【技术实现步骤摘要】
本申请属于光电检测、测量设备领域，特别涉及波阵面分割干涉仪、双频激光干涉仪、多频激光干涉仪、白光干涉仪、白激光干涉仪。
技术介绍
1、利用电磁波的干涉原理能制造出精度非常高的检测仪器，如激光陀螺仪、波长测量计、位移测量计、倾角测量仪、激光干涉测距仪、傅里叶红外光谱仪、折射率测量仪等，但在已经公开的各种干涉仪中，由于干涉仪对光源的相干性要求较高、故而大都采用对同一束小截面光束进行振幅分割后、分别构成参考光束和测量光束的办法来实现干涉测量，但这种方式在最终干涉叠加时又要求它们具有相同的作用空间才可能产生干涉叠加场，故而会导致光学路径必然封闭的结果，而任意闭合路径的环路波长增量或频率增量必然为0(基于转动检测的塞格纳克干涉仪除外，但塞格纳克干涉仪仅能用于转动检测、并不适合物理对象在欧氏几何空间中所表现出的各向异性特征进行测量)，因为它们无法为各向异性参数测量提供必要的原理支撑；即便像杨氏双缝干涉/劳埃德镜这样的波阵面分割干涉装置，也因为光信号的同源问题形成互补抵消、且两光束的向量夹角太小也不适合用于检测对象的各向异性参数的测量；一种可选的办法...
【技术保护点】
1.基于平面光路设计的非闭合光路波阵面分割干涉仪，其特征在于，为一种基于平面光学结构设计的、具有预先交叉区域和弯折式单程-双程-共模组合光路结构的波阵面分割干涉仪装置，使用波阵面为平面波的平行光作为第二平行光源(201)；该光源发出的平行光束的其中一部分在经过一个转折角度为90°的作为光路转折器的第二测量光束反射镜(204)后进入有效测量光束工作区；该光源发出的平行光束的另一部分在经过另一个转折角度为90°的作为光路转折器的参考光束反射镜一(202)后进入参考光束共模区，在经过作为光路转折器的参考光束反射镜一（202）之前的第二参考光束（211）与第二有效测量光束（2...
【技术特征摘要】
1.基于平面光路设计的非闭合光路波阵面分割干涉仪，其特征在于，为一种基于平面光学结构设计的、具有预先交叉区域和弯折式单程-双程-共模组合光路结构的波阵面分割干涉仪装置，使用波阵面为平面波的平行光作为第二平行光源(201)；该光源发出的平行光束的其中一部分在经过一个转折角度为90°的作为光路转折器的第二测量光束反射镜(204)后进入有效测量光束工作区；该光源发出的平行光束的另一部分在经过另一个转折角度为90°的作为光路转折器的参考光束反射镜一(202)后进入参考光束共模区，在经过作为光路转折器的参考光束反射镜一（202）之前的第二参考光束（211）与第二有效测量光束（214）的交汇区设置有样品载台（208）；在共模参考光束（213）行进的方向上设置有转折角度为90°的作为光路转折器的参考光束反射镜二（203）、使再次转折后的参考光束能与第二有效测量光束（214）保持正交关系；设置作为测量光路转折器的第二测量光束反射镜（204）与参考光路中作为转折器的参考光束反射镜一（202）和参考光束反射镜二（203）的垂直距离lzr为有效测量光束长度lzm的一半实现等光程设计；在第二有效参考光束二（215）与第二有效测量光束（214）的交汇处设置有第二半透半反相干合束镜（205）；合束后的干涉光束其中一组形成第二主干涉光束集（216）通往第二干涉...
【专利技术属性】
技术研发人员：董仕，
申请(专利权)人：重庆米森科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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