多线切割机磨削用高同轴度芯轴组件制造技术

本实用新型专利技术公开了多线切割机磨削用高同轴度芯轴组件，涉及机械加工相关技术领域

【技术实现步骤摘要】
多线切割机磨削用高同轴度芯轴组件


[0001]本技术属于机械加工相关
，特别是涉及多线切割机磨削用高同轴度芯轴组件
。

技术介绍

[0002]多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法
。
数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式，其在工作时，为了保证切割出的相应薄片的平直度，因此工作时，其驱动工作的芯轴需要良好地保持平直，但它在实际使用中仍存在以下弊端：
[0003]线切割机磨削用芯轴组件在工作时，芯轴组件在安装后，需要通过千分表进行相应地检测，在安装的过程中，需要确保同轴度在一定地范围内，但是在使用时芯轴组件工作过程中，由于受力，会造成芯轴发生弯曲，影响同轴度，只能进行更换，使用成本较高；
[0004]线切割机磨削用芯轴组件在工作时，需要进行芯轴组件的安装，在工作的过程中，芯轴组件安装时，只有直接将芯轴组件套入安装位置，进行过盈配合，在需要拆卸时操作不便
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供多线切割机磨削用高同轴度芯轴组件，通过设置外筒
、
限制壳
、
内筒
、
内柱和外固定环，解决了线切割机磨削用芯轴组件同轴度保持不便，且芯轴组件拆装不便的问题
。
[0006]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0007]本技术为多线切割机磨削用高同轴度芯轴组件，包括外筒
、
限制壳
、
内筒
、
内柱和外固定环，所述外筒内对称设置有限制壳，所述限制壳呈半圆弧形，且位置互相对称，两个所述限制壳之间活动连接有内筒，所述内筒的内壁上固定有内柱，所述内柱的两端皆固定有延伸轴体，所述延伸轴体的周侧固定有外固定环，所述外固定环内呈环形阵列螺纹连接有调整螺栓，工作时，通过外筒将限制壳限制在其中，通过限制壳限制外筒中的位置，通过内筒将内柱固定在其中，并使得内柱活动连接在两个限制壳之间，通过内柱将两个延伸轴体连接在其上，通过外固定环将调整螺栓螺纹连接在其上，使得工作时可以调整两个延伸轴体之间的同轴度
。
[0008]进一步地，所述外筒内壁上对称开设有螺孔，且螺孔的位置互相对应，内径相等，所述外筒内壁的上部和下部皆固定有互相对称的限位挡板，外筒在工作时，通过螺孔螺纹连接转动螺栓
。
[0009]进一步地，所述限制壳的内壁上开设有若干卡槽，且卡槽之间的间距相等，所述限制壳外侧中部转动连接有转动螺栓，所述转动螺栓螺纹连接在螺孔内，限制壳在工作时，通过卡槽活动连接活动环
。
[0010]进一步地，所述内筒的周侧固定有若干活动环，所述活动环之间的间距相等，所述活动环活动连接在卡槽内，内筒在工作时，通过活动环活动连接在卡槽内，使得工作时，内筒活动连接在两个卡槽之间
。
[0011]进一步地，两个所述外固定环内部中央皆贯通开设有内固定孔，所述延伸轴体贯通固定在内固定孔内，外固定环在工作时，通过内固定孔固定在延伸轴体上
。
[0012]进一步地，所述内固定孔外侧的外固定环上呈环形阵列贯通开设有螺纹孔，且螺纹孔内贯通螺纹连接有调整螺栓，所述调整螺栓靠近内柱的一端与内柱的端面抵接，外固定环在工作时，通过螺纹孔螺纹连接调整螺栓
。
[0013]本技术具有以下有益效果：
[0014]本技术通过设置内筒
、
内柱和外固定环，解决了线切割机磨削用芯轴组件同轴度保持不便的问题
,
通过千分表测量两个延伸轴体的同轴度，若测量发现有偏差，旋转相应位置的调整螺栓，使得在通过千分表测量后两个延伸轴体同轴度在合适的范围后，即可投入使用，使得在工作时，可以良好地保持线切割机磨削用芯轴组件同轴度，降低更换成本
