磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，包括主机架；第一滚轮组件，设置在所述主机架上；所述第一滚轮组件设置有第一辊，所述第一辊与所述主机架之间为转动连接；第二滚轮组件，设置在所述主机架上；所述第二滚轮组件设置有第二辊，所述第二辊与所述主机架之间为转动连接；所述第一辊与所述第二辊间隔设置且在水平方向上并行；压紧组件，设置在所述主机架上；所述压紧组件适于将分子泵压紧在所述第一辊和所述第二辊上；所述压紧组件包括：压紧支架和压紧轮，所述压紧轮适于压紧所述分子泵的表面；所述压紧轮的轴线与所述承重辊的轴线相平行

【技术实现步骤摘要】
磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置


[0001]本专利技术涉及磁悬浮分子泵测试装置
，具体涉及一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置
。

技术介绍

[0002]针对磁悬浮分子泵的水平四角度积分输出调试过程，是保证分子泵产品合格的重要环节之一，同时也是保证分子泵安全运行的关键工艺
。
磁悬浮分子泵作为真空获得设备，在镀膜
、
半导体领域得到了广泛应用
。
由于客户现场设备特点不一，要求磁悬浮分子泵能够满足任意角度安装，进而要求分子泵在任意角度状态下均可正常悬浮，且悬浮中心稳定
。
水平四角度积分输出调试，则是用来判断分子泵在任意角度下是否悬浮正常
。
当下针对分子泵水平四角度积分输出调试，需要两人一起完成，调试过程中操作人员将分子泵置于桌面，旋转分子泵分别于0°
、90
°
、180
°
、270
°
，记录各个角度下积分输出数值，判断在四角度下转子悬浮是否正常
。
分子泵平均重量为
61kg
，给操作人员带来了较大负担；分子泵旋转角度由调试人员控制，数据精度无法得到保证
。

