电场激发的高阶声波模式，所述高阶声波模式包括高阶兰姆波模式或高阶水平剪切波模式。

4.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述下电极为悬浮电极并在有效谐振区域外连通，且相邻所述叠层结构中的所述上电极与相反符号的电信号相连；或所述上电极为悬浮电极并在...

【技术特征摘要】

1.一种弹性波器件，其特征在于：所述弹性波器件包括：

2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述压电薄膜的厚度记为h，且h<p；所述压电薄膜包括钽酸锂薄膜、铌酸锂薄膜、锆钛酸铅薄膜及铌镁酸铅-钛酸铅薄膜中的一种或组合。

3.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述目标模式为纵向电场激发的高阶声波模式，所述高阶声波模式包括高阶兰姆波模式或高阶水平剪切波模式。

4.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述下电极为悬浮电极并在有效谐振区域外连通，且相邻所述叠层结构中的所述上电极与相反符号的电信号相连；或所述上电极为悬浮电极并在有效谐振区域外连通，且相邻所述叠层结构中的所述下电极与相反符号的电信号相连；或所述上电极、所述下电极均非悬浮电极，且相邻所述叠层结构中的所述下电极、相邻所述叠层结构中的所述上电极、同一所述叠层结构中的所述上电极及同一所述叠层结构中的所述下电极均与相反符号的电信号相连。

5.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：在有效谐振区域外，所述下电极与所述上电极的投影无重叠区；或在有效谐振区域外，所述下电极与所述上电极的投影具有重叠区且重叠区不具有所述压电薄膜。

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【专利技术属性】
技术研发人员：吴进波，
申请(专利权)人：上海馨欧集成微电有限公司，
类型：发明
国别省市：