。
[0015]本技术通过设置外筒
、
限制壳和内筒，解决了线切割机磨削用芯轴组件拆装不便的问题，在需要卸内柱和内筒时，转动转动螺栓，使得两个限制壳互相远离，使得内筒可以取下，安装时，将相应的内筒上活动环对准限制壳上卡槽，旋转转动螺栓，将两个限制壳合上，完成安装，使得在工作时，线切割机磨削用芯轴组件拆装更加方便
。
附图说明
[0016]图1为多线切割机磨削用高同轴度芯轴组件组装结构立体图；
[0017]图2为外筒结构立体图；
[0018]图3为限制壳结构立体图；
[0019]图4为内筒结构立体图；
[0020]图5为内柱结构立体图；
[0021]图6为外固定环结构立体图
。
[0022]附图标记：
[0023]1、
外筒；
101、
螺孔；
102、
限位挡板；
2、
限制壳；
201、
转动螺栓；
202、
卡槽；
3、
内筒；
301、
活动环；
4、
内柱；
401、
延伸轴体；
5、
外固定环；
501、
内固定孔；
502、
螺纹孔；
503、
调整螺栓
。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述
。
[0025]请参阅图1‑6所示，本技术为多线切割机磨削用高同轴度芯轴组件，包括外筒
1、
限制壳
2、
内筒
3、
内柱4和外固定环5，外筒1内对称设置有限制壳2，外筒1在工作时，固定在相应的工件内，使得内柱4连接在相应的结构内，通过限制壳2将相应的内筒3限制在其中，限制壳2呈半圆弧形，且位置互相对称，限制壳2在工作时，通过呈半圆弧形，使得在工作时，两个互相对称的限制壳2将内筒3限制在其中，两个限制壳2之间活动连接有内筒3，内筒
3
在工作时，将内柱4固定在其中，内筒3的内壁上固定有内柱4，内柱4的两端皆固定有延伸轴体
401
，内柱4使得延伸轴体
401
固定在其上，通过延伸轴体
401
使得在工作时，连接相应的传动组件，延伸轴体
401
的周侧固定有外固定环5，外固定环5内呈环形阵列螺纹连接有调整螺栓
503
，外固定环5在工作时，使得延伸轴体
401
的同轴度得以可以进行相应地调整
。
[0026]其中如图
1、2
所示，外筒1内壁上对称开设有螺孔
101
，且螺孔
101
的位置互相对应，内径相等，外筒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
多线切割机磨削用高同轴度芯轴组件，包括外筒（1）
、
限制壳（2）
、
内筒（3）
、
内柱（4）和外固定环（5），其特征在于：所述外筒（1）内对称设置有限制壳（2），所述限制壳（2）呈半圆弧形，且位置互相对称，两个所述限制壳（2）之间活动连接有内筒（3），所述内筒（3）的内壁上固定有内柱（4），所述内柱（4）的两端皆固定有延伸轴体（
401
），所述延伸轴体（
401
）的周侧固定有外固定环（5），所述外固定环（5）内呈环形阵列螺纹连接有调整螺栓（
503
）
。2.
根据权利要求1所述的多线切割机磨削用高同轴度芯轴组件，其特征在于：所述外筒（1）内壁上对称开设有螺孔（
101
），且螺孔（
101
）的位置互相对应，内径相等，所述外筒（1）内壁的上部和下部皆固定有互相对称的限位挡板（
102
）
。3.
根据权利要求2所述的多线切割机磨削用高同轴度芯轴组件，其特征在于：所述限制壳（2）的内壁上开设有若干卡槽（
202
），且卡槽（
202
）之间的间距相等，所述限制壳（2）外侧中部转动连接有转动螺栓（<...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫伟玉，宋合正，安德生，杨志强，
申请(专利权)人：新乡市福晟机械有限公司，
类型：新型
国别省市：