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本技术公开了一种溅射靶材用夹具，其属于夹具技术领域，溅射靶材用夹具包括：承载板；限位板，连接于所述承载板且与所述承载板相对间隔设置，所述限位板与所述承载板之间的间距可调；夹紧件，设置于所述限位板，所述夹紧件能够将溅射靶材压紧于所述承载板；活...
该专利属于同创（丽水）特种材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过同创（丽水）特种材料有限公司授权不得商用。

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