一种高压蒸发源和真空蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种高压蒸发源和真空蒸镀设备，该高压蒸发源包括绝缘板，以及设置在绝缘板上的一个或多个蒸发组件，该蒸发组件与绝缘板可拆卸的连接，用于蒸发待蒸镀材料。本实用新型专利技术当一个或者多个蒸发组件损坏时，无需将蒸发源从蒸镀设备上拆卸下来更换或者维修，只需将损坏的蒸发组件在绝缘板上进行更换或者维修。者维修。者维修。

【技术实现步骤摘要】
一种高压蒸发源和真空蒸镀设备


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种高压蒸发源和真空蒸镀设备。

技术介绍

[0002]蒸镀系统是指采用物理的方法将待蒸镀材料（通常是铝或者铜）放在坩埚里面，对坩埚进行加热，然后坩埚将热量传递给待蒸镀材料，待蒸镀材料受热会蒸发，蒸发后的待蒸镀材料层积在薄膜上就获得了想要的产品。
[0003]但是现有技术中，例如专利号为CN 112853307 A，名称为镀膜装置、镀膜系统及其使用方法，各个辊系及蒸发装置都是安装在真空腔室的腔体上，蒸发装置设置在各个辊系之间，由于蒸发装置设置在各个辊系之间，当蒸发源的一部分损坏时，例如坩埚，很难将整个蒸发源拆卸下来进行维修或者更换。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术实施例的目的在于提供一种高压蒸发源和真空蒸镀设备，以解决现有技术中很难将整个蒸发源拆卸下来进行维修或者更换的技术问题。
[0005]为达上述目的，第一方面，本技术实施例提供了一种高压蒸发源，所述高压蒸发源包括绝缘板，以及设置在所述绝缘板上的一个或多个蒸发组件。
[0006]在一些可能的实施方式中，当所述蒸发组件为多个时，多个所述蒸发组件依次排列在所述绝缘板上，蒸发组件与所述绝缘板可拆卸的连接，每个所述蒸发组件包括：
[0007]加热电极，所述加热电极的两侧分别设置有一个电源接头；
[0008]坩埚，设置在所述加热电极上；
[0009]密封盖，设置在所述坩埚的上部，并与所述坩埚密封连接形成一个密封空间；
>[0010]排气阀组件，设置在所述密封盖上，并与所述密封空间导通。
[0011]在一些可能的实施方式中，所述坩埚上分别设置有一个进气管路和一个抽真空管路，所述进气管路用于往所述密封空间内通入惰性气体；所述抽真空管路用于将所述密封空间抽成真空。
[0012]在一些可能的实施方式中，所述加热电极均为杯型。
[0013]在一些可能的实施方式中，所述密封盖的内部均设置有集气凹槽，在所述集气凹槽上设置有安装孔，所述排气阀组件通过所述安装孔安装在所述密封盖上。
[0014]在一些可能的实施方式中，当所述蒸发组件为一个时，所述蒸发组件包括：
[0015]加热电极，设置在所述绝缘板上，所述加热电极的两侧分别间隔地设置有若干电源接头；
[0016]坩埚，设置在所述加热电极上；
[0017]密封盖，设置在所述坩埚的上部，并与所述坩埚密封连接形成一个密封空间；
[0018]若干排气阀组件，分别间隔地设置在所述密封盖上，并与所述密封空间导通。
[0019]在一些可能的实施方式中，所述坩埚的一侧间隔地设置有若干进气管路，所述坩
埚的另一侧设置有一个抽真空管路，所述若干进气管路用于往所述密封空间内通入惰性气体；所述抽真空管路用于将所述密封空间抽成真空。
[0020]在一些可能的实施方式中，所述排气阀组件包括：
[0021]内部中空的排气管，与所述密封盖连接；
[0022]排气帽，设置在所述第二排气管的顶部，与所述排气管连接；
[0023]排气压簧和阀芯，分别设置在所述排气管的内部，所述排气压簧位于在所述阀芯的顶部。
[0024]第二方面，本技术实施例提供了一种真空蒸镀设备，所述蒸镀设备包括：
[0025]真空室；
[0026]两个支撑板，相对地设置在所述真空室内；
[0027]若干高压蒸发源，每个所述高压蒸发源通过绝缘板安装在所述支撑板上。
[0028]在一些可能的实施方式中，所述蒸镀设备还包括：
[0029]若干冷却辊，所述冷却辊的两端分别安装在所述支撑板上，且位于所述每个所述高压蒸发源的上方。
[0030]上述技术方案的有益技术效果在于：
