一种用于半导体真空阀门真空测试的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空阀门测试技术领域，尤其涉及一种用于半导体真空阀门真空测试的装置

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体真空阀门真空测试的装置


[0001]本技术涉及真空阀门测试
，尤其涉及一种用于半导体真空阀门真空测试的装置
。

技术介绍

[0002]真空阀门是用于控制真空系统中气体流动的装置，用于打开
、
关闭或调节真空系统中的气体通道，在对其生产过程中，对成品的真空检测是必不可少的生产步骤
。
[0003]在进行半导体真空阀门的真空测试时，其半导体真空阀门用于控制和调节真空系统中的气体流动，它们通常被用于半导体制造过程中的真空腔体
、
真空管道和真空室等部位，对于气密的要求更加重要，在检测过程中，往往无法使用抽检，而是需要进行全检，导致其检测量大，因此对于工作效率的提高有着更加迫切的需求，同时常见的检测设备均通过固定的形式进行组合，调节收纳体积相对麻烦，不便于后续的收纳以及转移，并且针对不同尺寸的阀门检测对准安装也存在较大调节操作难度
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对
技术介绍
中存在的问题，提出一种用于半导体真空阀门真空测试的装置
。
[0005]本技术的技术方案：一种用于半导体真空阀门真空测试的装置，包括充气箱和检测箱，所述充气箱底部固定有运动底板，所述检测箱底部安装有固定底板，所述固定底板和运动底板之间设置有调节组件，所述充气箱和检测箱相靠近一侧均固定有检测安装管，所述检测安装管相互对齐，所述充气箱上端固定有充气泵，所述充气泵与检测箱之间安装有连接管，所述检测箱上安装有气压传感器和显示器
。<br/>[0006]优选的，所述调节组件包括螺纹杆和限位杆，所述螺纹杆转动连接在固定底板内且两端均穿过固定底板，所述螺纹杆靠近运动底板一端螺纹连接在运动底板内，所述螺纹杆远离运动底板一端固定有转把
。
[0007]优选的，所述限位杆固定在固定板靠近运动底板一侧且对称分布，所述限位杆端部滑动连接在运动底板内
。
[0008]优选的，所述运动底板和固定底板下端四角均安装有自锁万向轮，可以方便整个设备进行位置移动
。
[0009]优选的，所述固定底板上端远离运动底板一侧安装有推板，可以推动整个检测设备进行运动
。
[0010]优选的，所述连接管中间位置为弹簧管结构，在充气箱进行运动时，不会对连接管进行拉扯，保证连接管位于充气泵与检测箱之间的接头稳定
。
[0011]与现有技术相比，本技术具有如下有益的技术效果：利用充气的方式进行真空检测，可以使检测气压变化更加明显，进而实现提高效率的目的，同时整个检测装置可以进行伸缩，不仅可以对不同尺寸的真空阀进行快速检测调节，并且可以缩小收纳空间
。
附图说明
[0012]图1为本技术整体检测时正面外观结构示意图；
[0013]图2为本技术整体收纳时正面外观结构示意图；
[0014]图3为本技术运动底板与固定底板组合结构示意图
。
[0015]附图标记：
1、
充气箱；
11、
运动底板；
2、
检测箱；
21、
固定底板；
22、
气压传感器；
23、
显示器；
24、
推板；
3、
调节组件；
31、
螺纹杆；
32、
限位杆；
33、
转把；
4、
自锁万向轮；
5、
检测安装管；
6、
充气泵；
61、
连接管
。
具体实施方式
[0016]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明
。
[0017]实施例
[0018]如图1‑3所示，本技术提出的一种用于半导体真空阀门真空测试的装置，包括充气箱1和检测箱2，充气箱1底部固定有运动底板
11
，检测箱2底部安装有固定底板
21
，固定底板
21
和运动底板
11
之间设置有调节组件3，充气箱1和检测箱2相靠近一侧均固定有检测安装管5，检测安装管5相互对齐，充气箱1上端固定有充气泵6，充气泵6与检测箱2之间安装有连接管
61
，检测箱2上安装有气压传感器
22
和显示器
23
，运动底板
11
和固定底板
21
下端四角均安装有自锁万向轮4，固定底板
21
上端远离运动底板
11
一侧安装有推板
24
，连接管
61
中间位置为弹簧管结构
。
[0019]调节组件3包括螺纹杆
31
和限位杆
32
，螺纹杆
31
转动连接在固定底板
21
内且两端均穿过固定底板
21
，螺纹杆
31
靠近运动底板
11
一端螺纹连接在运动底板
11
内，螺纹杆
31
远离运动底板
11
一端固定有转把
33
，限位杆
32
固定在固定板靠近运动底板
11
一侧且对称分布，限位杆
32
端部滑动连接在运动底板
11
内，对转把
33
进行转动，使得螺纹杆
31
进行转动，并且通过限位杆
32
的限位，最终使运动底板
11
和固定底板
21
之间的距离产生变化，改变检测安装管5之间的间距
。
[0020]本实施例中，首先将整个装置连接外部电源，然后将半导体真空阀门安装到检测安装管5之间，然后利用充气泵6进行充气操作，使得检测箱2内的气体通过连接管
61
进入到充气箱1内，在检测箱2内的气压达到预定数值后，停止充气操作，此时充气箱1和检测箱2内的气压差远大于一个标准气压，使得气体流动压力增加，当半导体真空阀门存在一定质量问题时，气体会快速进入到检测箱2内，接人导致检测箱2内的气压快速变化，缩短了等待时间，进而实现加快检测速度的目的，在此基础上，针对不同尺寸的半导体真空阀门检测，可以对转把
33
进行转动，使得螺纹杆
31
进行转动，并且通过限位杆
32
的限位，最终使运动底板
11
和固定底板
21
之间的距离产生变化，改变检测安装管5之间的间距，快速完成对不同半导体真空阀门的安装距离调节，并且在检测结束后，可以将运动底板
11
调节到与固定底板
21
相抵的位置，缩小的整个检测设备的占地面积，进而实现方便收纳的目的
。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于半导体真空阀门真空测试的装置，包括充气箱
(1)
和检测箱
(2)
，其特征在于：所述充气箱
(1)
底部固定有运动底板
(11)
，所述检测箱
(2)
底部安装有固定底板
(21)
，所述固定底板
(21)
和运动底板
(11)
之间设置有调节组件
(3)
，所述充气箱
(1)
和检测箱
(2)
相靠近一侧均固定有检测安装管
(5)
，所述检测安装管
(5)
相互对齐，所述充气箱
(1)
上端固定有充气泵
(6)
，所述充气泵
(6)
与检测箱
(2)
之间安装有连接管
(61)
，所述检测箱
(2)
上安装有气压传感器
(22)
和显示器
(23)。2.
根据权利要求1所述的一种用于半导体真空阀门真空测试的装置，其特征在于，所述调节组件
(3)
包括螺纹杆
(31)
和限位杆
(32)
，所述螺纹杆
(31)
转动连接在固...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘红平，
申请(专利权)人：上海冠田机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：