【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体元器件的性能测试，特别是一种钯合金氢气传感器的加速老化性能测试系统。
技术介绍
1、钯合金氢气传感器在工作环境运行时测量性能会逐渐下降，在免标定时间内的稳定性是其正常服役的前提。为了明确钯合金氢气传感器在工作环境下的使用时长上限，最具可行性的方式是保持失效模式和失效机理不变的前提下对钯合金氢气传感器进行加速老化试验，分析其失效机理，进而得到气体传感器测量性能的预测方法。目前，存在的首要问题是缺乏气体传感器加速老化试验的测试系统，钯合金氢气传感器主要敏感应力可能有温度、气体循环冲击、振动等，需要考虑主要应力作用设计加速老化试验方案，并搭建相应的试验平台。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种钯合金氢气传感器的加速老化性能测试系统，搭建钯合金氢气传感器热老化、气体冲击循环和振动加速试验平台，通过热、冲击循环以及振动加速试验完成钯合金氢气传感器的加速老化过程。
2、实现本专利技术目的的技术方案如下：
3、一种钯合金氢气传感器的加速老化性能测试系统，包括试验平台；所述试验平台包括模拟腔体和放置箱；模拟腔体为金属中空腔体，腔壁外壳和内壳之间填充隔热材料，腔壁外壳底部设有三角凹槽，模拟腔体通过三角卡扣固定在放置箱内的底部；放置箱和模拟腔体之间填满沸点不低于200℃且温度波动不高于±0.5℃的绝缘矿物油；模拟腔体内设置有振动台，振动台上放置多孔的顶部可打开的加热壳体，加热壳体内放置至少三个试样即钯合金氢气传感器；还包括配气系统，配气系统连接高纯
4、本专利技术提供的一种钯合金氢气传感器的加速老化性能测试系统，可以获得钯合金氢气传感器在密闭环境服役状态下完整老化过程，并可获得不同老化时间段的不用应力作用下的老化性能退化过程，为钯合金氢气传感器的研制优化提供试验手段。
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1.一种钯合金氢气传感器的加速老化性能测试系统，其特征在于，包括试验平台；所述试验平台包括模拟腔体(19)和放置箱(20)；模拟腔体(19)为金属中空腔体，腔壁外壳和内壳之间填充隔热材料，腔壁外壳底部设有三角凹槽，模拟腔体(19)通过三角卡扣固定在放置箱(20)内的底部；放置箱(20)和模拟腔体(19)之间填满沸点不低于200℃且温度波动不高于±0.5℃的绝缘矿物油；模拟腔体(19)内设置有振动台(18)，振动台(18)上放置多孔的顶部可打开的加热壳体(16)，加热壳体(16)内放置至少三个试样(17)即钯合金氢气传感器；
【技术特征摘要】
1.一种钯合金氢气传感器的加速老化性能测试系统，其特征在于，包括试验平台；所述试验平台包括模拟腔体(19)和放置箱(20)；模拟腔体(19)为金属中空腔体，腔壁外壳和内壳之间填充隔热材料，腔壁外壳底部设有三角凹槽，模拟腔体(19)通过三角卡扣固定在放置箱(20)内...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡杰，廖维，何鹏，何斌，袁嘉佑，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院计量测试中心，
类型：发明
国别省市：
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