【技术实现步骤摘要】
本技术涉及夹具，尤其涉及一种溅射靶材用夹具。
技术介绍
1、激光刻字是指利用高能量密度的激光对工件进行局部照射，使工件的表层材料汽化或发生颜色变化的化学反应，从而可在工件上标记各种各样复杂的文字及图案标识，留下永久性标记的一种打标方法。溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式。溅射镀膜采用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜。这种被镀的材料就叫溅射靶材。
2、现有技术中，在对溅射靶材进行激光刻字期间，一般采用人工手扶溅射靶材的方式，使得溅射靶材垂直对准激光发射器，由激光发射器对溅射靶材进行激光刻字。
3、但是，在进行激光刻字期间，人工手扶溅射靶材的方式，对溅射靶材的定位不稳，在激光刻字期间，手部的轻微抖动也会导致溅射靶材的刻字标识不够清晰，激光打出的标识会产生重叠虚影，严重的情况会损伤溅射靶材的溅射面和焊接面，影响溅射靶材后续的溅射镀膜质量。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种溅射靶材用夹具，以解决现有技术中存在的人工手扶溅射靶材时，手部的轻微抖动会导致溅射靶材的刻字标识不够清晰，严重的情况会损伤溅射靶材的溅射面和焊接面，影响溅射靶材后续的溅射镀膜质量的技术问题。
2、如上构思，本技术所采用的技术方案是：
3、溅射靶材用夹具，包括：
4、承载板；
5、限位板，连接于所述承载板且与所述承载板相对间隔设置，所述限位板与所述承载板之间的
6、夹紧件，设置于所述限位板，所述夹紧件能够将溅射靶材压紧于所述承载板；
7、活动支架，包括固定部和可转动连接于所述固定部的转动部，所述承载板固定连接于所述转动部，所述转动部能够相对所述固定部转动90°以与所述固定部垂直或者相对所述固定部折叠。
8、可选地，所述承载板和所述限位板之间还连接有固定轴，所述固定轴的一端与所述承载板垂直固定连接，另一端滑动套设于所述限位板，所述固定轴上套设有转动套，所述转动部垂直于所述固定部时，所述转动套能够承接所述溅射靶材。
9、可选地，所述限位板通过连接件连接于所述承载板，所述连接件能够调节所述限位板与所述承载板之间的距离。
10、可选地，所述连接件为螺纹连接件。
11、可选地，所述活动支架还包括限位杆，所述限位杆的一端与所述固定部滑动连接，另一端与所述转动部铰接，所述限位杆用于限制所述转动部相对所述固定部的转动角度。
12、可选地，所述固定部的截面呈“匚”型，所述固定部包括：
13、固定板，被配置为固定连接在工作台；
14、两个第一加强板，分别固定连接于所述固定板的两侧，所述转动部与两个所述第一加强板均可转动连接且能够与所述固定部叠置。
15、可选地，所述转动部的截面呈“匚”型，所述转动部包括：
16、连接板，所述承载板与所述连接板固定连接；
17、两个第二加强板，分别固定连接于所述连接板的两侧，所述第二加强板与所述第一加强板一一对应转动连接。
18、可选地，所述限位杆设置有两个，两个所述限位杆与两个所述第一加强板一一对应设置，每一所述限位杆的一端与其对应的所述第一加强板滑动连接，另一端与其对应的所述第二加强板铰接。
19、可选地，两个所述限位杆之间连接有转轴，所述转轴的两端分别与两个所述第二加强板转动连接，所述第一加强板上设置有与所述转轴配合的限位槽，所述转动部与所述固定部叠置时，所述转轴卡接于所述限位槽。
20、可选地，所述第一加强板上设置有与所述限位杆滑动连接的滑槽。
21、本技术的有益效果：
22、本技术提出的溅射靶材用夹具，能够在溅射靶材的激光刻字过程中稳定夹紧溅射靶材，且限位板与承载板间的间距可调，能够适应不同厚度的溅射靶材。
23、在使用时，将固定部固定连接在工作台。在夹紧溅射靶材时，转动部转动至相对固定部折叠，承载板平行于工作台；根据溅射靶材的厚度调整限位板与承载板之间的间距，保证夹紧件能够稳定将溅射靶材压紧于承载板；采用夹紧件将溅射靶材压紧于承载板。
24、随后，操作人员手动操作承载板，使得转动部转动至垂直固定部，承载板也垂直于工作台，从而使得压紧在承载板上的溅射靶材也垂直于工作台。在激光刻字时，夹紧件将溅射靶材压紧于承载板，保证对溅射靶材的稳定夹紧，从而保证溅射靶材在激光刻字时的位置稳定性，进而保证溅射靶材在后续的溅射镀膜质量。
