【技术实现步骤摘要】
本技术涉及棱镜耦合仪的载片夹具设备，尤其涉及一种棱镜耦合仪载片夹具。
技术介绍
1、棱镜耦合仪载片夹具是对晶圆进行棱镜耦合检测时使用的夹具。用现有的棱镜耦合仪载片夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时，由于顶针顶端的水平面积比较小，容易因顶针压力增加过快或晶圆放置位置偏差，导致晶圆未能完全贴合在棱镜的下底面上，易出现晶圆掉落、晶圆被压碎、棱镜磨损严重和操作容错率低，从而导致测试结果出现偏差，测试成功率低。
2、因此，设计一种在用棱镜耦合仪载片夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时测试结果不易出现偏差，测试成功率高的夹具显得非常必要。
技术实现思路
1、本技术是为了解决现有棱镜耦合仪载片夹具存在的上述不足，提供一种棱镜耦合仪载片夹具，在用棱镜耦合仪载片夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时，顶针压力可慢慢增加，晶圆放置位置偏差小，晶圆能完全贴合在棱镜的下底面上，不易出现晶圆掉落，不易出现晶圆被压碎，棱镜磨损小，操作容错率高，测试结果不易出现偏差，测试成功率高，使用方便简单，可靠性高。
2、为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种棱镜耦合仪载片夹具，包括棱镜耦合仪载片夹具本体，所述的棱镜耦合仪载片夹具本体包括支架、设置在支架上端的上夹和设置在支架下端的下夹，上夹包括一个检测端和固定在检测端上的棱镜，下夹包括一个能上下伸缩的顶针，并且所述顶针向上伸长到设定长度后其顶针的顶端面能顶在棱镜的下底面上；棱镜耦合仪载片夹具还包括载片放置模块，所述的载片放置模块
4、在平板的中部设有板通孔；板通孔的口径大于棱镜的长度，板通孔的口径也大于顶针的直径；
5、矩形块的竖直通孔套紧固定连接在顶针的外侧壁上；并且板通孔的孔心线与顶针的中心线均落在同一条竖直线上，平板位于顶针顶端的上方，棱镜的下表面到平板的上表面之间的高度差小于或等于被夹的载片厚度；
6、顶针的顶端面、平板的上表面和棱镜的下底面均为与水平面相平行的平面。
7、本专利中被夹的载片为晶圆。
8、在使用时，先用手把拉手往下拉，让平板往下移动到棱镜下表面的下方，然后把晶圆放置在平板的上表面上，让晶圆的中部位于板通孔处，然后慢慢减小手的拉力让平板慢慢往上移动，从而让晶圆的上表面中部压在棱镜的下底面上；然后让顶针慢慢向上移动，让顶针的顶端就顶在晶圆的下表面中部，从而就让晶圆的上表面中部完全贴合在棱镜的下底面上；
9、在用棱镜耦合仪载片夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时，顶针压力可慢慢增加，晶圆放置位置偏差小，晶圆能完全贴合在棱镜的下底面上，不易出现晶圆掉落，不易出现晶圆被压碎，棱镜磨损小，操作容错率高，测试结果不易出现偏差，测试成功率高，使用方便简单，可靠性高。
10、作为优选，在平板的后端水平朝外设有延长杆，在平板的左端或右端也水平向外设有延长杆，在每根延长杆的上表面上分别设有限位块，并且每个限位块到板通孔之间的间距可调节。
11、作为优选，一个气缸的缸座固定在支架的下端，气缸的伸缩杆竖直向上布置，顶针的下端固定连接在气缸的伸缩杆上。
12、作为优选，在上夹的检测端的下表面上设有缺口，棱镜耦合仪载片夹具本体的棱镜固定设置在缺口内，并且棱镜的下底面要低于上夹的下表面；棱镜的下底面与水平面平行，顶针的上顶面和平板的上表面也分别与水平面平行。
13、作为优选，在板通孔的前侧方、左侧方、后侧方和右侧方的平板上都分别设有板孔。
14、作为优选，棱镜的下表面位于板通孔内。
15、作为优选，在平板的后端水平朝外设有延长杆，在平板的左端或右端也水平向外设有延长杆，在每根延长杆的上表面上分别设有限位块，并且每个限位块到板通孔之间的间距可调节。
16、作为优选，在每根延长杆上沿着延长杆的上表面中心线分别设有长圆孔，在每个长圆孔上分别设有锁紧螺栓，每根延长杆上的限位块分别通过对应的锁紧螺栓紧固连接在对应的延长杆上。
17、作为优选，延长杆的上表面与平板的上表面在同一水平面上。
18、本技术能够达到如下效果：
19、本技术在用棱镜耦合仪载片夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时，顶针压力可慢慢增加，晶圆放置位置偏差小，晶圆能完全贴合在棱镜的下底面上，不易出现晶圆掉落，不易出现晶圆被压碎，棱镜磨损小，操作容错率高，测试结果不易出现偏差，测试成功率高，使用方便简单，可靠性高。
