一种太阳电池及其制备方法技术

本申请提供一种太阳电池及其制备方法。该方法包括采用制绒液对太阳电池的半导体衬底的表面进行制绒，制绒液包括第一碱液、制绒添加剂和水；以在半导体衬底的表面形成金字塔绒面结构；采用酸性混合液对金字塔绒面结构进行削平矮化，然后采用碱性抛光液对削平矮化后的金字塔绒面结构进行抛光，以在半导体衬底的表面形成类金字塔绒面结构。本申请提供的制备方法，通过交替使用碱性制绒液、酸性混合液和碱性抛光液，可以提高半导体衬底表面的清洗效果。本申请制备的金字塔绒面结构表面更趋近于光滑和平坦，使得最终形成的类金字塔绒面结构的表面粗糙度较小，提高了光反射率和光反射强度，从而提高了后续测量薄膜的厚度和反射率的精准度。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及太阳电池，具体而言，涉及一种太阳电池及其制备方法。

技术介绍

1、太阳电池用于把太阳的光能直接转化为电能以供用电器使用。其中，异质结太阳电池(以下简称hjt电池)是一种高效率晶体硅太阳电池，因hjt电池具有光电转换效率高，双面率高，设备工艺流程简化，产品光衰减低，稳定性强，降本增效空间大等优点，前景广阔，是新一代电池技术的发展方向。

2、hjt电池通常以n型单晶硅片为半导体衬底，通过制绒清洗、非晶硅薄膜钝化层沉积、透明导电氧化物薄膜沉积以及金属电极等制备工艺制作而成。在非晶硅薄膜钝化层沉积步骤中，通常是利用硅烷、磷烷、硼烷、co2、h2通过电源和气体流量来控制薄膜层的沉积速率和晶化程度，并在半导体衬底的表面沉积形成非晶硅层，由于非晶硅属于无序的排列不良导体，分布状态随着载板生产累计次数，腔体镀膜生产周期和腔体氛围的变化而出现波动，直接影响镀膜膜厚和折射率，进而影响电池片转换效率。因此，在该过程中需要对沉积的非晶硅层进行膜厚和折射率监控，以保证后续生产电池片的转换效率能够维持在较高的水平。

3、现有的hjt电池通常在制绒清洗本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种太阳电池的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，在采用制绒液对太阳电池的半导体衬底的表面进行制绒的过程中，还包括：向所述制绒液中通入惰性气体，使所述制绒液处于鼓泡状态；

3.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，所述酸性混合液包括甲基丙烯酸、氢氟酸、硝酸和水；所述甲基丙烯酸、氢氟酸、硝酸和水的体积比为1：(4～6)：(10～15)：(210～300)；

4.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，所述碱性抛光液包括第二碱液和水；所述第二碱液和水的体积比为1：(400～60...

【技术特征摘要】

1.一种太阳电池的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，在采用制绒液对太阳电池的半导体衬底的表面进行制绒的过程中，还包括：向所述制绒液中通入惰性气体，使所述制绒液处于鼓泡状态；

3.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，所述酸性混合液包括甲基丙烯酸、氢氟酸、硝酸和水；所述甲基丙烯酸、氢氟酸、硝酸和水的体积比为1：(4～6)：(10～15)：(210～300)；

4.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，所述碱性抛光液包括第二碱液和水；所述第二碱液和水的体积比为1：(400～600)；

5.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，在所述半导体衬底的表面形成类金字塔绒面结构之后，还包括：

6.根据权利要求5所述的太阳电池的制备方法，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘孝堃，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：