一种氮化镓外延片加工用检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种氮化镓外延片加工用检测装置，涉及氮化镓外延片领域，包括基座，所述基座的外侧顶端焊接有安装架，所述安装架的外侧壁安装有伸缩机构，所述伸缩机构的一端铆接有固定块，所述固定块的一端焊接有转动块，所述转动块的外侧壁焊接有检测夹，所述检测夹的内侧壁贴合有橡胶垫

【技术实现步骤摘要】
一种氮化镓外延片加工用检测装置


[0001]本技术涉及氮化镓外延片领域，具体为一种氮化镓外延片加工用检测装置
。

技术介绍

[0002]氮化镓外延片为第三代宽禁带半导体外延材料的典型代表，具有禁带宽度大
、
击穿场强高
、
热导率大
、
电子饱和漂移速度高
、
抗辐射能力强和高化学稳定性等优异性能；广泛应用于新能源汽车
、
微波通信
、
轨道交通
、
航空航天
、
光电子等领域，故而氮化镓外延片的生产加工过程中需要进行外观检测，因此需要一种氮化镓外延片加工用检测装置
。
[0003]现有的氮化镓外延片加工用检测装置，在使用的过程中检测结构相对较为固定不易进行调节，同时在检测夹宽度检测调节性不佳的问题，为此急需一种氮化镓外延片加工用检测装置
。

