【技术实现步骤摘要】
一种管道维护装置
[0001]本技术涉及管道维护
，尤其涉及一种管道维护装置
。
技术介绍
[0002]半导体的制作，需要使用到具有毒性
、
腐蚀性
、
易燃性的液态化学品，导致在半导体的制作过程中会伴随产生大量尾气
。
产生的尾气会经尾气管道进入到尾气处理设备进行处理，达到排放标准后，再排入至大气中
。
[0003]尾气中夹带着含酸
、
碱以及腐蚀性的化学物质，相关化学物质会发生化学反应，从而生成化学沉积物，造成尾气管堵塞，影响尾气的处理效率
。
因此需要定期清理尾气管道内生成的化学沉积物
。
[0004]对尾气管道进行清洗时，需要人工将尾气管道浸泡于清水池中，使化学堵塞物软化进而对其进行清洁
。
人工操作加大了清洁人员的工作强度，而且化学沉积物接触清水时可能会产生酸
、
碱废气浓雾，或者稀释成具有酸
、
碱的腐蚀废液，清洁人员吸入废气或者接触废液，会...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种管道维护装置，其特征在于，包括：清洗箱
(1)
，具有容纳待清洁管道的清洗空间
(10)
，所述清洗空间
(10)
能够收集清洗废气和
/
或清洗废液；清洗组件，包括清洗管道
(21)
和风干管道
(22)
，所述清洗管道
(21)
和所述风干管道
(22)
能够连通所述待清洁管道，所述清洗管道
(21)
用于输送清洗水以清洗所述待清洁管道，所述风干管道
(22)
用于风干清洗后的所述待清洁管道；修护组件，包括喷头
(31)
和涂料箱
(32)
，所述涂料箱
(32)
用于容纳修护涂料，所述修护组件能够通过所述喷头
(31)
对清洗后的所述待清洁管道的内壁喷涂修护膜层；回收组件，包括连接外部处理系统的第一回收管
(41)
，所述第一回收管
(41)
连通所述清洗空间
(10)
，用于回收所述清洗废气和
/
或清洗废液
。2.
根据权利要求1所述的管道维护装置，其特征在于，所述清洗管道
(21)
包括第一管道
(211)
和第二管道
(212)
，所述清洗箱
(1)
设置有低压水入口
(11)
和高压水入口
(12)
，所述第一管道
(211)
远离所述待清洁管道的一端与所述低压水入口
(11)
连通，所述第二管道
(212)
远离所述待清洁管道的一端与所述高压水入口
(12)
连通
。3.
根据权利要求2所述的管道维护装置，其特征在于，所述清洗组件还包括第一连通管
(23)
，所述第一连通管
(23)
的一端连通所述待清洁管道，所述第一管道
(211)、
所述第二管道
(212)
和所述风干管道
(22)
的一端交汇以连接所述第一连通管
(23)
的另一端，所述第一管道
(211)
上设有第一电磁阀
(213)
，所述第二管道
(212)
上设置有第二电磁阀
(214)
，所述风干管道
(22)
上设置有第三电磁阀
(221)。4.
根据权利要求3所述的管道维护装置，其特征在于，所述第一连通管
(23)
设置有接口件
(231...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡承军，王农华，梁博升，戴合鹏，初守庆，胡绍聪，
申请(专利权)人：广东中图半导体科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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