一种加热结构及镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种加热结构及镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域，其中，加热结构包括：加热组件，包括加热部件，所述加热部件具有第一表面，所述第一表面用于与放置有工件的载板的底面抵接，所述加热部件用于接触式加热所述载板；顶升机构，用于驱动所述加热部件升降。放置有待加热的工件载板位于加热工位时，顶升机构驱动加热部件升起，使加热部件的第一表面与位于加热工位的载板的底面抵接，然后加热部件通过接触方式直接对载板进行加热。相较于辐射式加热方式，本申请中加热部件与载板直接接触并通过接触方式直接加热载板，利于提高热量在加热部件与载板之间的传导效率，从而利于提高对载板上的工件的加热效率。高对载板上的工件的加热效率。高对载板上的工件的加热效率。

【技术实现步骤摘要】
一种加热结构及镀膜设备


[0001]本技术涉及镀膜设备
，特别涉及一种加热结构及镀膜设备。

技术介绍

[0002]在真空镀膜工艺过程中，需要对硅片进行加热，现有的加热方式通常采用辐射式加热，即在真空环境中，载板经过热源，热源通过热辐射的形式对硅片进行加热。但辐射型加热方式存在加热效率低的问题。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种加热结构，能够有效提高放置于载板上的待加热工件的加热效率。
[0004]本技术还提出一种具有上述加热结构的镀膜设备。
[0005]根据本技术一方面实施例的加热结构，包括：加热组件，包括加热部件，所述加热部件具有第一表面，所述第一表面用于与载板的底面抵接，所述加热部件用于接触式加热所述载板；顶升机构，用于驱动所述加热部件升降，以使所述第一表面与所述载板的底面抵接。
[0006]进一步地，所述加热部件包括多个加热单元，每个所述加热单元均具有独立设置的加热装置。
[0007]进一步地，所述加热部件还具有与所述第一表面相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热结构，其特征在于，包括：加热组件，包括加热部件，所述加热部件具有第一表面，所述第一表面用于与载板的底面抵接，所述加热部件用于加热所述载板；顶升机构，用于驱动所述加热部件升降，以使所述第一表面与所述载板的底面抵接。2.根据权利要求1所述的加热结构，其特征在于，所述加热部件包括多个加热单元，每个所述加热单元均具有独立设置的加热装置。3.根据权利要求1或2所述的加热结构，其特征在于，所述加热部件还具有与所述第一表面相对设置的第二表面，所述顶升机构包括顶升部件和第一驱动件，所述顶升部件与所述第二表面连接，所述第一驱动件通过驱动所述顶升部件升降以带动所述加热部件升降。4.根据权利要求3所述的加热结构，其特征在于，所述顶升部件具有中空的空腔。5.根据权利要求1所述的加热结构，其特征在于，所述加热结构还包括拦截组件，所述拦截组件用于止挡所述载板，以使所述载板位于所述加热部件的加热工位。6.根据权利要求5所述的加热结构，其特征在于，所述拦截组件包括第二驱动件和与所述第二驱动件的输出端连接端的挡片，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：