薄膜太阳能电池的背电极膜层制造技术

本发明专利技术公开一种适合大规模工业在线生产非晶硅太阳能电池背电极连续镀膜的方法及其装置。其技术特征：中频双直筒旋转靶材溅射ＡＺＯ氧化物透明导电膜加直流平面靶材镀金属膜方法及连续在线镀膜装置，包括气体隔离室、真空泵组和两端真空门阀在内的气体隔离装置，设置在ＡＺＯ透明氧化物膜层区域与金属膜层区域真空室之间。将单一分离式氧化物镀膜镀膜和金属膜层的镀膜线整合为在线一体机，消除了“串气”现象，技术效果明显，使背电极膜层具高强附着力，成本低，产能高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种薄膜太阳能电池背电极膜层的制备方法，其特征是：在线制备太阳能电池背电极膜层，采用包括至少磁控溅射旋转靶材和平面靶材在内磁控溅射透明导电氧化物膜层和金属导电膜层，其步骤：（ａ）由前室沉积非晶硅ＰＩＮ膜层的玻璃基板进入连续镀膜装置，经前端处理，进入氧化物磁控溅射镀膜区内，在非晶硅ＰＩＮ膜层上用旋转磁控溅射靶材镀背电极ＡＺＯ透明氧化物膜层；（ｂ）该玻璃基板通过位于氧化物镀膜区与金属膜层镀膜区之间的气体隔离装置，进入金属镀膜区内用平面磁控溅射靶材镀金属导电膜层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李毅，刘志斌，宋光耀，杨清斗，
申请(专利权)人：深圳市创益科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]