一种测试探针及具有其的测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种测试探针及具有其的测试装置，测试探针包括：测试段，测试段的一端用于与芯片接触；连接段，连接段的一端用于与

【技术实现步骤摘要】
一种测试探针及具有其的测试装置


[0001]本专利技术涉及测试探针
，具体而言，涉及一种测试探针及具有其的测试装置
。

技术介绍

[0002]目前，半导体行业的芯片测试工作中多数都要用到测试探针
。
其一般由针头
、
针管
、
弹簧三个基本部件经精密仪器预压之后形成，弹簧位于针管内，针头的一端位于针管外侧，针头的另一端位于针管内，并与弹簧抵接
。
[0003]在芯片测试时，芯片引脚或锡球通过探针与测试机连接，通过信号传输以检测产品的导通
、
电流
、
功能和老化情况等性能指标
。
由于测试探针需要进行高精度检测，因此对于测试探针的制造要求较高，而由于现有的测试探针部件较多，其增加了加工难度，且难以保证测试探针的结构强度，因此造成现有的测试探针使用寿命短，且加工成本高
。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种测试探针及具有其的测试装置，以解决现有技术中的使用寿命短
、
加工成本高的问题
。
[0005]根据本专利技术的一个方面，提供了一种测试探针，测试探针包括：测试段，测试段的一端用于与芯片接触；连接段，连接段的一端用于与
PCB
板接触；缓冲部，测试段
、
缓冲部以及连接段沿测试段的延伸方向顺次设置，缓冲部具有顺次连接的第一缓冲段
、
第二缓冲段以及第三缓冲段，第一缓冲段具有相对设置的第一端和第二端，第一端与测试段的另一端连接，第二端与第二缓冲段的一端连接，第三缓冲段具有相对设置的第三端和第四端，第三端与第二缓冲段的另一端连接，第四端与连接段的另一端连接，测试探针具有沿测试段延伸方向设置的中心线，中心线具有相对设置的两侧，第一缓冲段位于中心线的一侧，第三缓冲段位于中心线的另一侧，缓冲部具有相对设置的初始状态和压缩状态，缓冲部由初始状态向压缩状态切换时，第二端和第三端能够向中心线移动，且第一端和第四端能够相向移动；其中，测试探针由导电材料制成，且测试段
、
缓冲部以及连接段为一体成型结构
。
[0006]进一步地，第一缓冲段和第三缓冲段为弧形，且第一缓冲段的凹面以及第三缓冲段的凹面均朝向中心线设置；或，第一缓冲段和第二缓冲段均为直线结构，第一缓冲段的中部具有第一弯折部，第三缓冲段的中部具有第二弯折部，且第一弯折部和第二弯折部均朝向靠近中心线的方向弯折
。
[0007]进一步地，在初始状态下，沿中心线的方向，第二端与第四端的间距小于第三端与第四端的间距，第三端与第一端的间距小于第一端与第二端的间距
。
[0008]进一步地，在压缩状态下，第二端与第三缓冲段抵接，第三端与第一缓冲段抵接
。
[0009]进一步地，测试探针为中心对称结构
。
[0010]进一步地，第二缓冲段包括相互连接的第一弯折段
、
第二弯折段以及第三弯折段，第一弯折段与第二端连接，第三弯折段与第三端连接，第二缓冲段为中心对称结构，第一弯
折段与第二弯折段的延伸方向具有夹角，第一弯折段与第三弯折段平行设置
。
[0011]进一步地，第二端与第二缓冲段之间为圆弧过渡，第三端与第二缓冲段之间为圆弧过渡
。
[0012]进一步地，测试段的与芯片接触的端部具有尖刺部
。
[0013]进一步地，测试探针还包括：第一限位部，位于测试段的远离第一缓冲段的一侧；第二限位部，位于连接段的远离第三缓冲段的一侧，第一限位部和第二限位部配合以限制测试探针的位置
。
[0014]根据本专利技术的另一方面，提供了一种测试装置，测试装置包括：上述提供的测试探针；第一限位板，具有第一限位孔，测试探针的测试段由第一限位孔穿出；第二限位板，与第一限位板间隔设置，第二限位板具有第二限位孔，测试探针的连接段由第二限位孔穿出，第一限位孔和第二限位孔中的至少一个能够与测试探针配合以限制测试探针相对第一限位板转动
。
[0015]应用本专利技术的技术方案，该测试探针包括测试段
、
连接段以及缓冲部，将缓冲部通过设定的第一缓冲段
