一种承载盘及检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种承载盘及检测设备，包括盘体

【技术实现步骤摘要】
一种承载盘及检测设备


[0001]本技术涉及承载
，特别涉及一种承载盘及检测设备
。

技术介绍

[0002]在对晶圆进行检测的过程中，晶圆难免存在一定翘曲，且其翘曲有可能为凸形状
(
如图1所示
)、
凹形状
(
如图2所示
)
或者是波浪形状
(
如图3所示
)。
因此，提供一种既能满足吸附各种形状翘曲，又能尽量减少污染的承载盘，是非常有必要的
。
为适应上述需求行业内会采取不同处理翘曲的方式，常见的处理方式为增加密封圈
、
增加局部吸嘴的方式
。
但是上述处理方式中，由于晶圆与密封圈及吸嘴之间为柔性接触，导致晶圆此区域背部无支撑力，进而导致此区域平面度下降
。
[0003]因此，如何在提高晶圆吸附后的平面度，是本领域技术人员亟待解决的技术问题
。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供了一种承载盘及检测设备，以在提高晶圆吸附后的平面度
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种承载盘，其特征在于，所述承载盘包括盘体
、
主密封环和辅助密封环，其中：所述盘体具有中部区域和包围所述中部区域的边缘区域；所述主密封环设置在所述边缘区域；所述辅助密封环设置在所述中部区域，并将所述中部区域分隔为多个密封区域，多个所述密封区域均设置有凸点结构和真空吸附孔
。2.
如权利要求1所述的承载盘，其特征在于，所述凸点结构的高度大于所述辅助密封环的高度，且等于所述主密封环的高度
。3.
如权利要求2所述的承载盘，其特征在于，所述凸点结构为自所述盘体表面向外凸出的结构，所述凸点结构为圆柱体结构
、
棱柱结构
、
棱台结构
、
圆锥台结构或者半球体结构
。4.
如权利要求1所述的承载盘，其特征在于，在每个所述密封区域内的所述凸点结构均匀分布；或者，在整个所述中部区域内的所述凸点结构均匀分布
。5.
如权利要求1所述的承载盘，其特征在于，所述辅助密封环的宽度小于所述主密封环的宽度；或者，所述辅助密封环的宽度小于相邻所述凸点结构之间的距离
。6.
如权利要求1所述的承载盘，其特征在于，所述辅助密封环的数...

【专利技术属性】
技术研发人员：范铎，张鹏斌，胡诗铭，韦康，王少斌，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：