下载一种背出光面射型激光器及测试方法的技术资料

文档序号:39984816

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本发明公开了一种背出光面射型激光器,包括外延结构,外延结构的正面设有电极,背面设有电极引出端,背面为出光面;外延结构包括器件区和位于器件区之外的外围区,外围区设有连接结构,连接结构包括贯穿外延结构的正面和背面的通孔,通孔侧壁具有离子注入绝缘...
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