技术实现思路

[0003]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中对磁悬浮分子泵进行水平四角度积分输出测试时需要人工搬挪泵体而费时费力的缺陷，从而提供一种便于转动泵体的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置
。
>[0004]为解决上述技术问题，本申请提供了一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，包括：
[0005]主机架；
[0006]第一滚轮组件，设置在所述主机架上；所述第一滚轮组件设置有第一辊，所述第一辊与所述主机架之间为转动连接；
[0007]第二滚轮组件，设置在所述主机架上；所述第二滚轮组件设置有第二辊，所述第二辊与所述主机架之间为转动连接；所述第一辊与所述第二辊间隔设置且在水平方向上并行；
[0008]压紧组件，设置在所述主机架上；所述压紧组件适于将分子泵压紧在所述第一辊和所述第二辊上；
[0009]所述压紧组件包括：
[0010]压紧支架，设置在所述主机架上；
[0011]压紧轮，转动连接在压紧支架朝向主机架的一侧，所述压紧轮适于压紧所述分子泵的表面；所述压紧轮的轴线与所述第一辊的轴线相平行
。
[0012]可选地，所述压紧组件还包括：
[0013]升降机架，设置在所述主机架上；所述升降机架上滑动连接有压紧支架
。
[0014]可选地，所述压紧组件还包括：
[0015]第一驱动装置，设置在所述主机架上；所述第一驱动装置与所述压紧支架连接，压紧支架由第一驱动装置驱动；在所述第一驱动装置的驱动作用下，所述压紧支架适于在所述升降支架上滑动
。
[0016]可选地，主机架上滑动定位连接有第一辊支架，第一辊与第一辊支架转动连接；第一辊支架的滑动方向在水平面上垂直于第一辊的轴线；主机架上固定连接有第二辊支架，第二辊与第二辊支架转动连接
。
[0017]可选地，主机架
、
升降机架和压紧支架三者构成
C
字形结构；第二辊相对于第一辊靠近所述
C
字形结构的开口侧
。
[0018]可选地，主机架上固定连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置与第二辊传动连接；主机架上设置有第三驱动装置，所述第三驱动装置传动连接有滚珠丝杠，滚珠丝杠的朝向与第一辊支架的滑动方向相同；第一辊支架固定连接有丝杠螺母，所述丝杠螺母与滚珠丝杠相适配连接
。
[0019]可选地，所述压紧轮与压紧支架滑动定位连接；所述压紧轮的数量为两个；在主视视角下，第一辊
、
第二辊和两个所述压紧轮的轴线呈正立的等腰梯形分布
。
[0020]可选地，两个所述压紧轮转动连接在同一个压紧轮支座上，所述压紧轮支座与压紧支架滑动连接
。
[0021]可选地，还包括角度检测装置，所述角度检测装置与主机架形成滑动连接，所述角度检测装置的滑动方向与第一辊支架的滑动方向相同；所述角度检测装置通过传感器支架与主机架连接，传感器支架上沿铅锤方向设置有安装调整孔，所述角度检测装置安装在所述安装调整孔中
。
[0022]可选地，所述角度检测装置为光电传感器，光电传感器与所述第二驱动装置通讯连接；在所述分子泵的端面上沿周向于0°
、90
°
、180
°
和
270
°
四个位置上贴有反光条；在所述分子泵的旋转过程中，反光条途经光电传感器
。
[0023]通过采用上述技术方案，本专利技术具有如下技术效果：
[0024]1.
本专利技术提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，使分子泵放于第一辊和第二辊之上后，再于泵体上方通过压紧轮以至少三点定位的方式将呈圆柱状的分子泵可靠地卡固在各辊轮之间，以防止泵体脱出造成意外伤害，而测试时可以依靠驱动装置或用人力轻轻转动泵体便可使分子泵完成水平四角度的转动，相比采用人力搬转泵体的方式，其省时省力，提高了测试效率
。
[0025]2.
本专利技术提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，因第一辊支架的滑动方向在水平面上垂直于第一辊的轴线，故可以调整第一辊和第二辊之间的跨度，从而适于支撑更大直径的泵体，提高了本装置的适应性
。
[0026]3.
本专利技术提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，其第二辊相对于第一辊靠近所述
C
字形结构的开口侧，可以使分子泵在从
C
字形结构的入口进入后，尽快移动至承重辊之上，以便尽快落下，提高测试效率
。
[0027]4.
本专利技术提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，因为第二辊是与主机架的位置相对固定的，所以由第二驱动装置去驱动第二辊，相比于去驱动会滑动的第一辊，可以方便相关设备的布局摆放，及降低相关传动装置的复杂度，有利于提高整个装置的可靠性且降低成本
。
[0028]5.
本专利技术提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，采用了滚珠丝杠与丝杠螺母的形式来驱动第一辊支架的滑动，一方面代替人工对第一辊支架的调整挪动，节省了人力，另一方面滚珠丝杠与丝杠螺母具有自锁能力，在第一辊支架调整到位后，其相对位置便得到固定，避免了单独再设其他固定装置，降低了本装置的复杂度，使用便利
。
[0029]6.
本专利技术提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，所述压紧轮与压紧支架滑动定位连接，可实现更牢固可靠地对分子泵的夹紧卡固，以便提高本装置的可靠性和安全性
。
[0030]7.
本专利技术提供的磁悬浮分子泵水平四角度积分输出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，其特征在于，包括：主机架
(27)
；第一滚轮组件，设置在所述主机架
(27)
上；所述第一滚轮组件设置有第一辊
(13)
，所述第一辊
(13)
与所述主机架
(27)
之间为转动连接；第二滚轮组件，设置在所述主机架
(27)
上；所述第二滚轮组件设置有第二辊
(26)
，所述第二辊
(26)
与所述主机架
(27)
之间为转动连接；所述第一辊
(13)
与所述第二辊
(26)
间隔设置且在水平方向上并行；压紧组件，设置在所述主机架
(27)
上；所述压紧组件适于将分子泵压紧在所述第一辊
(13)
和所述第二辊
(26)
上；所述压紧组件包括：压紧支架
(2)
，设置在所述主机架
(27)
上；压紧轮，转动连接在压紧支架
(2)
朝向主机架
(27)
的一侧，所述压紧轮适于压紧所述分子泵的表面；所述压紧轮的轴线与所述第一辊
(13)
的轴线相平行
。2.
根据权利要求1所述的一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，其特征在于，所述压紧组件还包括：升降机架
(7)
，设置在所述主机架
(27)
上；所述升降机架
(7)
上滑动连接有压紧支架
(2)。3.
根据权利要求2所述的一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，其特征在于，所述压紧组件还包括：第一驱动装置，设置在所述主机架
(27)
上；所述第一驱动装置与所述压紧支架
(2)
连接，压紧支架
(2)
由第一驱动装置驱动；在所述第一驱动装置的驱动作用下，所述压紧支架
(2)
适于在所述升降支架
(7)
上滑动
。4.
根据权利要求3所述的一种磁悬浮分子泵水平四角度积分输出测试装置，其特征在于，主机架
(27)
上滑动定位连接有第一辊支架
(16)
，第一辊
(13)
与第一辊支架
(16)
转动连接；第一辊支架
(16)
的滑动方向在水平面上垂直于第一辊
(13)
的轴线；主机架
(27)
上固定连接有第二辊支架
(20)
，第二辊
(26)
与第二辊支架
(20)
转动连接
。5.
根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：许鹏，李赏，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：