一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备制造技术

本申请涉及一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备，其包括清洗室

【技术实现步骤摘要】
一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备


[0001]本申请涉及清洗风干设备
，尤其是涉及一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备
。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅
。
高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅
。
硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆
。
通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造
。
[0003]晶圆片由于其电路制造的特殊功用，因而在运输过程中需要用到专门的运输载体以防晶圆片运输过程中出现破损，而晶圆片用运输载体也要进行定期的清洗从而保证运输载体内的洁净，以防运输载体内存在硬质杂质在是运输过程中对晶圆片造成磨损的可能性
。
[0004]现有的，市场上的晶圆片运输载体清洗设备多为卧式，清洗数量少
。
清洗速度慢，放取繁琐，导致清洗效率低下，存在待改进之处
。

技术实现思路

[0005]为了便于晶圆片运输载具的放取并增加运输载具清洗数量以提高清洗效率，本申请提供一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备
。
[0006]本申请提供的一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备采用如下的技术方案：
[0007]一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备，包括清洗室
、
转动设置在所述清洗室内的旋转挂架
、
以及驱动所述旋转挂架整体转动的驱动组件；
[0008]所述旋转挂架包括转动设置在所述清洗室内的转动底板
、
设置在所述转动底板上方并与所述转动底板平行的上顶板
、
连接所述转动底板及所述上顶板的若干个支撑柱
、
转动设置在所述转动底板及所述上顶板之间的若干个吊挂架
、
以及可拆卸设置在所述吊挂架上用于挂设运输载具的若干个吊架，若干个所述吊挂架绕所述转动底板的转动轴线圆周方向间隔均匀设置，所述转动底板上设置有若干组限制所述吊挂架转动的限位组件；
[0009]所述清洗室内设置有若干个朝向所述旋转挂架设置的喷水柱
。
[0010]可选的，所述限位组件包括设置在所述转动底板上的腰型弧板
、
设置在所述转动底板上的固定套
、
以及滑移设置在所述固定套内的定位杆，所述腰型弧板上开设有以所述吊挂架的转动轴线为中心线的中心点圆弧槽，所述定位杆可绕所述吊挂架转动轴线转动设置在所述圆弧槽内，所述转动底板上开设有固定孔，所述固定孔位于所述圆弧槽一侧，所述定位杆与所述固定孔螺纹连接
。
[0011]可选的，所述清洗室内设置有若干个朝向所述旋转挂架设置的热氮气喷管，若干个所述热氮气喷管绕所述转动底板的转动轴线圆周方向间隔均匀设置在所述清洗室内
。
[0012]可选的，所述清洗室顶部外壁上设置有排风阀，所述排风阀与所述清洗室内腔连
通
。
[0013]可选的，所述清洗室内设置有若干个静电消除风管
。
[0014]可选的，所述清洗室内上设置有若干个减震组件
。
[0015]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0016]1.
本技术使用时，将装设晶圆片的运输载具挂设在吊架上，随后将若干个挂设有运输载具的吊架挂设在吊挂架上，直至当前吊挂架挂满则进行下一个吊挂架的挂设，挂设结束后，转动吊挂架，使得所有吊挂架上的运输载具均朝向旋转挂架转动轴线放置，形成闭环，并通过限位组件对吊挂架实现固定，在便于运输载具挂设的同时提高了运输载具的挂设数量；清洗时，通过驱动组件带动旋转挂架整体转动，转动的同时通过若干个喷水柱朝旋转挂架进行清洁液的喷射便于清洗，清洗的同时，旋转挂架转动的离心力使得运输载具及吊架紧靠在吊挂架上，提高了运输载具挂设的稳定性和安全性，清洗结束后，停止清洁液的喷射继续进行旋转挂架的装设，实现对运输载具的甩干，进而便于晶圆片运输载具的放取并增加运输载具清洗数量以提高清洗效率
。
附图说明
[0017]图1是本实施例主要体现一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备整体结构的轴侧示意图；
[0018]图2是本实施例主要体现一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备整体结构的剖面结构示意图一；
[0019]图3是图2中
A
部的放大示意图；
[0020]图4是本实施例主要体现一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备整体结构的剖面结构示意图二；
[0021]图5是图4中
B
部的放大示意图
。
[0022]附图标记：
1、
清洗室；
2、
旋转挂架；
21、
转动底板；
22、
上顶板；
23、
支撑柱；
24、
吊挂架；
25、
吊架；
3、
限位组件；
31、
腰型弧板；
32、
固定套；
33、
定位杆；
4、
中心点圆弧槽；
5、
固定孔；
6、
驱动组件；
61、
轴承座；
62、
角接触球轴承；
63、
圆柱滚子轴承；
64、
第一传动轴；
65、
第二传动轴；
66、
大带轮；
67、
小带轮；
68、
驱动件；
69、
传动带；
7、
安装板；
8、
喷水柱；
9、
热氮气喷管；
10、
静电消除风管；
11、
减震组件；
111、
减震座；
112、
承压座；
113、
缓冲件；
12、
运输载具；
13、
排风阀
。
具体实施方式
[0023]为使本申请实施例的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例的附图，对本申请实施例的技术方案进行清楚
、
完整地描述
。
显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于所描述的本申请的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围
。
[0024]除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本申请所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义
。
本申请专利申请说明书以及权利要求书中使用的“一个”或者“一”等类似词语，不表示数量限制，而是表示存在至本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备，其特征在于：包括清洗室
(1)、
转动设置在所述清洗室
(1)
内的旋转挂架
(2)、
以及驱动所述旋转挂架
(2)
整体转动的驱动组件
(6)
；所述旋转挂架
(2)
包括转动设置在所述清洗室
(1)
内的转动底板
(21)、
设置在所述转动底板
(21)
上方并与所述转动底板
(21)
平行的上顶板
(22)、
连接所述转动底板
(21)
及所述上顶板
(22)
的若干个支撑柱
(23)、
转动设置在所述转动底板
(21)
及所述上顶板
(22)
之间的若干个吊挂架
(24)、
以及可拆卸设置在所述吊挂架
(24)
上用于挂设运输载具
(12)
的若干个吊架
(25)
，若干个所述吊挂架
(24)
绕所述转动底板
(21)
的转动轴线圆周方向间隔均匀设置，所述转动底板
(21)
上设置有若干组限制所述吊挂架
(24)
转动的限位组件
(3)
；所述清洗室
(1)
内设置有若干个朝向所述旋转挂架
(2)
设置的喷水柱
(8)。2.
根据权利要求1所述的一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备，其特征在于：所述限位组件
(3)
包括设置在所述转动底板
(21)
上的腰型弧板
(31)、
设置在所述转动底板
(21)
上的固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌帅，
申请(专利权)人：源拓机电科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：