在线准直装置及系统制造方法及图纸

本申请公开了一种在线准直装置及系统，属于光学仪器调整技术领域。所述在线准直装置用于准直光学反射腔体的腔镜，所述在线准直装置包括主取样镜结构和辅助装调结构，所述主取样镜结构间隔设置在所述光学反射腔体外，用于接收并半透半反准直光束；所述辅助装调结构设置在所述光学反射腔体内，用于接收透射后的准直光束并反射至所述腔镜上，以及接收从所述腔镜反射回的工作光束并反射至所述主取样镜结构上，进而辅助准直所述腔镜。通过以辅助装调结构为基准，并通过主取样镜结构上的入射光斑和反射光斑来调整腔镜，从而能实现在真空环境下对腔镜快速且精确地准直。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于光学仪器调整，尤其涉及一种在线准直装置及系统。

技术介绍

1、自由电子激光装置这一新型光源以其波长连续可调、功率高、光束品质好等突出优点受到广泛应用。光学谐振腔是自由电子激光装置的核心部件，主要由在真空环境下的两块相互对心的反射镜构成，通过由该两块反射镜确定的中心轴线与电子束运动轨迹及波荡器的磁场中心重合，从而确保自由电子激光装置的输出功率最大。因此，往往需要对两个反射镜的姿态进行高精度的安装准直。

2、目前的光学谐振腔反射镜是在非真空环境下进行调节的，将反射镜的轴线调整至与电子束的运动轨迹相重合，然后对光学谐振腔进行抽真空，在真空环境下对反射镜的姿态进行进一步地准直直至探测到从光学谐振腔输出的光束信号强度最大设为调整完毕。然而，在真空情况下对反射镜进行安装准直过程已经没有了辅助基准，会使得整个安装过程无法准确预估，安装过程也没有目的性，从而导致安装准直的时间可能非常长，精度也会降低。

技术实现思路

1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种在线准直装置及系本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种在线准直装置，用于准直光学反射腔体的腔镜，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的在线准直装置，其特征在于，所述辅助装调结构包括辅助反射镜组，所述辅助反射镜组在所述光学反射腔体内具有准直工位和通光工位，其中：

3.根据权利要求1所述的在线准直装置，其特征在于，所述主取样镜结构包括：

4.根据权利要求3所述的在线准直装置，其特征在于，所述主取样镜结构还包括主照相组件，设置在所述主取样镜的下方，用于对所述主取样镜上形成的入射光斑和反射光斑进行拍照。

5.根据权利要求1至4任一项所述的在线准直装置，其特征在于，还包括：

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【技术特征摘要】

1.一种在线准直装置，用于准直光学反射腔体的腔镜，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的在线准直装置，其特征在于，所述辅助装调结构包括辅助反射镜组，所述辅助反射镜组在所述光学反射腔体内具有准直工位和通光工位，其中：

3.根据权利要求1所述的在线准直装置，其特征在于，所述主取样镜结构包括：

4.根据权利要求3所述的在线准直装置，其特征在于，所述主取样镜结构还包括主照相组件，设置在所述主取样镜的下方，用于对所述主取样镜上形成的入射光斑和反射光斑...

【专利技术属性】
技术研发人员：李朝阳，耿继宝，安宁，王超，洪传贵，
申请(专利权)人：安徽创谱仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：