一种12寸转8寸阳极夹具制造技术

技术编号:39936345 阅读:26 留言:0更新日期:2024-01-08 22:12
本技术涉及一种12寸转8寸阳极夹具,包括主板,所述主板的正面开设有放置槽,所述放置槽的内侧放置有夹板,所述夹板的下端部固定连接有连接杆,所述连接杆远离主板的一端固定连接有挂钩,所述放置槽的内侧固定连接有一端贯穿夹板的限位柱,所述夹板的内侧固定连接有钛板,所述夹板的外侧固定连接有外置橡胶圈。该12寸转8寸阳极夹具,由于12寸或8寸两种型号夹板,能在主板内侧快速拆卸更换,从而大大缩减夹具制作成本,与人员更换夹具时间,提升机台稼动,减少资源浪费,通过12寸转8寸夹具减少不同型号之间高低误差,提升晶圆边缘高度稳定性,均匀性,从而改善晶圆加工过程中空洞现象,减少微粒数量,提升品质。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及夹具,具体为一种12寸转8寸阳极夹具


技术介绍

1、阳极氧化,是指金属或合金的电化学氧化,铝及其合金在相应的电解液和特定的工艺条件下,由于外加电流的作用下,在铝制品(阳极)上形成一层氧化膜的过程。阳极氧化如果没有特别指明,通常是指硫酸阳极氧化。

2、目前nexx机台阳极夹具分为8寸和12寸两种,然而现有的阳极夹具在使用过程由于通常需要将8寸和12夹具分开制作,而阳极夹具高精度磨具类,制作成本高,不精增加企业成本,而且造成资源浪费,并且不同型号阳极夹具受制作批次,制作人员手法等存在误差导致wafer(晶圆)边缘高度存在差值,影响均匀性,导致品质不稳定,故而提出一种12寸转8寸阳极夹具来解决上述问题。


技术实现思路

1、针对现有技术的不足,本技术提供了一种12寸转8寸阳极夹具,具备减少资源浪费提升品质等优点,解决了容易造成资源浪费且降低品质的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种12寸转8寸阳极夹具,包括主板,所述主板的正面开设有放置槽,所述放置槽的内侧放置有本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种12寸转8寸阳极夹具,包括主板(1),其特征在于:所述主板(1)的正面开设有放置槽(2),所述放置槽(2)的内侧放置有夹板(3);

2.根据权利要求1所述的一种12寸转8寸阳极夹具,其特征在于:所述夹板(3)远离连接杆(5)的一端为环形,所述夹板(3)与连接杆(5)连接的一端为矩形。

3.根据权利要求1所述的一种12寸转8寸阳极夹具,其特征在于:所述钛板(4)固定连接在夹板(3)环形端的内侧,所述外置橡胶圈(7)固定连接在夹板(3)环形端的外侧且与放置槽(2)的内侧相抵触。

4.根据权利要求1所述的一种12寸转8寸阳极夹具,其特征在于:所述夹板...

【技术特征摘要】

1.一种12寸转8寸阳极夹具,包括主板(1),其特征在于:所述主板(1)的正面开设有放置槽(2),所述放置槽(2)的内侧放置有夹板(3);

2.根据权利要求1所述的一种12寸转8寸阳极夹具,其特征在于:所述夹板(3)远离连接杆(5)的一端为环形,所述夹板(3)与连接杆(5)连接的一端为矩形。

3.根据权利要求1所述的一种12寸转8寸阳极夹具,其特征在于:所述钛板(4)固定连接在夹板(3)环形端的内侧,所述外置橡胶圈(7)固定连接在夹板(3)环形端的外侧且与放置槽(2)的内侧相抵触。

4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈金销仪秋英
申请(专利权)人:沃尔斯特电子科技淮安有限公司
类型:新型
国别省市:

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