一种背出光面射型激光器及测试方法技术

本发明专利技术公开了一种背出光面射型激光器，包括外延结构，外延结构的正面设有电极，背面设有电极引出端，背面为出光面；外延结构包括器件区和位于器件区之外的外围区，外围区设有连接结构，连接结构包括贯穿外延结构的正面和背面的通孔，通孔侧壁具有离子注入绝缘层，通孔内填充导电材料并导通电极和电极引出端。本发明专利技术还公开了一种背出光面射型激光器的测试方法。本发明专利技术的结构中，电极通过设于VCSEL外延结构的外围区的连接结构实现相反面的引出，其中连接结构与外延结构之间通过离子注入绝缘层进行电性隔离处理，避免了连接结构对器件本身性能的影响，适配于不同的测试设备及测试方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于激光器的，具体涉及一种背出光面射型激光器及测试方法。

技术介绍

1、垂直腔表面发射激光器(vcsel)是一种出光方向垂直于谐振腔表面的激光器，其具有体积小、单纵模输出、阈值电流小、光电转换效率高、造价低等特点，可以广泛应用于光通信、光互联、光存储等领域。vcsel根据出光方向区分成正面出光与背面出光的vcsel。其中背出光面射型激光器与倒装芯片(flip－chip)技术结合时，其n/p电极共面且位于发光面相对的正面以便于表面贴装，因其更高的性能和更低的成本成为未来发展极具竞争力的关注方向。

2、目前主流的测量设备主要包含收光装置和测试平台，将vcsel置于测试平台基板上，n/p电极连接探针给电，通过测试平台上方的收光装置来进行收光，这种测试设备难以支持flip chip背出光面射型激光器的电性测试。改进方式为将vcsel背面朝下放置于透明的石英玻璃基板上，探针于正面连接n/p电极，收光装置置于测试平台下方，透过石英玻璃基板收光的形式进行测试，这种方式有如下缺点：

3、1、石英玻璃基板温控难度大，气体氛围控温测试难度大、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种背出光面射型激光器，其特征在于：包括外延结构，外延结构的正面设有电极，背面设有电极引出端，背面为出光面；外延结构包括器件区和位于器件区之外的外围区，外围区设有连接结构，连接结构包括贯穿外延结构的正面和背面的通孔，通孔侧壁具有离子注入绝缘层，通孔内填充导电材料并导通电极和电极引出端。

2.根据权利要求1所述的背出光面射型激光器，其特征在于：所述离子注入绝缘层的厚度为5-10μm。

3.根据权利要求1所述的背出光面射型激光器，其特征在于：所述电极和电极引出端之间通过单个或间隔设置的多个所述连接结构导通。

4.根据权利要求1所述的背出光面射型激光器，...

【技术特征摘要】

1.一种背出光面射型激光器，其特征在于：包括外延结构，外延结构的正面设有电极，背面设有电极引出端，背面为出光面；外延结构包括器件区和位于器件区之外的外围区，外围区设有连接结构，连接结构包括贯穿外延结构的正面和背面的通孔，通孔侧壁具有离子注入绝缘层，通孔内填充导电材料并导通电极和电极引出端。

2.根据权利要求1所述的背出光面射型激光器，其特征在于：所述离子注入绝缘层的厚度为5-10μm。

3.根据权利要求1所述的背出光面射型激光器，其特征在于：所述电极和电极引出端之间通过单个或间隔设置的多个所述连接结构导通。

4.根据权利要求1所述的背出光面射型激光器，其特征在于：所述连接结构的通孔在所述衬底上的投影为圆形、条形或异形，且关键尺寸为30-80μm。

5.根据权利要求1所述的背出光面射型激光器，其特征在于：所述导电材料和所述电极引出端采用相同的金属材料。

6.根据权利要求1所述的背出光面射型激光器，其特征在于：所述离子注入绝缘层由所述通孔侧壁延伸至所述衬底背面，所述电极引出端由所述连接结构上方延伸至衬底背面的所述离子注入绝缘层上。

7.根据权利要求1所述的背出光面射型激光器，其特征在于：所述外延结构由背面至正面按序包括衬底、n型dbr、有源层和p型dbr；所述电极包括p电极和n电极，所述电极引出端包括p电极引出端和n电极引出端；p电极和p电极引出端之间、n电极和n电极引...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈宏勋，姜驰，曾评伟，范纲维，
申请(专利权)人：泉州市三安光通讯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：