一种用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车制造技术

本发明专利技术涉及一种用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车，包括行走车体，行走车体上设置有装配平台，装配工件的工件转架与装配平台进行可拆卸式装配，装配平台升降式装配在行走车体上，行走车体上还设置有升降调节机构，升降调节机构调整装配平台在

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车


[0002]本专利技术真空镀膜设备领域，具体涉及一种用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车
。

技术介绍

[0003]真空镀膜转架的转运是通过工具车进行操作的，通过将工具车和镀膜腔室内的转架相对应布置，将转运架从镀膜腔室内移至工具车上或者将转运架从工具车上转移至镀膜腔室内
。
由于工具车的高度对应镀膜腔室设置
、
同时转架高度较高，在转运车上实现待镀膜工件装夹很不方便
。
因此，在装夹时，必须将工装夹具放置在盛放夹具的装置上进行装夹，这样来回中转容易污染镀膜工件
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车，其可以方便待镀膜工件的夹装
。
[0005]本专利技术采取的技术方案具体如下
。
[0006]一种用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车，其特征在于：包括行走车体，行走车体上设置有装配平台，装配工件的工件转架与装配平台进行可拆卸式装配，装配平台升降式装配在行走车体上，行走车体上还设置有升降调节机构，升降调节机构调整装配平台在
A1
状态和
A2
状态之间进行转换，
A1
状态为：装配平台的高度和镀膜腔室的高度相匹配，用于实现工件转架在装配平台和镀膜腔室之间进行平移，
A2
状态为：装配平台向下移动至低位，用于实现工件转架上工件的装配和卸载
。
[0007]具体的方案为：装配平台包括相对间隔布置的第一
、
二导轨，工件转架的下部与第一
、
二导轨滑动或滚动装配，第一
、
二导轨上设置有对工件转架的移动到位进行锁紧的锁紧装置
。
[0008]调节机构包括立状布置的升降调节件，升降调节件对应第一
、
二导轨的两端分别设置，第一
、
二导轨的两端分别装配在升降调节件的上端
。
[0009]升降调节件为升降调节电缸或升降调节气缸构成
。
[0010]锁紧装置包括第一
、
二导轨上设置的对工件转架的移动位置进行限定的挡料件，挡料件的旁侧设置对工件转架进行锁紧的锁紧件
。
[0011]锁紧件呈长条状，锁紧件的中部通过铰接轴转动装配，铰接轴和第一
、
二导轨垂直装配，锁紧件的一端装配有驱动弹簧，另一端设置有向下凸出设置的凸爪，驱动弹簧用于驱使凸爪向下翻转
。
[0012]工件转架的底部设置有两装配件，两装配件分别对应第一
、
二导轨布置，装配件上设置有倾斜状布置的抵靠斜面，抵靠斜面的高度沿着方向
a
逐渐增大，方向
a
为驱动弹簧指向凸爪的方向，抵靠斜面用于抵靠凸爪向上翻转
。
[0013]第一
、
二导轨的一侧端部设置有用于与镀膜腔室进行定位装配的定位组件
。
[0014]行走车体远离定位组件的一侧设置用于推动行走车体进行移动的推动把手，行走车体靠近定位组件一侧的底部设置4个定向轮，行走车体靠近推动把手一侧的底部设置2个万向轮
。
[0015]还包括用于调控升降调节件状态的
PLC
控制装置，以及与
PLC
相连接的升降操作旋钮
、
急停按钮
、
状态指示灯
、
蜂鸣器
。
[0016]本专利技术提供的上述方案，通过调整装配平台高度，可方便的使得工件转架与镀膜腔室相对应
、
实现转架快速的转移，以及下降至低位
、
方便工件装夹卸载，避免二次中转污染镀膜工件，从而提高镀膜工件的合格率，提高了转架整体进出的便利性，从而节省了整个镀膜时间，提高了镀膜腔室的利用率和镀膜效率，提高产品合格率
。
附图说明
[0017]图1为本专利技术的结构示意图
。
[0018]图2为锁紧装置的结构示意图
。
[0019]图3为工件转架的结构示意图
。
[0020]图4为装配件的结构示意图
。
[0021]附图标记和部件的对应关系为：
10
‑
行走车体
、11
‑
第一导轨
、12
‑
第二导轨
、13
‑
挡料件
、14
‑
锁紧件
、15
‑
凸爪
、16
‑
驱动弹簧
、17
‑
升降调节电缸
、18
‑
圆柱形定位销
、19
‑
凸起块
、20
‑
配电装置
、21
‑
推动把手
、22
‑
急停按钮
、23
‑
状态指示灯
、24
‑
蜂鸣器
、25
‑
升降操作旋钮
、26
‑
供电工业插座
、27
‑
定向轮
、28
‑
万向轮
、29
‑
PLC
控制装置
、30
‑
工件转架
、31
‑
装配件
、32
‑
抵靠斜面
。
具体实施方式
[0022]为了使本专利技术的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本专利技术进行具体说明
。
应当理解，以下文字仅仅用以描述本专利技术的一种或几种具体的实施方式，并不对本专利技术具体请求的保护范围进行严格限定
。
[0023]如图
1、2
所示，一种用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车，包括行走车体
10
，行走车体
10
上设置有装配平台，装配工件的工件转架
30
与装配平台进行可拆卸式装配，装配平台升降式装配在行走车体
10
上，行走车体
10
上还设置有升降调节机构，升降调节机构调整装配平台在
A1
状态和
A2
状态之间进行转换，
A1
状态为：装配平台的高度和镀膜腔室的高度相匹配，用于实现工件转架
30
在装配平台和镀膜腔室之间进行平移，
A2
状态为：装配平台向下移动至低位，用于实现工件转架
30
上工件的装配和卸载
。
具体的方案为：装配平台包括相对间隔布置的第一
、
二导轨
11、12
，工件转架
30
的下部与第一...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车，其特征在于：包括行走车体，行走车体上设置有装配平台，装配工件的工件转架与装配平台进行可拆卸式装配，装配平台升降式装配在行走车体上，行走车体上还设置有升降调节机构，升降调节机构调整装配平台在
A1
状态和
A2
状态之间进行转换，
A1
状态为：装配平台的高度和镀膜腔室的高度相匹配，用于实现工件转架在装配平台和镀膜腔室之间进行平移，
A2
状态为：装配平台向下移动至低位，用于实现工件转架上工件的装配和卸载
。2.
根据权利要求1所述的用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车，其特征在于：装配平台包括相对间隔布置的第一
、
二导轨，工件转架的下部与第一
、
二导轨滑动或滚动装配，第一
、
二导轨上设置有对工件转架的移动到位进行锁紧的锁紧装置
。3.
根据权利要求2所述的用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车，其特征在于：调节机构包括立状布置的升降调节件，升降调节件对应第一
、
二导轨的两端分别设置，第一
、
二导轨的两端分别装配在升降调节件的上端
。4.
根据权利要求3所述的用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车，其特征在于：升降调节件为升降调节电缸或升降调节气缸构成
。5.
根据权利要求2所述的用于真空镀膜转架进出和装夹的工具车，其特征在于：锁紧装置包括第一
、
二导轨上设置的对工件转架的移动位置进行限定的挡料件，挡料件的旁侧设置对工...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏正卫，张心凤，汪鹏，张春福，
申请(专利权)人：安徽纯源镀膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：