吸引保持装置、吸引保持方法、输送装置及输送方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种使用比保持或输送的对象物小型的吸引保持终端，而能够以非接触方式吸引保持对象物的吸引保持装置、吸引保持方法、输送装置及输送方法。吸引保持装置通过回旋流产生室产生的气体的回旋流的中心部所产生的负压和从回旋流产生室的端部向侧方流出的气体，对保持对象物进行吸引保持，其中，所述吸引保持装置具备：吸引保持终端，其具有回旋流产生室和开设有回旋流产生室的吸引用吹出口的吸引保持面；施力机构，其对处于能够被吸引保持终端吸引保持的位置上的保持对象物施加与吸引保持面大致平行的方向的作用力；卡止机构，其抵抗施力机构产生的作用力而将保持对象物卡止。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对保持对象物进行吸引保持的吸引保持装置、对保持对象物进行吸引 保持的吸引保持方法、对输送对象物进行吸引保持并输送的输送装置、及对输送对象物进 行吸引保持并输送的输送方法。
技术介绍
目前，在对像形成有多个半导体装置的半导体基板那样的在脆性材料上精密形成 有微细结构的被加工物进行加工的工序中，对用于在输送被加工物时不损伤被加工物的加 工面的被加工物的夹紧方法及夹紧装置，进行了各种研究。作为对用于保持而能够接触的 面少的保持对象物进行保持的方法，使用如下保持方法，该保持方法使用应用伯努利定理 而以非接触方式保持被加工物等保持对象物的伯努利卡盘。在专利文献1中，公开有一种无接触输送装置，其通过设置产生空气的回旋流的 回旋室、与回旋室连通并且与被输送物对置的对置面，而以非接触方式吸附被输送物。在专利文献1所公开的装置中，由于以非接触方式吸附被输送物，而无法对被输 送物施加平行于与被输送物对置的对置面的方向的约束力，因此需要设置平行于对置面的 方向的约束机构。在专利文献2中，公开有装拆自如地安装有卡盘辅助部的伯努利卡盘，该卡盘辅 助部包括防止工件滑动的工件卡止片。通过使卡盘辅助部装卸自如，能够与不同尺寸的工 件对应。在专利文献3中，公开有一种晶片输送机构，其具备摩擦部件且能够防止晶片在 吸附面上移动或从吸附面脱落，该摩擦部件具有与吸附的晶片抵接的摩擦面。专利文献1 日本特开平11-254369号公报专利文献2 日本特开2007-67054号公报专利文献3 日本特开2005-142462号公报然而，在专利文献2所公开的装置中，为了实现其目的，需要将相当于工件卡止片 的部件围绕工件配置，从而存在保持工件的终端比工件大的课题。而且，为了与尺寸不同的 工件对应，还存在必须更换卡盘辅助部等部分的课题。在专利文献3所公开的装置中，由于晶片等被输送部件与摩擦部件接触，因此存 在无法实现为了避免与被输送部件的面接触而实施的非接触卡盘的目的这一课题。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述课题的至少一部分而提出，可以通过以下的方式或适用例实 现。(适用例1)本适用例的吸引保持装置通过回旋流产生室产生的气体的回旋流的 中心部所产生的负压和从所述回旋流产生室的端部向侧方流出的气体，对保持对象物进行 吸引保持，所述吸引保持装置的特征在于，具备吸引保持终端，其具有所述回旋流产生室和开设有所述回旋流产生室的吸引用吹出口的吸引保持面；施力机构，其对处于能够被所 述吸引保持终端吸引保持的位置上的所述保持对象物施加与所述吸引保持面大致平行的 方向的作用力；卡止机构，其抵抗所述施力机构产生的所述作用力而将所述保持对象物卡止。根据本适用例的吸引保持装置，能够利用吸引保持终端以非接触方式对保持对象 物进行吸引保持。由于以非接触方式进行吸引保持，因此能够在与吸引保持终端对置的保 持对象物的被吸引保持面与吸引保持终端不接触的情况下，对保持对象物进行吸引保持。能够通过施力机构对保持对象物施加与吸引保持面大致平行的方向的作用力，通 过卡止机构抵抗作用力而将保持对象物卡止。由此，通过在作用力的作用下保持对象物与 卡止机构抵接所产生的力，能够将保持对象物的与被吸引保持面大致正交的面固定在卡止 机构上。通过将保持对象物的一端固定在卡止机构上，能够限制由吸引保持终端以非接触 方式吸引保持的保持对象物的与吸引保持面大致平行方向的移动而进行定位。通常来说，由于被吸引保持面与保持装置等接触的情况不优选而以非接触方式吸 引保持被吸引保持面。