下载一种光学检测系统的技术资料

文档序号:39864964

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本发明实施例公开了一种光学检测系统,用于同步提升对检测区域中缺陷检测的效率和精度。本发明实施例中的光学检测系统,包括:面阵光学检测系统,包括第一光源、多个不同倍率的物镜、以及面阵检测相机,第一光源用于提供光束,多个不同倍率的物镜用于对检测对...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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