一种扬声器模组、电子设备、MEMS扬声器及其制作方法技术

本申请实施例公开了一种扬声器模组、电子设备、MEMS扬声器及其制作方法，涉及扬声器领域。该MEMS扬声器包括基底、至少两个发声结构及柔性膜。基底上形成有贯穿上表面和下表面的空腔。至少两个发声结构同层且间隔设置在基底上。发声结构的一部分区域与基底固定连接，发声结构的另一部分区域设置在空腔的上方。柔性膜覆盖在至少两个发声结构和基底上且至少将空腔上未覆盖有发声结构的部分开口封闭。柔性膜具有弯折部，弯折部至少位于相邻两个发声结构之间的间隙中。弯折部沿基底的厚度方向弯折。弯折部释放了发声结构自由端的挠曲约束，提升了MEMS扬声器的声压级性能，具有高的可靠性和一致性并获取低水平谐波失真。从而，提高了MEMS扬声器的发声质量。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及扬声器，尤其涉及一种扬声器模组、电子设备、mems扬声器及其制作方法。

技术介绍

1、微型扬声器作为一种重要的电声设备，在消费类电子设备上的应用非常广泛。微型扬声器按技术类型可分为动圈微扬声器、动铁微扬声器及微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)扬声器。

2、图1示出了动圈微扬声器的部分部件的结构示意图。图2示出了动铁扬声器的部分部件的结构示意图。参照图1和图2，动圈微扬声器和动铁微扬声器都是通过电磁力驱动振动结构，从而激发声音。动圈微扬声器01和动铁微扬声器02在工作时均会受到外界磁场干扰而影响性能，而且尺寸难以进一步微缩化。而mems扬声器没有上述问题，且具有低功耗、低成本、小尺寸、高一致性等诸多优点。但是，相较于动圈微扬声器和动铁微扬声器，现有mems扬声器的声学性能还有待提升。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种扬声器模组、电子设备、mems扬声器及其制作方法，提高了mems扬声器的发声质量。

2、为达到上述目的，本本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS扬声器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述柔性膜具有多个弯折部，所述多个弯折部依次连接，并绕射在所述发声结构的外周。

3.根据权利要求1或2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述弯折部的延伸方向与所述发声结构的边沿的延伸方向相同。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述弯折部包括至少一个弯折结构，所述至少一个弯折结构沿所述基底的厚度方向弯折。

5.根据权利要求4所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述弯折结构的纵截面为矩形、梯形、倒梯形、三角形或弧面形。<...

【技术特征摘要】

1.一种mems扬声器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的mems扬声器，其特征在于，所述柔性膜具有多个弯折部，所述多个弯折部依次连接，并绕射在所述发声结构的外周。

3.根据权利要求1或2所述的mems扬声器，其特征在于，所述弯折部的延伸方向与所述发声结构的边沿的延伸方向相同。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的mems扬声器，其特征在于，所述弯折部包括至少一个弯折结构，所述至少一个弯折结构沿所述基底的厚度方向弯折。

5.根据权利要求4所述的mems扬声器，其特征在于，所述弯折结构的纵截面为矩形、梯形、倒梯形、三角形或弧面形。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的mems扬声器，其特征在于，所述发声结构包括：

7.根据权利要求6所述的mems扬声器，其特征在于，所述驱动器为压电驱动器、静电驱动器、电磁驱动器、热电驱动器中的任一种。

【专利技术属性】
技术研发人员：姜彤，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：