由于与卡止机构抵接的面是与被吸引保持面大致正交的面，因此能 够不使卡止机构与被吸引保持面接触而使保持对象物与卡止机构抵接，被吸引保持面与保 持装置等接触的情况不优选。当保持对象物的尺寸在一定范围内时，可以不改变吸引保持终端、施力机构、卡止 机构的位置关系而进行吸引保持，从而不必与保持对象物的尺寸对应地改变吸引保持装置 的尺寸，而能够对保持对象物进行吸引保持。(适用例2)优选上述适用例的吸引保持装置中，所述施力机构为真空吸附装置。根据该吸引保持装置，通过利用真空吸附装置吸附保持对象物，能够将保持对象 物的被吸附部大体固定在真空吸附装置上。(适用例3)优选上述适用例的吸引保持装置中，所述卡止机构还具备限制所述保 持对象物向与所述吸引保持面大致垂直的方向的移动的限制部件。根据该吸引保持装置，由于通过限制部件限制保持对象物向与吸引保持面大致垂 直的方向的移动，因此即使在保持对象物未被吸附的状态下，也能够将保持对象物的与吸 引保持面大致垂直的方向上的位置在能够由限制部件限制的范围内保持为大致固定。能够 抑制保持对象物过度接近吸引保持终端由此被吸引保持面与吸引保持面接触的情况。(适用例4)优选上述适用例的吸引保持装置中，所述限制部件具备倾斜的施力引 导斜面，该施力引导斜面与所述施力机构侧相面对，且能够将在与所述吸引保持面大致平 行的方向上向所述施力机构侧移动的所述保持对象物在与所述吸引保持面大致垂直的方 向上向所述施力机构侧引导。根据该吸引保持装置，通过施力引导斜面能够将由施力机构施力而向卡止机构侧 移动的保持对象物在与吸引保持面大致垂直的方向上向卡止机构侧引导。由此，能够将卡 止机构的与保持对象物抵接的位置形成在由引导斜面引导的范围内。(适用例5)优选上述适用例的吸引保持装置中，所述卡止机构限制所述保持对象 物向与所述吸引保持面大致平行且与所述施力机构产生的作用力的方向不同的两方向的 移动。根据该吸引保持装置，通过卡止机构，能够限制保持对象物向与吸引保持面大致平行且与施力机构产生的作用力的方向不同的两方向的移动。由此，能够将保持对象物的 与吸引保持面大致平行的方向上的位置保持在实际上固定的位置。(适用例6)优选上述适用例的吸引保持装置还具备控制所述吸引保持终端的运 转及停止、所述施力机构的运转及停止的运转控制机构。根据该吸引保持装置，通过利用运转控制机构控制吸引保持终端及施力机构的运 转及停止，能够使吸引保持终端及施力机构高效率地协作，而对保持对象物进行适宜的吸 引保持。 (适用例7)优选上述适用例的吸引保持装置中，所述运转控制机构控制所述施力 机构及所述吸引保持终端的运转状态，以在所述施力机构为运转状态时使所述吸引保持终 端也为运转状态。根据该吸引保持装置，运转控制机构控制施力机构及吸引保持终端的运转状态， 以在施力机构为运转状态时使吸引保持终端也为运转状态。由此，在由施力机构施力的保 持对象物向与卡止机构抵接的位置移动时，以非接触方式对保持对象物进行吸引保持，因 此在施力机构的作用力的作用下能够容易地使保持对象物向与卡止机构抵接的位置移动。另外，解除了吸引保持的保持对象物并不仅由施力机构的作用力支承。通常来说， 只要接触保持不产生问题，当然还是接触保持稳定而容易保持。因此，使用吸引保持装置 保持的保持对象物主要由吸引保持终端产生的吸引保持力进行保持，仅通过施力机构和卡 止机构的协作很可能难以充分且稳定地保持。由于保持对象物不仅由施力机构的作用力 支承，因此能够消除通过很可能难以充分且稳定地保持的方法对保持对象物进行保持的情 况。(适用例8)优选上述适用例的吸引保持装置中，所述卡止机构还具备倾斜的吸引 引导斜面，该吸引引导斜面与所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸引保持装置，其通过回旋流产生室产生的气体的回旋流的中心部所产生的负压和从所述回旋流产生室的端部向侧方流出的气体，对保持对象物进行吸引保持，所述吸引保持装置的特征在于，具备：吸引保持终端，其具有所述回旋流产生室和开设有所述回旋流产生室的吸引用吹出口的吸引保持面；施力机构，其对处于能够被所述吸引保持终端吸引保持的位置上的所述保持对象物施加与所述吸引保持面大致平行的方向的作用力；卡止机构，其抵抗所述施力机构产生的所述作用力而将所述保持对象物卡止。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：星野三郎，原田贤一，守屋智德，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]