【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微纳制造及激光显示，尤其是涉及电磁驱动扫描镜真空封装外壳结构。
技术介绍
1、 mems微镜可以通过扭转来实现光束的一维或者二维扫描，目前已广泛应用于3d扫描、激光显示、激光雷达等领域。低成本、低能耗、高精度、大转角和高可靠性是mems微镜的主要特点。
2、在基于mems(micro-electro-mechanical system，微机电系统)微镜技术的固态激光雷达中，通常包括采用同轴和非同轴光路这两种方式来进行远距离处目标物的探测，而同轴扫描中由于发射光和接收光均经过mems微镜，这将要求mems微镜具有较大的镜面。然而由于大镜面微镜自身具有较大的惯性量，需要更大的驱动力来使微镜达到较大的扫描视角，目前市场上较为成熟的大口径振镜的有效直径不超过8mm。
3、真空状态下，振镜运动时的阻尼很小，能量利用率得以显著提高，功耗明显降低然，因此真空封装是保证大尺寸振镜的远距离测距。现有mems扫描微镜的电磁驱动技术中，一组或者多组闭合线圈是集成在mems微镜的可动芯片上，而真空封装如何将热量散出是一项解决的难题。现有技术中也出现了一些近似的结构但以非气密性封装为主，主要缺点是产品功耗大，测量距离小。
技术实现思路
1、本专利技术就是为了克服现有技术中的不足，提供一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，不仅解决器件真空封装问题，同时解决热传导问题，并且采用一体化优化设计管壳，解决组装难题，降低组装难度，提升组装成品率，适合批量化生产加工。
2、本
3、一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：它包括由底板和围框组成管壳体，在底板上设有柱体，在围框内壁上延伸出两个成对角分布的块，在每块上均是一组螺孔和一个芯片定位槽，在围框壁上设有开孔，在开孔上穿设有一组与等待扫描芯片形成电性连接的引脚，在底板上吸附有一对第一磁铁，一对第一磁铁沿围框内的另一条对角线分布；在两个块上连接有盖板，盖板上设有与等待扫描芯片对应分布的让位孔，在盖板上设有与第一磁铁对应分布的第二磁铁，第一磁铁与第二磁铁的相对面为同极，在围框上开口端连接有倾斜分布光窗组件，使得的管壳体形成真空密闭的腔体。
4、在上述技术方案的基础上，还可以有以下进一步的技术方案：
5、在所述的第一磁铁上设有与等待扫描芯片对应配合的粘片胶层。
6、所述的围框上开口端设有与光窗组件对应配合斜边。
7、在所述柱体上电镀金属，金属材料为金、钛或其他贵金属材料。
8、所述的围框为非磁性的金属材料，围框与底板之间通过高温焊料焊接。
9、在所述的盖板底面上设有与键合丝让位槽体。
10、所述的盖板采用非磁性材料制成，并经过阳极硬化处理。
11、所述的光窗组件包括使用非磁性材料制成的金属盖板围框使用非磁性材料，在金属盖板围框上连接有带有玻璃光窗，玻璃窗上进行镀膜，镀膜材料根据透光波长需要选择，金属盖板表面电镀防氧化贵金属层如金，钛。
12、在所述开孔下方的围框壁上延伸出一个与其中一个第一磁铁对应配合的第一磁铁定位条。
13、专利技术优点：
14、本专利技术一体化真空封装，气气密性好，通过设计一体化真空封装结构，可降低产品功耗，结构简单，组装方便适合批量化封装加工。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：它包括由底板（1）和围框（2）组成管壳体，在底板（1）上设有柱体（1a），在围框（2）内壁上延伸出两个成对角分布的块（2a），在每块（2a）上均是一组螺孔（2b）和一个芯片定位槽（2c），在围框（2）壁上设有开孔（2d），在开孔（2d）上穿设有一组与扫描微镜芯片（6）形成电性连接的引脚（3），在底板（1）上吸附有一对第一磁铁（4），一对第一磁铁（4）沿围框（2）内的另一条对角线分布；在两个块（2a）上连接有盖板（5），盖板（5）上设有与扫描微镜芯片（6）对应分布的让位孔（5a），在盖板（5）上设有与第一磁铁（4）对应分布的第二磁铁（9），第一磁铁（4）与第二磁铁（9）的相对面为同极，在围框（2）上开口端连接有倾斜分布光窗组件（8），使得的管壳体形成真空密闭的腔体。
2.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：在所述的第一磁铁（4）上设有与扫描微镜芯片（6）对应配合的粘片胶层（7）。
3.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：所述的围框（2）上开口端设有与光
4.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：在所述柱体（1a）上电镀金属，金属材料为金、钛或其他贵金属材料。
5.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：所述的围框（2）为非磁性的金属材料，围框（2）与底板（1）之间通过高温焊料焊接。
6.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：在所述的盖板（5）底面上设有与键合丝让位槽体（5c）。
7.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：所述的盖板（5）采用非磁性材料制成，并经过阳极硬化处理。
8.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：所述的光窗组件（8）包括使用非磁性材料制成的金属盖板围框（8a）使用非磁性材料，在金属盖板围框（8a）上连接有带有玻璃光窗（8b），玻璃窗上进行镀膜，金属盖板表面电镀防氧化贵金属层如金，钛。
9.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：所述的第一、二磁铁（4、9）具备耐高温特性，250℃时不会出现磁性减弱现象。
10.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：在所述开孔（2d）下方的围框（2）壁上延伸出一个与其中一个第一磁铁（4）对应配合的第一磁铁定位条（10）。
...【技术特征摘要】
1.一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：它包括由底板（1）和围框（2）组成管壳体，在底板（1）上设有柱体（1a），在围框（2）内壁上延伸出两个成对角分布的块（2a），在每块（2a）上均是一组螺孔（2b）和一个芯片定位槽（2c），在围框（2）壁上设有开孔（2d），在开孔（2d）上穿设有一组与扫描微镜芯片（6）形成电性连接的引脚（3），在底板（1）上吸附有一对第一磁铁（4），一对第一磁铁（4）沿围框（2）内的另一条对角线分布；在两个块（2a）上连接有盖板（5），盖板（5）上设有与扫描微镜芯片（6）对应分布的让位孔（5a），在盖板（5）上设有与第一磁铁（4）对应分布的第二磁铁（9），第一磁铁（4）与第二磁铁（9）的相对面为同极，在围框（2）上开口端连接有倾斜分布光窗组件（8），使得的管壳体形成真空密闭的腔体。
2.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：在所述的第一磁铁（4）上设有与扫描微镜芯片（6）对应配合的粘片胶层（7）。
3.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：所述的围框（2）上开口端设有与光窗组件（8）对应配合斜边。
4.根据权利要求1中所述的一种电磁驱动扫描镜真空封装结构，其特征在于：在所述柱体（1...
【专利技术属性】
技术研发人员：张乐银，何凯旋，李苏苏，向圆，李彪，郑文昭，
申请(专利权)人：华东光电集成器件研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。