【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体传输设备，尤其涉及一种晶圆传输设备。
技术介绍
1、晶圆传输设备通常被搭载在光刻机、离子注入机、清洗机、薄膜沉积设备等晶圆加工处理设备的前端，用以实现晶圆在晶圆装载装置与晶圆加工处理设备之间的流转。在对晶圆进行加工处理之前，需对晶圆的位置方向进行预对准，因此，现有的晶圆传输设备除了对晶圆进行搬运处理外，还会兼具晶圆预对准的处理。
2、而晶圆传输设备因搭载的加工处理设备的不同，其自身的结构及功能也会存在很大的差异，并且晶圆传输设备与晶圆加工处理设备之间零部件的设置位置、搬运方式以及搬运处理流程都会对晶圆的传片率产生影响。因此，晶圆传输设备通常是根据特定的功能需求进行特定的设计的。
3、由于工艺加工处理设备对晶圆洁净度要求较高，机械手在多个腔室之间来回搬运晶圆的速度较快，容易造成腔室之间的气流扰动，从而影响到洁净度要求更高的腔室内的洁净度。
4、另外，对于光刻机等部分加工处理设备，其晶圆的进出入口位置较低，而晶圆装载装置上的晶圆盒内的晶圆放置位置较高，两者之间的高度差较大。但现有的晶圆传输设备中的机械手因自身高度及移动行程的限制，难以沿用常规的机械手路径实现对晶圆盒的取片及对光刻机出入口处的晶圆搬运动作，导致晶圆传输效率较低。
技术实现思路
1、为克服上述缺点，本专利技术的目的在于提供一种晶圆传输设备，既能满足晶圆传输过程中的洁净度需求，又能提高晶圆传输效率。
2、为了达到以上目的，本专利技术采用的技术方案是：一种晶圆
3、晶圆装载装置，用以装载存储晶圆的晶圆盒；
4、传输舱，其一侧与晶圆盒的开口连通，另一侧设有与晶圆加工设备对接的晶圆出入口；传输舱内设有至少两个沿水平方向布设的洁净腔室，任一相邻的两个洁净腔室之间通过对接口连通；
5、搬运机构，包括与洁净腔室一一对应设置的搬运机械手，搬运机械手位于对应的洁净腔室内，用以将晶圆搬运至相邻的洁净腔室、晶圆盒或晶圆出入口处；
6、最靠近晶圆加工设备一侧的洁净腔室内设有预对准机构，预对准机构包括预对准组件、缓存组件，缓存组件位于预对准组件的下方，用以缓存自晶圆加工设备搬运回洁净腔室内的晶圆。
7、本专利技术晶圆传输设备的有益效果在于：
8、1、在传输舱中，通过设置至少两个独立的洁净腔室，能利用多个洁净腔室的分级过滤以满足晶圆最终的洁净度需求，避免单个洁净腔室过滤效果有限的问题；再通过对接口的设置为晶圆在相邻两个洁净腔室之间的流转提供了可能，以实现晶圆搬运传输的目的；在搬运机构中，通过在每个洁净腔室内均设置能独立运行的搬运机械手，能利用多个搬运机械手的协作实现多个晶圆在不同洁净腔室内的同时传输，以减少单个搬运机械手工作时的等待时间，提高整体的传输效率；
9、2、由于现有技术中一些晶圆加工设备（如光刻机）的晶圆出入口与晶圆装载装置的晶圆盒高度相差较大，因此，本专利技术通过设置两个洁净腔室，并通过在每个洁净腔室内均设置搬运机械手，且在一个腔室中设置集成有预对准组件与缓存组件的预对准机构，以保证每个搬运机械手在其运行范围内均能满足所需的高度行程需求和高效传输需求。
10、进一步来说，晶圆盒的高度高于晶圆出入口的高度，对接口的高度均介于晶圆盒高度、晶圆出入口高度之间，且所有对接口的高度自靠近晶圆装载装置向靠近晶圆加工设备方向依次减小。
11、将对接口的高度限定在晶圆盒高度与晶圆出入口高度之间，且所有对接口的高度自靠近晶圆装载装置向靠近晶圆加工设备方向依次减小，通过在每个洁净腔室内均设置搬运机械手，以保证每个搬运机械手在其运行范围内均能满足所需的高度行程需求，并解决难以沿用常规的机械手路径实现对晶圆盒的取片及对晶圆加工设备上的晶圆出入口处的晶圆搬运动作，提高晶圆的搬运效率。
12、进一步来说，晶圆传输设备还包括与所述对接口一一对应设置的导流机构，所述导流机构包括分别位于所述对接口两侧的导流组件，所述导流组件能抽吸所述洁净腔室靠近对接口处的气流，并将抽吸的气流导引至同一所述洁净腔室内。更进一步地，导流组件包括吸风器，吸风器安装在对接口的侧下方；且吸风器的吸风口与水平方向的夹角为0~40°。
13、在导流机构中，通过在对接口处设置位于其两侧的导流组件，能对洁净腔室靠近对接口处的气流进行导流，进而避免气体经对接口进入到另一洁净腔室内；保证对应的洁净腔室的洁净度稳定性。而通过吸风器可以将对接口处紊乱的气流向下抽吸，从而使对接口处的气流趋于平稳；再通过对吸风器的吸风口的角度限定能配合搬运机械手倾斜移动的方向，以加强吸风效果。
14、进一步来说，吸风器的吸风口处还设有导流板，导流板上开设有若干导流孔。通过导流板的设置能减缓吸风器抽吸气体的速度，防止因抽吸速度过快形成二次紊流。在实际设计时，导流孔的形状并不受限，可以是圆孔、槽孔或方形孔等各种形状。
15、进一步来说，吸风器远离对接口的一侧安装有用以识别搬运机械手位置的接近开关。通过接近开关的设置能及时启停吸风器，在保证有效吸风的同时，达到节能的目的。且在对接口的两侧均设置吸风器，使得搬运机械手在进入对接口和离开对接口时均能受到吸风器的吸风作用，进而有效避免了对接口附近的紊流。
16、示例性地，为了便于描述，将对接口一侧的吸风器设定为第一吸风器，相应的，接近开关设定为第一接近开关；将对接口另一侧的吸风器设定为第二吸风器，相应的，接近开关设定为第二接近开关。
