【技术实现步骤摘要】
一种光学检测系统
[0001]本专利技术涉及检测
，尤其涉及一种光学检测系统。
技术介绍
[0002]半导体制程中，需要对晶圆上的缺陷进行检测，以确保制程良率或品质。而现有的晶圆检测，一般是通过线阵光学检测系统对晶圆进行扫描检测，或通过面阵光学检测系统对晶圆进行扫描检测。
[0003]而这两种方式在对晶圆进行检测时，往往存在检测效率低下和检测精度较低的问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术实施例提供了光学检测系统，用于控制线阵光学检测系统和面阵光学检测系统相互配合，对检测对象的检测区域进行扫描检测，从而提升了对检测对象的检测效率和检测精度。
[0005]本申请实施例提供了一种光学检测系统，包括：
[0006]面阵光学检测系统，包括第一光源、多个不同倍率的物镜、以及面阵检测相机，所述第一光源用于提供以预设角度照射检测对象的光束，所述多个不同倍率的物镜用于对所述检测对象的检测区域进行不同倍率的成像，所述面阵检测相机用于对所述检测区域进行逐帧图像扫描；
[0007]线阵光...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光学检测系统，其特征在于，包括：面阵光学检测系统，包括第一光源、多个不同倍率的物镜、以及面阵检测相机，所述第一光源用于提供以预设角度照射检测对象的光束，所述多个不同倍率的物镜用于对所述检测对象的检测区域进行不同倍率的成像，所述面阵检测相机用于对所述检测区域进行逐帧图像扫描；线阵光学检测系统，包括第二光源、单倍率物镜和线阵检测相机，所述第二光源用于提供以预设角度照射检测对象的光束，所述单倍率物镜用于对所述检测对象的检测区域进行单倍率成像，所述线阵检测相机用于对所述检测区域进行逐行图像扫描；其中，所述面阵光学检测系统和所述线阵光学检测系统相互配合，以实现对所述检测区域的逐帧图像扫描和逐行图像扫描，并对逐帧扫描到的图像和逐行扫描到的图像进行缺陷检测。2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述面阵检测相机为黑白相机，所述面阵光学检测系统还包括彩色相机，所述彩色相机通过分光镜和反光镜，设置在平行于所述黑白相机的方向上。3.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一光源包括第一环形光源，所述第二光源包括第二环形光源，所述第一环形光源所在的第一平面和所述第二环形光源所在的第二平面都平行于所述检测对象所在的平面；所述面阵光学检测系统还包括第三光源，所述第三光源包括第一明场光源，所述第一明场光源设置于垂直于所述第一平面的第三平面内，所述第一明场光源通过反光镜和分光镜与所述第一环形光源的光轴同轴设置，所述第一明场光源用于提供垂直照射所述检测对象中检测区域的光束；所述线阵光学检测系统还包括第四光源，所述第四光源包括第二明场光源，所述第二明场光源设置于垂直于所述第二平面的第四平面内，所述第二明场光源通过反光镜和分光镜与所述第二环形光源的光轴同轴设置，所述第二明场光源用于提供垂直照射所述检测对象中检测区域的光束。4.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一光源包括垂直照射所述检测区域的第一明场光源，所述第二光源包括垂直照射所述检测区域的第二明场光源，所述第一明场光源和所述第二明场光源分别都通过反光镜和分光镜提供垂直照射所述检测区域的光束；所述面阵光学检测系统还包括第三光源，所述第三光源包括第一环形光源，所述第一环形光源所在的第一平面平行于所述检测对象所在的平面，所述第一平面垂直于所述第一明场光源所在的平面，且所述第一环形光源的光轴与所述第一明场光源照射所述检测区域的光束同轴设置；所述线阵光学检测系统还包括第四光源，所述第四光源包括第二环形光源，所述第二环形光源所在的第二平面平行于所述检测对象所在的平面，所述第二平面垂直于所述第二明场光源所在的平面，且所述第二环形光源的光轴与所述第二明场光源照射所述检测区域的光束同轴设置。5.根据权利要求3或4所述的光学检测系统，其特征在于，所述面阵光学检测系统还包括第一自动聚焦传感器，所述线阵光学检测系统还包括第二自动聚焦传感器；
所述第一自动聚焦传感器通过分光镜和...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪艮超，张鹏斌，刘健鹏，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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