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本实用新型公开了一种加热结构及镀膜设备,涉及镀膜设备技术领域,其中,加热结构包括:加热组件,包括加热部件,所述加热部件具有第一表面,所述第一表面用于与放置有工件的载板的底面抵接,所述加热部件用于接触式加热所述载板;顶升机构,用于驱动所述加热...该专利属于广东利元亨智能装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东利元亨智能装备股份有限公司授权不得商用。
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