技术实现思路

[0004]基于此，本技术的目的是提供一种氮化镓外延片加工用检测装置，以解决现有的氮化镓外延片加工用检测装置，在使用的过程中检测结构相对较为固定不易进行调节，同时在检测夹宽度检测调节性不佳的问题
。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种氮化镓外延片加工用检测装置，包括基座，所述基座的外侧顶端焊接有安装架，所述安装架的外侧壁安装有伸缩机构；
[0006]所述伸缩机构的一端铆接有固定块，所述固定块的一端焊接有转动块，所述转动块的外侧壁焊接有检测夹，所述检测夹的内侧壁贴合有橡胶垫；
[0007]所述基座的上表面安装有外观检测机构，所述外观检测机构的顶端安装有顶架，所述顶架的一端安装有检测光照灯
。
[0008]优选的，所述伸缩机构包括连接套
、
调节杆和固定槽，所述安装架的外侧壁焊接有连接套，所述连接套的内侧套设有调节杆，所述调节杆的一端开设有固定槽
。
[0009]优选的，所述连接套与调节杆之间为螺纹连接，所述连接套的内侧与调节杆的外侧均为螺纹状设置
。
[0010]优选的，所述检测夹通过转动块与固定块旋转连接，所述检测夹以基座的中轴线对称设置
。
[0011]优选的，所述外观检测机构包括检测支撑架
、
定位孔
、
调节柱
、
安装槽
、
复位弹簧和定位销，所述基座的上表面安装有检测支撑架，所述检测支撑架的外侧壁开设有定位孔，所述检测支撑架的内侧壁套设有调节柱，所述调节柱的外侧壁开设有安装槽，所述安装槽的内侧底端焊接有复位弹簧，所述复位弹簧的一端焊接有定位销
。
[0012]优选的，所述检测支撑架的内侧与调节柱的外侧活动连接，所述检测支撑架的内侧尺寸与调节柱的外侧尺寸相匹配
。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、
本技术通过设置的伸缩机构，可以根据需要检测的氮化镓外延片的尺寸大小，将连接套内侧的调节杆进行螺纹拧动伸缩位置调节，从而使得调节杆带动检测夹进行伸缩间距调节，可以适用于不同尺寸的氮化镓外延片进行夹持固定，提高了外观检测装置的实用性；
[0015]2、
本技术通过设置的固定块
、
转动块
、
检测夹和橡胶垫，在将检测夹对氮化镓外延片夹持固定完成后，再将检测夹通过转动块与调节杆进行
360
°
角度旋转，使得工作人员在外观检测时更加使用，避免了需要进行来回拆装，提高了外观检测效率；
[0016]3、
本技术通过设置的外观检测机构，根据外观检测的使用需求，将检测支撑架内侧的调节柱进行升降抽拉，从而可以对顶架和检测光照灯进行升降位置调节，将调节柱抽拉至合适位置后，调节柱外侧壁安装槽内侧的复位弹簧对定位销进行挤压，使定位销贯穿并延伸至检测支撑架的外侧，从而与检测支撑架外侧壁的定位孔进行固定，提高了升降调节后的支撑稳定性
。
附图说明
[0017]图1为本技术正视外观结构示意图；
[0018]图2为本技术仰视外观结构示意图；
[0019]图3为本技术伸缩机构与检测夹零件拆分结构示意图；
[0020]图4为本技术外观检测机构零件拆分结构示意图
。
[0021]图中：
1、
基座；
2、
安装架；
3、
伸缩机构；
301、
连接套；
302、
调节杆；
303、
固定槽；
4、
固定块；
5、
转动块；
6、
检测夹；
7、
橡胶垫；
8、
外观检测机构；
801、
检测支撑架；
802、
定位孔；
803、
调节柱；
804、
安装槽；
805、
复位弹簧；
806、
定位销；
9、
顶架；
10、
检测光照灯
。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述
。
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制
。
[0023]下面根据本技术的整体结构，对其实施例进行说明
。
[0024]请参阅图1‑4，一种氮化镓外延片加工用检测装置，包括基座1，基座1的外侧顶端焊接有安装架2，安装架2的外侧壁安装有伸缩机构3，通过设置的伸缩机构3，可以根据需要检测的氮化镓外延片的尺寸大小，将连接套
301
内侧的调节杆
302
进行螺纹拧动伸缩位置调节，从而使得调节杆
302
带动检测夹6进行伸缩间距调节，可以适用于不同尺寸的氮化镓外延片进行夹持固定，同时通过固定槽
303
与固定块4之间的卡合连接，方便对检测夹6进行安装和拆卸，提高了外观检测装置的实用性
。
[0025]请参阅图1‑4，一种氮化镓外延片加工用检测装置，伸缩机构3的一端铆接有固定块4，固定块4的一端焊接有转动块5，转动块5的外侧壁焊接有检测夹6，检测夹6的内侧壁贴合有橡胶垫7，通过设置的固定块
4、
转动块
5、
检测夹6和橡胶垫7，在将检测夹6对氮化镓外延片夹持固定完成后，再将检测夹6通过转动块5与调节杆
302
进行
360
°
角度旋转，使得工作人员在外观检测时更加使用，避免了需要进行来回拆装，提高了外观检测效率
。
[0026]请参阅本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种氮化镓外延片加工用检测装置，包括基座
(1)
，其特征在于：所述基座
(1)
的外侧顶端焊接有安装架
(2)
，所述安装架
(2)
的外侧壁安装有伸缩机构
(3)
；所述伸缩机构
(3)
的一端铆接有固定块
(4)
，所述固定块
(4)
的一端焊接有转动块
(5)
，所述转动块
(5)
的外侧壁焊接有检测夹
(6)
，所述检测夹
(6)
的内侧壁贴合有橡胶垫
(7)
；所述基座
(1)
的上表面安装有外观检测机构
(8)
，所述外观检测机构
(8)
的顶端安装有顶架
(9)
，所述顶架
(9)
的一端安装有检测光照灯
(10)。2.
根据权利要求1所述的一种氮化镓外延片加工用检测装置，其特征在于：所述伸缩机构
(3)
包括连接套
(301)、
调节杆
(302)
和固定槽
(303)
，所述安装架
(2)
的外侧壁焊接有连接套
(301)
，所述连接套
(301)
的内侧套设有调节杆
(302)
，所述调节杆
(302)
的一端开设有固定槽
(303)。3.
根据权利要求2所述的一种氮化镓外延片加工用检测装置，其特征在于：所述连接套
(301)
与调节杆
(302)
之间为螺纹连接，所述连接套
(301)
的内侧与调节杆<...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗艾，蔡长祐，
申请(专利权)人：南京百识电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：