密封阀门及半导体检测设备制造技术

本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备

【技术实现步骤摘要】
密封阀门及半导体检测设备


[0001]本申请属于半导体制造
，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备
。

技术介绍

[0002]近年来，随着半导体行业的高速发展，扫描电镜技术也在飞速发展，相关技术对真空的要求也越来越严格，尤其是扫描电镜的核心模块电子束发射模块对真空的要求也变得更加严格
。
[0003]当电子束发射模块调试完成进行移转时，或者进行产品切换的过程中，需要有一种真空密封阀门对电子束发射模块进行严格密封，以保证电子束发射模块的高真空
。
[0004]在现有的真空密封阀门中，通过驱动装置驱动导向块并配合限位挡块以夹持密封块的周侧，使得密封块相对导向块及限位挡块滑移运动进而下压密封电子束过道
。
[0005]然而，通过导向块和限位挡块夹持密封块方式易卡住密封块使得密封块难以到达理想的密封位置
。

技术实现思路

[0006]本申请提供了一种密封阀门及半导体检测设备，以解决现有真空密封阀门中的密封块易卡死的技术问题
。
[0007]根据本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种密封阀门，其特征在于，包括密封板
、
转接板
、
切换板以及展收机构；所述密封板
、
所述转接板以及所述切换板沿第二方向依次堆叠设置，所述展收机构设置于所述密封板与所述切换板之间；所述展收机构设置为在所述转接板相对所述密封板及所述切换板沿第一方向运动下，使得所述密封板在所述第二方向上远离或靠近所述切换板
。2.
根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述展收机构包括弹性连接结构以及多个第一滚动件，所述弹性连接结构连接于所述密封板与所述切换板，多个所述第一滚动件设置于所述密封板与所述转接板之间；所述密封板与所述转接板配合形成有多个第一导向槽，各所述第一滚动件一一对应收容于各所述第一导向槽且能够在所述第一导向槽内沿所述第一方向运动，并通过所述密封板让所述弹性连接结构形变
。3.
根据权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，所述展收机构还包括多个第二滚动件，多个第二滚动件设置于所述转接板与所述切换板之间；所述切换板与所述转接板配合形成有多个第二导向槽，各所述第二滚动件一一对应收容于各所述第二导向槽且能够在所述第二导向槽内沿所述第一方向运动
。4.
根据权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，各所述第一导向槽及各所述第二导向槽均在所述第一方向上的截面先渐扩后渐缩设置，各所述第一导向槽及各所述第二导向槽在所述第二方向上一一面向彼此设置；各所述第一滚动件及各所述第二滚动件在第二方向上相接于彼此
。5.
根据权利要求4所述的密封阀门，其特征在于，所述转接板设有缺口，所述弹性连接结构位于所述缺口内；多个所述第一滚动件设置在所述缺口的外侧并环绕所述弹性连接结构布置；多个所述第二滚动件设置在所述缺口的外侧并环绕所述弹性连接结构布置
。6.
根据权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，所述密封板及所述切换板分别设有多个导向孔，各所述导向孔沿所述第一方向延伸设置，所述转接板在所述第二方向上的两侧分别朝外突出有多个导向柱；所述转接板两侧的多个所述导向柱分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：张立杰，李帅辰，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：