【技术实现步骤摘要】
本技术涉及夹具,具体为一种12寸转8寸阳极夹具。
技术介绍
1、阳极氧化,是指金属或合金的电化学氧化,铝及其合金在相应的电解液和特定的工艺条件下,由于外加电流的作用下,在铝制品(阳极)上形成一层氧化膜的过程。阳极氧化如果没有特别指明,通常是指硫酸阳极氧化。
2、目前nexx机台阳极夹具分为8寸和12寸两种,然而现有的阳极夹具在使用过程由于通常需要将8寸和12夹具分开制作,而阳极夹具高精度磨具类,制作成本高,不精增加企业成本,而且造成资源浪费,并且不同型号阳极夹具受制作批次,制作人员手法等存在误差导致wafer(晶圆)边缘高度存在差值,影响均匀性,导致品质不稳定,故而提出一种12寸转8寸阳极夹具来解决上述问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本技术提供了一种12寸转8寸阳极夹具,具备减少资源浪费提升品质等优点,解决了容易造成资源浪费且降低品质的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种12寸转8寸阳极夹具,包括主板,所述主板的正面开设有放置槽,所
...【技术保护点】
1.一种12寸转8寸阳极夹具,包括主板(1),其特征在于:所述主板(1)的正面开设有放置槽(2),所述放置槽(2)的内侧放置有夹板(3);
2.根据权利要求1所述的一种12寸转8寸阳极夹具,其特征在于:所述夹板(3)远离连接杆(5)的一端为环形,所述夹板(3)与连接杆(5)连接的一端为矩形。
3.根据权利要求1所述的一种12寸转8寸阳极夹具,其特征在于:所述钛板(4)固定连接在夹板(3)环形端的内侧,所述外置橡胶圈(7)固定连接在夹板(3)环形端的外侧且与放置槽(2)的内侧相抵触。
4.根据权利要求1所述的一种12寸转8寸阳极夹具,
...【技术特征摘要】
1.一种12寸转8寸阳极夹具,包括主板(1),其特征在于:所述主板(1)的正面开设有放置槽(2),所述放置槽(2)的内侧放置有夹板(3);
2.根据权利要求1所述的一种12寸转8寸阳极夹具,其特征在于:所述夹板(3)远离连接杆(5)的一端为环形,所述夹板(3)与连接杆(5)连接的一端为矩形。
3.根据权利要求1所述的一种12寸转8寸阳极夹具,其特征在于:所述钛板(4)固定连接在夹板(3)环形端的内侧,所述外置橡胶圈(7)固定连接在夹板(3)环形端的外侧且与放置槽(2)的内侧相抵触。
4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈金销,仪秋英,
申请(专利权)人:沃尔斯特电子科技淮安有限公司,
类型:新型
国别省市:
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