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本申请实施例公开了一种扬声器模组、电子设备、MEMS扬声器及其制作方法，涉及扬声器领域。该MEMS扬声器包括基底、至少两个发声结构及柔性膜。基底上形成有贯穿上表面和下表面的空腔。至少两个发声结构同层且间隔设置在基底上。发声结构的一部分区域与...
该专利属于华为技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司授权不得商用。

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