一种涂布机供液系统技术方案

本技术属于半导体设备制备技术领域，具体涉及一种涂布机供液系统，本涂布机供液系统包括：第一缓冲罐、第二缓冲罐、第一检测机构、第二检测机构，以及分别与第一缓冲罐、第二缓冲罐连接的药液处理机构；所述第一检测机构适于检测第一缓冲罐的进液口；所述第二检测机构适于检测第二缓冲罐的进液口；在任一缓冲罐的进液口检测到气泡时，切换另一缓冲罐工作，以使流经药液处理机构的涂布液继续供给到涂布刀。本技术的涂布机供液系统，设置两个缓冲罐，当其中一个缓冲罐的进液口检测到气泡时，切换另一缓冲罐工作，以使流经药液处理机构的涂布液继续供给到涂布刀，实现了涂布机供液系统的不间断供液，兼顾了供液的稳定性和涂布的效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体设备制备，具体涉及一种涂布机供液系统。

技术介绍

1、当前原液进入涂布机管路的时候容易夹带气泡，会导致涂布过程中的涂布工艺不良率增加。

2、现有技术一般采用通过设置缓冲罐消除气泡进行供液的技术方案，然而一个缓冲罐可能无法完全消除气泡，倘若将未消泡彻底的原液输入涂布刀，会影响涂布效果；倘若继续消泡，又会影响供液的稳定性，使得涂布间断。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种涂布机供液系统，通过设置两个缓冲罐，实现了涂布机供液系统的不间断供液，兼顾了供液的稳定性和涂布的效果。

2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种涂布机供液系统，包括：

3、第一缓冲罐、第二缓冲罐、第一检测机构、第二检测机构，以及分别与第一缓冲罐、第二缓冲罐连接的药液处理机构；所述第一检测机构适于检测第一缓冲罐的进液口；所述第二检测机构适于检测第二缓冲罐的进液口；在任一缓冲罐的进液口检测到气泡时，切换另一缓冲罐工作，以使流经药液处理机构的涂布液继续供给到涂布刀。

4、进一步，所述第一缓冲罐、第二缓冲罐分别连接一原液供液罐。

5、进一步，所述第一检测机构包括：设置在第一缓冲罐进液口处的第一进液气泡传感器、第一进液气控阀。

6、进一步，所述第一检测机构还包括：设置在第一缓冲罐排液口处的第一排液气泡传感器、第一排液气控阀。

7、进一步，所述第二检测机构包括：设置在第二缓冲罐进液口处的第二进液气泡传感器、第二进液气控阀。</p>

8、进一步，所述第二检测机构还包括：设置在第二缓冲罐排液口处的第二排液气泡传感器、第二排液气控阀。

9、进一步，所述药液处理机构包括：分别与第一缓冲罐、第二缓冲罐连接的药液罐，以及依次与药液罐连接的过滤器、水泵。

10、进一步，所述第一缓冲罐的供液口处设置有第一供液气控阀。

11、进一步，所述第二缓冲罐的供液口处设置有第二供液气控阀。

12、进一步，所述涂布机供液系统还包括：废液罐。

13、本技术的有益效果是，本技术的涂布机供液系统，当其中一个缓冲罐的进液口检测到气泡时，切换另一缓冲罐工作，以使流经药液处理机构的涂布液继续供给到涂布刀，实现了涂布机供液系统的不间断供液，兼顾了供液的稳定性和涂布的效果。

14、本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。

15、为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

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【技术保护点】

1.一种涂布机供液系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的涂布机供液系统，其特征在于，

3.如权利要求1所述的涂布机供液系统，其特征在于，

4.如权利要求3所述的涂布机供液系统，其特征在于，

5.如权利要求1所述的涂布机供液系统，其特征在于，

6.如权利要求5所述的涂布机供液系统，其特征在于，

7.如权利要求1所述的涂布机供液系统，其特征在于，

8.如权利要求1所述的涂布机供液系统，其特征在于，

9.如权利要求1所述的涂布机供液系统，其特征在于，

10.如权利要求1所述的涂布机供液系统，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种涂布机供液系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的涂布机供液系统，其特征在于，

3.如权利要求1所述的涂布机供液系统，其特征在于，

4.如权利要求3所述的涂布机供液系统，其特征在于，

5.如权利要求1所述的涂布机供液系统，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，磨建新，金基德，李京哲，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：

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