17、在搬运机械手向对接口的方向移动的过程中，搬运机械手首先靠近第一吸风器，此时，第一接近开关识别出搬运机械手进入了第一吸风器的工作范围内，随即第一接近开关发出信号，以启动第一吸风器；而当搬运机械手远离第一吸风器时，第一接近开关识别出搬运机械手离开了第一吸风器的工作范围，第一接近开关随即发出信号以关停第一吸风器。同理，当搬运机械手自对接口移动至靠近第二吸风器时，第二接近开关识别出搬运机械手进入了第二吸风器的工作范围内，随即第二接近开关发出信号以启动第二吸风器；而当搬运机械手远离第二吸风器时，第二接近开关识别出搬运机械手离开了第二吸风器的工作范围，第二接近开关随即关停第二吸风器。
18、进一步来说，搬运机械手沿倾斜于水平的方向搬运晶圆。
19、由于搬运机械手的移动速度较快，当其在对接口附近移动时，容易在对接口处形成紊流，且容易造成两个洁净腔室内的气体流动（即一个洁净腔室内的气体经对接口进入到另一洁净腔室内），进而影响到洁净腔室内的洁净度；而洁净腔室内的气流方向通常是沿竖直方向的，当搬运机械手沿水平方向移动时，因移动方向与气流方向垂直，其对气流的扰动程度是最大的。因此，本专利技术将搬运机械手的搬运方向限定为倾斜于水平方向，能在一定程度上减少搬运机械手移动时对气流的扰动程度；同时，因搬运机械手倾斜移动，也能在一定程度上避免扰动的气流直接进入到对接口内。
20、进一步来说，预对准组件包括上支架及安装在上支架上的旋转平台、晶圆吸附部，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆传输设备，其特征在于：包括
2.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在于：所述晶圆盒的高度高于所述晶圆出入口的高度，所述对接口的高度均介于晶圆盒高度、晶圆出入口高度之间，且所有所述对接口的高度自靠近所述晶圆装载装置向靠近所述晶圆加工设备方向依次减小。
3.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在于：还包括与所述对接口一一对应设置的导流机构，所述导流机构包括分别位于所述对接口两侧的导流组件，所述导流组件能抽吸所述洁净腔室靠近对接口处的气流，并将抽吸的气流导引至同一所述洁净腔室内；所述导流组件包括吸风器，所述吸风器安装在所述对接口的侧下方；且所述吸风器的吸风口与水平方向的夹角为0~40°。
4.根据权利要求3所述的晶圆传输设备，其特征在于：所述吸风器的吸风口处还设有导流板，所述导流板上开设有若干导流孔；所述吸风器远离所述对接口的一侧安装有用以识别搬运机械手位置的接近开关。
5.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在于：所述搬运机械手沿倾斜于水平的方向搬运晶圆。
6.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特
7.根据权利要求6所述的晶圆传输设备，其特征在于：所述预对准组件还包括第一对位部，所述第一对位部安装在所述上支架上，其包括配合使用的固定夹持块、活动夹持块，所述固定夹持块、活动夹持块分别位于所述旋转平台的两侧，且所述活动夹持块能在驱动件的作用下向靠近或远离所述固定夹持块的方向移动。
8.根据权利要求7所述的晶圆传输设备，其特征在于：所述固定夹持块、活动夹持块朝向晶圆的一侧均设有圆弧面，且所述固定夹持块的圆弧面的轴心线与所述旋转平台的轴心线重合。
9.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在于：所述缓存组件包括与所述预对准组件固接的下支架，所述下支架上设有用以限定晶圆位置的第二对位部。
10.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在于：任一所述洁净腔室的顶部均设有空气过滤器，所述空气过滤器向所述洁净腔室输送垂直向下的洁净气体。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆传输设备，其特征在于：包括
2.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在于：所述晶圆盒的高度高于所述晶圆出入口的高度，所述对接口的高度均介于晶圆盒高度、晶圆出入口高度之间，且所有所述对接口的高度自靠近所述晶圆装载装置向靠近所述晶圆加工设备方向依次减小。
3.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在于：还包括与所述对接口一一对应设置的导流机构，所述导流机构包括分别位于所述对接口两侧的导流组件，所述导流组件能抽吸所述洁净腔室靠近对接口处的气流，并将抽吸的气流导引至同一所述洁净腔室内；所述导流组件包括吸风器，所述吸风器安装在所述对接口的侧下方；且所述吸风器的吸风口与水平方向的夹角为0~40°。
4.根据权利要求3所述的晶圆传输设备，其特征在于：所述吸风器的吸风口处还设有导流板，所述导流板上开设有若干导流孔；所述吸风器远离所述对接口的一侧安装有用以识别搬运机械手位置的接近开关。
5.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在于：所述搬运机械手沿倾斜于水平的方向搬运晶圆。
6.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛增辉，葛敬昌，张胜森，孟亚东，王文广，冯启异，叶莹，
申请(专利权)人：浙江果纳半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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