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基于平面光路设计的非闭合光路波阵面分割干涉仪制造技术
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下载基于平面光路设计的非闭合光路波阵面分割干涉仪的技术资料
文档序号:40014647
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本申请属于光电检测设备领域,提供了一种基于平面光路设计的非闭合光路波阵面分割干涉仪,使用波阵面为平面的平行光作为光源,在对该光源出射的光束波阵面进行分割后执行分束转向传播、从而构成不同行光路径的两束光,同时将这不同行光路径中的有效测量光束设...
该专利属于重庆米森科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆米森科技有限公司授权不得商用。
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