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1.一种棱镜耦合仪载片夹具，包括棱镜耦合仪载片夹具本体，所述的棱镜耦合仪载片夹具本体包括支架、设置在支架上端的上夹和设置在支架下端的下夹，上夹包括一个检测端和固定在检测端上的棱镜，下夹包括一个能上下伸缩的顶针，并且所述顶针向上伸长到设定长度后其顶针的顶端面能顶在棱镜的下表面上；其特征在于，棱镜耦合仪载片夹具还包括载片放置模块，所述的载片放置模块包括矩形块和平板，在矩形块的上表面中部设有竖直通孔，在矩形块的上表面左右两端分别竖直设有一个竖直滑孔，在每个竖直滑孔内分别上下滑动设置有一根滑动杆，两根滑动杆的上端分别固定连接在所述平板的下表面的左右两端；在每根滑动杆的下端连接有拉手，在位于平板的下表面与矩形块的上表面之间的每根滑动杆上分别活动套设有挤压弹簧，每根弹簧的两端分别挤压连接在平板的下表面上和矩形块的上表面上；
2.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，一个气缸的缸座固定在支架的下端，气缸的伸缩杆竖直向上布置，顶针的下端固定连接在气缸的伸缩杆上。
3.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，在上夹的检测端的下表面上设有缺口
4.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，在板通孔的前侧方、左侧方、后侧方和右侧方的平板上都分别设有板孔。
5.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，棱镜的下表面位于板通孔内。
6.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，在平板的后端水平朝外设有延长杆，在平板的左端或右端也水平向外设有延长杆，在每根延长杆的上表面上分别设有限位块，并且每个限位块到板通孔之间的间距可调节。
7.根据权利要求6所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，在每根延长杆上沿着延长杆的上表面中心线分别设有长圆孔，在每个长圆孔上分别设有锁紧螺栓，每根延长杆上的限位块分别通过对应的锁紧螺栓紧固连接在对应的延长杆上。
8.根据权利要求6或7所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，延长杆的上表面与平板的上表面在同一水平面上。
...【技术特征摘要】
1.一种棱镜耦合仪载片夹具，包括棱镜耦合仪载片夹具本体，所述的棱镜耦合仪载片夹具本体包括支架、设置在支架上端的上夹和设置在支架下端的下夹，上夹包括一个检测端和固定在检测端上的棱镜，下夹包括一个能上下伸缩的顶针，并且所述顶针向上伸长到设定长度后其顶针的顶端面能顶在棱镜的下表面上；其特征在于，棱镜耦合仪载片夹具还包括载片放置模块，所述的载片放置模块包括矩形块和平板，在矩形块的上表面中部设有竖直通孔，在矩形块的上表面左右两端分别竖直设有一个竖直滑孔，在每个竖直滑孔内分别上下滑动设置有一根滑动杆，两根滑动杆的上端分别固定连接在所述平板的下表面的左右两端；在每根滑动杆的下端连接有拉手，在位于平板的下表面与矩形块的上表面之间的每根滑动杆上分别活动套设有挤压弹簧，每根弹簧的两端分别挤压连接在平板的下表面上和矩形块的上表面上；
2.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，一个气缸的缸座固定在支架的下端，气缸的伸缩杆竖直向上布置，顶针的下端固定连接在气缸的伸缩杆上。
3.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，在上夹的检测端的下表...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘勇，林尚亚，天夫，
申请(专利权)人：江苏海湾半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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