【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体清洗设备,具体是指一种清洗机用精确上料系统。
技术介绍
1、在半导体清洗制程中,清洗是必不可少的一环。在清洗中,需要将待清洗的半导体芯片等物品放入清洗机中进行清洗。然而,现有的清洗机上料装置通常是由工作人员手动进行定位,由于人为因素的影响,定位精度有限,存在不确定性因素,不利于清洗机自动控制生产工艺的要求。因此,需要提供一种精确的清洗机上料系统,以克服现有技术的缺陷,提高生产效率和质量。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是克服以上的技术缺陷,提供一种清洗机用精确上料系统。
2、为解决上述技术问题,本技术提供的技术方案为:一种清洗机用精确上料系统,包括清洗机上料小车以及地面定位导向装置,所述清洗机上料小车包括主框架本体,所述主框架本体底部的前后两端分别设有前轮和后轮,所述清洗机上料小车上设有可升降的上料装置,所述地面定位导向装置包括第一限位件和第二限位件,所述第一限位件用于限定清洗机上料小车的左右上料位置,所述第二限位件用于限定清洗机上料小车的前后上料位置
3、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种清洗机用精确上料系统,包括清洗机上料小车(2)以及地面定位导向装置(1),其特征在于,所述清洗机上料小车(2)包括主框架本体(21),所述主框架本体(21)底部的前后两端分别设有前轮(23)和后轮(24),所述清洗机上料小车(2)上设有可升降的上料装置(27),所述地面定位导向装置(1)包括第一限位件和第二限位件,所述第一限位件用于限定清洗机上料小车(2)的左右上料位置,所述第二限位件用于限定清洗机上料小车(2)的前后上料位置。
2.根据权利要求1所述的一种清洗机用精确上料系统,其特征在于,所述地面定位导向装置(1)还包括与设备固定的第一地面固定板
...【技术特征摘要】
1.一种清洗机用精确上料系统,包括清洗机上料小车(2)以及地面定位导向装置(1),其特征在于,所述清洗机上料小车(2)包括主框架本体(21),所述主框架本体(21)底部的前后两端分别设有前轮(23)和后轮(24),所述清洗机上料小车(2)上设有可升降的上料装置(27),所述地面定位导向装置(1)包括第一限位件和第二限位件,所述第一限位件用于限定清洗机上料小车(2)的左右上料位置,所述第二限位件用于限定清洗机上料小车(2)的前后上料位置。
2.根据权利要求1所述的一种清洗机用精确上料系统,其特征在于,所述地面定位导向装置(1)还包括与设备固定的第一地面固定板(11),所述第一限位件包括相对设置在第一地面固定板(11)上的导向轮左侧固定板(14)以及导向轮右侧固定板(15),所述导向轮左侧固定板(14)以及导向轮右侧固定板(15)的外侧面均设有若干导向轮(16),所述主框架本体(21)底部两内侧面均设有导向板(22)且两排所述导向轮(16)分别与两个导向板(22)内侧面滚动配合,所述第二限位件包括设置在第一地面固定板(11)上的第二地面固定板(12),所述第二地面固定板(12)上相对设...
【专利技术属性】
技术研发人员:李天兵,贾世杰,彭洁,魏守冲,
申请(专利权)人:磐石创新江苏电子装备有限公司,
类型:新型
国别省市:
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