应用于清洗光刻版的夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种应用于清洗光刻版的夹具，包括：固定手柄；第一连接杆，一端与固定手柄连接；第一夹杆，一端与第一连接杆的另一端连接，另一端设置有用于夹持光刻版的第一凹槽件；活动手柄；第二连接杆，一端与活动手柄连接，第二连接杆与第一连接杆铰接；第二夹杆，一端与第二连接杆连接，另一端设置有用于夹持光刻版的第二凹槽件

【技术实现步骤摘要】
应用于清洗光刻版的夹具


[0001]本技术涉及光刻版设备
，尤其是涉及一种应用于清洗光刻版的夹具
。

技术介绍

[0002]接触式光刻机的曝光原理是光刻版和晶圆零距离接触，光刻版图形一比一复制到晶圆上
。
但是因为是零距离接触，曝光的过程中晶圆上的光刻胶难免会粘到光刻版上，这样就很容易将光刻版污染，这就需要定期对光刻版进行清洁，要不然影响后续工艺，导致图形缺陷及图形关键尺寸异常
。
光刻版清洁过程中经常需要用手拿，这就暴露出以下缺点：一，光刻版粘上溶剂很光滑，手拿容易脱落；二，员工戴的手套材质是
PVC
材质，很容易被丙酮腐蚀损坏，使用者皮肤就会暴露被腐蚀；三，手拿很容易对光刻版进行二次污染，导致清洁不干净
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服上述技术不足，提出一种应用于清洗光刻版的夹具，解决现有技术中光刻版容易被污染的技术问题
。
[0004]为达到上述技术目的，本技术的技术方案提供一种应用于清洗光刻版的夹具，包括：
[0005]固定手柄；
[0006]第一连接杆，一端与所述固定手柄连接；
[0007]第一夹杆，一端与所述第一连接杆的另一端连接，另一端设置有用于夹持光刻版的第一凹槽件；
[0008]活动手柄；
[0009]第二连接杆，一端与所述活动手柄连接，所述第二连接杆与所述第一连接杆铰接；
[0010]第二夹杆，一端与所述第二连接杆连接，另一端设置有用于夹持光刻版的第二凹槽件
。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果包括：
[0012]应用于清洗光刻版的夹具包括：固定手柄；第一连接杆，一端与所述固定手柄连接；第一夹杆，一端与所述第一连接杆的另一端连接，另一端设置有用于夹持光刻版的第一凹槽件；活动手柄；第二连接杆，一端与所述活动手柄连接，所述第二连接杆与所述第一连接杆铰接；第二夹杆，一端与所述第二连接杆连接，另一端设置有用于夹持光刻版的第二凹槽件
。
本申请的应用于清洗光刻版的夹具通过第一凹槽件与第二凹槽件的配合来夹持光刻版，来代替手拿光刻版的传统方式，本申请具有以下优点：一，使用安全，光刻版不再存在脱落危险；二，对使用者也有保护，使用者皮肤不会再被溶剂腐蚀；三，光刻版不会被二次污染
。
[0013]根据本技术的一些实施例，当所述第一夹杆和所述第二夹杆处于平行状态，
所述第一凹槽件的凹槽与所述第二凹槽件的凹槽的距离为
22.87—22.91
厘米
。
[0014]根据本技术的一些实施例，应用于清洗光刻版的夹具还包括：限位件
、
弹簧和固定按钮，所述限位件安装于所述固定手柄上，所述限位件设置有通槽，所述活动手柄穿设于所述通槽内；
[0015]所述弹簧设置于所述固定手柄和所述活动手柄之间，所述弹簧使所述活动手柄始终有远离所述固定手柄的运动趋势；
[0016]所述固定按钮设置于所述限位件远离所述固定手柄的一端，所述固定按钮用于当所述第一夹杆和所述第二夹杆处于平行状态使所述活动手柄保持静止
。
[0017]根据本技术的一些实施例，在所述第一夹杆靠近所述第一连接杆的一端还设置有第三凹槽件，在所述第二夹杆靠近所述第二连接杆的一端还设置有第四凹槽件
。
[0018]根据本技术的一些实施例，在所述第一凹槽件
、
所述第三凹槽件和所述第一夹杆之间设置有缓冲件，在所述第二凹槽件
、
所述第四凹槽件和所述第二夹杆之间设置有缓冲件
。
[0019]根据本技术的一些实施例，还包括：限位块，设置于所述固定手柄上朝向所述活动手柄的一面，所述限位块用于避免所述活动手柄下压过度
。
[0020]根据本技术的一些实施例，在所述固定手柄和所述活动手柄外层设置有防滑层
。
[0021]根据本技术的一些实施例，所述第一夹杆和所述第二夹杆为玻璃制件，所述固定手柄和所述活动手柄为塑料制件
。
[0022]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到
。
附图说明
[0023]图1是本技术的一个实施例提供的应用于清洗光刻版的夹具的结构示意图；
[0024]图2是本技术的另一个实施例提供的应用于清洗光刻版的夹具的第一凹槽件的横截面图；
[0025]图3是本技术的另一个实施例提供的应用于清洗光刻版的夹具的结构示意图；
[0026]图4是本技术的另一个实施例提供的应用于清洗光刻版的夹具的缓冲件结构示意图
。
[0027]附图标记说明：固定手柄
110、
第一连接杆
120、
第一夹杆
130、
第一凹槽件
131、
第三凹槽件
132、
活动手柄
140、
第二连接杆
150、
第二夹杆
160、
第二凹槽件
161、
第四凹槽件
162、
缓冲件
170。
具体实施方式
[0028]为了使本技术的目的
、
技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明
。
应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术
。
[0029]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始
至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件
。
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制
。
[0030]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上
、
下
、
前
、
后
、
左
、
右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
。
[0031]在本技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于
、
小于
、
超过等理解为不包括本数，以上
、
以下
、
以内等理解为包括本数
。
如果有描述到第一
、
第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种应用于清洗光刻版的夹具，其特征在于，包括：固定手柄；第一连接杆，一端与所述固定手柄连接；第一夹杆，一端与所述第一连接杆的另一端连接，另一端设置有用于夹持光刻版的第一凹槽件；活动手柄；第二连接杆，一端与所述活动手柄连接，所述第二连接杆与所述第一连接杆铰接；第二夹杆，一端与所述第二连接杆连接，另一端设置有用于夹持光刻版的第二凹槽件
。2.
根据权利要求1所述的一种应用于清洗光刻版的夹具，其特征在于，当所述第一夹杆和所述第二夹杆处于平行状态，所述第一凹槽件的凹槽与所述第二凹槽件的凹槽的距离为
22.87—22.91
厘米
。3.
根据权利要求1所述的一种应用于清洗光刻版的夹具，其特征在于，还包括：限位件
、
弹簧和固定按钮，所述限位件安装于所述固定手柄上，所述限位件设置有通槽，所述活动手柄穿设于所述通槽内；所述弹簧设置于所述固定手柄和所述活动手柄之间，所述弹簧使所述活动手柄始终有远离所述固定手柄的运动趋势；所述固定按钮设置于所述限位件远离所述固定手柄的一端，所述固定按钮用于当所述第一夹杆和所述第二夹杆处于平行状...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨灿，赵建村，虞益挺，李文丽，严宇超，
申请(专利权)人：宁波启朴芯微系统技术有限公司，
类型：新型
国别省市：