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1.溅射靶材用夹具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述承载板(1)和所述限位板(2)之间还连接有固定轴(5)，所述固定轴(5)的一端与所述承载板(1)垂直固定连接，另一端滑动套设于所述限位板(2)，所述固定轴(5)上套设有转动套(6)，所述转动部(42)垂直于所述固定部(41)时，所述转动套(6)能够承接所述溅射靶材(10)。
3.根据权利要求1所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述限位板(2)通过连接件(7)连接于所述承载板(1)，所述连接件(7)能够调节所述限位板(2)与所述承载板(1)之间的距离。
4.根据权利要求3所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述连接件(7)为螺纹连接件。
5.根据权利要求1-4任一项所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述活动支架(4)还包括限位杆(43)，所述限位杆(43)的一端与所述固定部(41)滑动连接，另一端与所述转动部(42)铰接，所述限位杆(43)用于限制所述转动部(42)相对所述固定部(41)的转动角度。
6.根据权利要求5所述的溅射靶
7.根据权利要求6所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述转动部(42)的截面呈“匚”型，所述转动部(42)包括：
8.根据权利要求7所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述限位杆(43)设置有两个，两个所述限位杆(43)与两个所述第一加强板(412)一一对应设置，每一所述限位杆(43)的一端与其对应的所述第一加强板(412)滑动连接，另一端与其对应的所述第二加强板(422)铰接。
9.根据权利要求8所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，两个所述限位杆(43)之间连接有转轴(44)，所述转轴(44)的两端分别与两个所述第二加强板(422)转动连接，所述第一加强板(412)上设置有与所述转轴(44)配合的限位槽(4121)，所述转动部(42)与所述固定部(41)叠置时，所述转轴(44)卡接于所述限位槽(4121)。
10.根据权利要求8所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述第一加强板(412)上设置有与所述限位杆(43)滑动连接的滑槽(4122)。
...【技术特征摘要】
1.溅射靶材用夹具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述承载板(1)和所述限位板(2)之间还连接有固定轴(5)，所述固定轴(5)的一端与所述承载板(1)垂直固定连接，另一端滑动套设于所述限位板(2)，所述固定轴(5)上套设有转动套(6)，所述转动部(42)垂直于所述固定部(41)时，所述转动套(6)能够承接所述溅射靶材(10)。
3.根据权利要求1所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述限位板(2)通过连接件(7)连接于所述承载板(1)，所述连接件(7)能够调节所述限位板(2)与所述承载板(1)之间的距离。
4.根据权利要求3所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述连接件(7)为螺纹连接件。
5.根据权利要求1-4任一项所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述活动支架(4)还包括限位杆(43)，所述限位杆(43)的一端与所述固定部(41)滑动连接，另一端与所述转动部(42)铰接，所述限位杆(43)用于限制所述转动部(42)相对所述固定部(41)的转动角度。
6.根据权利要求5所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，李桂鹏，陈雪，徐立红，袁玉博，张宇杰，李辑德，
申请(专利权)人：同创丽水特种材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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