[0031]本技术实施例提供的一种高压蒸发源和真空蒸镀设备，该高压蒸发源包括绝缘板，以及设置在绝缘板上的一个或多个蒸发组件，蒸发组件与绝缘板可拆卸的连接该蒸发组件用于蒸发待蒸镀材料。本技术当一个或者多个蒸发组件损坏时，无需将蒸发源从蒸镀设备上拆卸下来更换或者维修，只需将损坏的蒸发组件在绝缘板上进行更换或者维修。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0033]图1为本技术实施例的第一种高压蒸发源的结构示意图；
[0034]图2为本技术实施例的第二种高压蒸发源的结构示意图；
[0035]图3为本技术实施例的第一种高压蒸发源的侧视图；
[0036]图4为本技术实施例的一种蒸发组件的结构示意图；
[0037]图5为本技术实施例的第二种高压蒸发源的侧视图；
[0038]图6为本技术实施例的第一种真空蒸镀设备的整体结构示意图；
[0039]图7为本技术实施例的第二种真空蒸镀设备的整体结构示意图；
[0040]图8为本技术实施例的一种真空蒸镀设备的内部结构示意图。
[0041]附图标号说明：
[0042]10、绝缘板；
[0043]20、蒸发组件；21、加热电极；22、电源接头；23、坩埚；231、进气管路；232、抽真空管路；24、密封盖；241、集气凹槽；242、安装孔；25、排气阀组件；252、排气帽；251、排气管；253、排气压簧；254、阀芯；
[0044]30、真空室；31、支撑板；32、冷却辊。
具体实施方式
[0045]下面将详细描述本技术的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本技术的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本技术的示例来提供对本技术的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本技术造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。
[0046]图1为本技术实施例的第一种高压蒸发源的结构示意图，图2为本技术实施例的第二种高压蒸发源的结构示意图，如图1和图2所示，该高压蒸发源包括绝缘板10，以及设置在绝缘板10上的一个或多个蒸发组件20，蒸发组件20与绝缘板10可拆卸的连接，用于蒸发待蒸镀材料。本技术实施例中，由于蒸发组件20是可拆卸地安装在绝缘板10上的，当一个或者多个蒸发组件20损坏时，无需将蒸发源从蒸镀设备上拆卸下来更换或者维修，只需将损坏的蒸发组件20在绝缘板10上进行更换或者维修本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高压蒸发源，其特征在于，所述高压蒸发源包括绝缘板（10），以及设置在所述绝缘板（10）上的一个或多个蒸发组件（20），所述蒸发组件（20）与所述绝缘板（10）可拆卸的连接。2.根据权利要求1所述的一种高压蒸发源，其特征在于，当所述蒸发组件（20）为多个时，多个所述蒸发组件（20）依次排列在所述绝缘板（10）上，每个所述蒸发组件（20）包括：加热电极（21），所述加热电极（21）的两侧分别设置有一个电源接头（22）；坩埚（23），设置在所述加热电极（21）上；密封盖（24），设置在所述坩埚（23）的上部，并与所述坩埚（23）密封连接形成一个密封空间；排气阀组件（25），设置在所述密封盖（24）上，并与所述密封空间导通。3.根据权利要求2所述的一种高压蒸发源，其特征在于，所述坩埚（23）上分别设置有一个进气管路（231）和一个抽真空管路（232），所述进气管路（231）用于往所述密封空间内通入惰性气体；所述抽真空管路（232）用于将所述密封空间抽成真空。4.根据权利要求2所述的一种高压蒸发源，其特征在于，所述加热电极（21）均为杯型。5.根据权利要求2所述的一种高压蒸发源，其特征在于，所述密封盖（24）的内部均设置有集气凹槽（241），在所述集气凹槽（241）上设置有安装孔（242），所述排气阀组件（25）通过所述安装孔（242）安装在所述密封盖（24）上。6.根据权利要求1所述的一种高压蒸发源，其特征在于，当所述蒸发组件为一个时，所述蒸发组件（20）包括：加热电极（21），设置在所述绝缘板（10）上，所述加热电极（21）的两侧分别间...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾孟，
申请(专利权)人：昆山鑫美源电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：