【技术实现步骤摘要】
一种谐振频率跟踪射频电源
[0001]本技术涉及射频电源中的等离子体电源
,具体涉及一种谐振频率跟踪射频电源
。
技术介绍
[0002]等离子体发生器由等离子体电源和发生器负载所组成,工作于整个集成电路的谐振频率附近时,输出功率
、
效率等特性达到最佳
。
在负载工作过程中,工作温度
、
接触材料的不同,其谐振频率都会发生变化
。
若电源工作时的供电频率未随之发生变化,轻则效率降低
、
无法产生等离子体,重则损坏发生器负载
。
[0003]当射频电源工作频率与负载的谐振频率不相等时,负载部分呈容性或者感性,此时负载的电压和电流之间会存在相位差
。
这就需要电源电路要对负载频率和相位进行自动监控和调节,并使等离子体发生器一直工作于功率因数接近或等于1的准谐振或谐振状态
。
技术实现思路
[0004]针对上述技术问题,本技术提出一种在考虑等离子体发生器电路集成化
、
小型化的因素下的谐振频率跟踪射频电源,保证了电源输出频率跟踪负载的谐振频率,提升系统输出性能
。
[0005]本技术提供的技术方案如下:
[0006]一种谐振频率跟踪射频电源,包括锁相环电路
、
占空比调节电路
、
驱动电路
、
功率电路
、
采样电路
、
信号处理电路;
[0007]可选 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种谐振频率跟踪射频电源,其特征在于:包括锁相环电路
(100)、
占空比调节电路
(200)、
驱动电路
(300)、
功率电路
(400)、
采样电路
(500)、
信号处理电路
(700)
;所述功率电路
(400)
具有高压输出端和低压输出端,高压输出端和低压输出端之间连接负载;所述采样电路
(500)
与所述高压输出端以及低压输出端连接,用于采集负载电压信号和负载电流信号,所述采样电路
(500)
的两个输出端分别与所述信号处理电路
(700)
的两个输入端连接,用于处理采样信号,所述信号处理电路
(700)
的两个输出端分别连接于所述锁相环电路
(100)
的两个输入端;所述锁相环电路
(100)
的输出端连接于所述占空比调节电路
(200)
的输入端,所述占空比调节电路
(200)
用于生成两路占空比可调的
PWM
信号;所述占空比调节电路
(200)
的两个输出端分别连接于所述驱动电路
(300)
的两个输入端,所述驱动电路
(300)
用于生成两路开关管驱动信号;所述驱动电路
(300)
的两个输出端分别连接于所述功率电路
(400)
中的两个输入端,所述功率电路
(400)
用于生成交流电压和交流电流供负载工作,形成闭环谐振频率跟踪
。2.
根据权利要求1所述的一种谐振频率跟踪射频电源,其特征在于:所述锁相环电路
(100)
包括:鉴相器
、
低通环路滤波器
、
压控振荡器
、
频率调节电路和自激启动电路;所述信号处理电路
(700)
的两个输出端连接于所述锁相环电路
(100)
中鉴相器的两个输入端;所述锁相环电路
(100)
中低通环路滤波器的输入端与所述锁相环电路
(100)
中鉴相器的输出端相连接,所述锁相环电路
(100)
中的压控振荡器与所述锁相环电路
(100)
中低通环路滤波器的输出端相连接
。3.
根据权利要求2所述的一种谐振频率跟踪射频电源,其特征在于,所述锁相环电路包括:鉴相器
、
低通环路滤波器
、
压控振荡器
技术研发人员:尹子依,袁佳俊,
申请(专利权)人:宁波小为智能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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