【技术实现步骤摘要】
本技术涉及夹具，尤其涉及一种溅射靶材用夹具。
技术介绍
1、激光刻字是指利用高能量密度的激光对工件进行局部照射，使工件的表层材料汽化或发生颜色变化的化学反应，从而可在工件上标记各种各样复杂的文字及图案标识，留下永久性标记的一种打标方法。溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式。溅射镀膜采用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜。这种被镀的材料就叫溅射靶材。
2、现有技术中，在对溅射靶材进行激光刻字期间，一般采用人工手扶溅射靶材的方式，使得溅射靶材垂直对准激光发射器，由激光发射器对溅射靶材进行激光刻字。
3、但是，在进行激光刻字期间，人工手扶溅射靶材的方式，对溅射靶材的定位不稳，在激光刻字期间，手部的轻微抖动也会导致溅射靶材的刻字标识不够清晰，激光打出的标识会产生重叠虚影，严重的情况会损伤溅射靶材的溅射面和焊接面，影响溅射靶材后续的溅射镀膜质量。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种溅射靶材...
【技术保护点】
1.溅射靶材用夹具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述承载板(1)和所述限位板(2)之间还连接有固定轴(5)，所述固定轴(5)的一端与所述承载板(1)垂直固定连接，另一端滑动套设于所述限位板(2)，所述固定轴(5)上套设有转动套(6)，所述转动部(42)垂直于所述固定部(41)时，所述转动套(6)能够承接所述溅射靶材(10)。
3.根据权利要求1所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述限位板(2)通过连接件(7)连接于所述承载板(1)，所述连接件(7)能够调节所述限位板(2)与所述承载板(1)之间的距离。
4.根...
【技术特征摘要】
1.溅射靶材用夹具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述承载板(1)和所述限位板(2)之间还连接有固定轴(5)，所述固定轴(5)的一端与所述承载板(1)垂直固定连接，另一端滑动套设于所述限位板(2)，所述固定轴(5)上套设有转动套(6)，所述转动部(42)垂直于所述固定部(41)时，所述转动套(6)能够承接所述溅射靶材(10)。
3.根据权利要求1所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述限位板(2)通过连接件(7)连接于所述承载板(1)，所述连接件(7)能够调节所述限位板(2)与所述承载板(1)之间的距离。
4.根据权利要求3所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述连接件(7)为螺纹连接件。
5.根据权利要求1-4任一项所述的溅射靶材用夹具，其特征在于，所述活动支架(4)还包括限位杆(43)，所述限位杆(43)的一端与所述固定部(41)滑动连接，另一端与所述转动部(42)铰接，所述限位杆(43)用于限制所述转动部(42)相对所述固定部(41)的转动角度。
6.根据权利要求5所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，李桂鹏，陈雪，徐立红，袁玉博，张宇杰，李辑德，
申请(专利权)人：同创丽水特种材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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