、
第二缓冲段以及第三缓冲段，可以实现缓冲部在初始状态和压缩状态的切换，当测试段与芯片接触，受到沿测试段延伸方向的压力时，可以通过缓冲部压缩变形来对受力进行缓冲，将测试探针设置为一体成型结构，在实现对芯片正常检测的同时能够简化结构，其方便加工，并能够减低加工难度，保证加工质量，提高了结构整体的强度，延长了测试探针的使用寿命
。
附图说明
[0016]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定
。
在附图中：
[0017]图1示出了根据本专利技术实施例一提供的测试探针的结构示意图；
[0018]图2示出了根据本专利技术实施例二提供的测试探针的结构示意图；
[0019]图3示出了根据本专利技术实施例三提供的测试装置的结构示意图
。
[0020]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0021]10、
测试段；
11、
尖刺部；
[0022]20、
连接段；
[0023]31、
第一缓冲段；
311、
第一端；
312、
第二端；
[0024]32、
第二缓冲段；
321、
第一弯折段；
322、
第二弯折段；
323、
第三弯折段；
[0025]33、
第三缓冲段；
331、
第三端；
332、
第四端；
[0026]41、
第一限位部；
42、
第二限位部；
[0027]51、
第一限位板；
52、
第二限位板；
[0028]100、
测试探针
。
具体实施方式
[0029]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本专利技术及其应用或使
用的任何限制
。
基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0030]如图1所述，本申请实施例一提供了一种测试探针，该测试探针包括：测试段
10、
连接段
20
以及缓冲部
。
其中，测试段
10
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种测试探针，其特征在于，所述测试探针包括：测试段（
10
），所述测试段（
10
）的一端用于与芯片接触；连接段（
20
），所述连接段（
20
）的一端用于与
PCB
板接触；缓冲部，所述测试段（
10
）
、
所述缓冲部以及所述连接段（
20
）沿所述测试段（
10
）的延伸方向顺次设置，所述缓冲部具有顺次连接的第一缓冲段（
31
）
、
第二缓冲段（
32
）以及第三缓冲段（
33
），所述第一缓冲段（
31
）具有相对设置的第一端（
311
）和第二端（
312
），所述第一端（
311
）与所述测试段（
10
）的另一端连接，所述第二端（
312
）与所述第二缓冲段（
32
）的一端连接，所述第三缓冲段（
33
）具有相对设置的第三端（
331
）和第四端（
332
），所述第三端（
331
）与所述第二缓冲段（
32
）的另一端连接，所述第四端（
332
）与所述连接段（
20
）的另一端连接，所述测试探针具有沿所述测试段（
10
）延伸方向设置的中心线，所述中心线具有相对设置的两侧，所述第一缓冲段（
31
）位于所述中心线的一侧，所述第三缓冲段（
33
）位于所述中心线的另一侧，所述缓冲部具有相对设置的初始状态和压缩状态，所述缓冲部由所述初始状态向所述压缩状态切换时，所述第二端（
312
）和所述第三端（
331
）能够向所述中心线移动，且所述第一端（
311
）和所述第四端（
332
）能够相向移动；其中，所述测试探针由导电材料制成，且所述测试段（
10
）
、
所述缓冲部以及所述连接段（
20
）为一体成型结构
。2.
根据权利要求1所述的测试探针，其特征在于，所述第一缓冲段（
31
）和所述第三缓冲段（
33
）为弧形，且所述第一缓冲段（
31
）的凹面以及所述第三缓冲段（
33
）的凹面均朝向所述中心线设置；或，所述第一缓冲段（
31
）和所述第二缓冲段（
32
）均为直线结构，所述第一缓冲段（
31
）的中部具有第一弯折部，所述第三缓冲段（
33
）的中部具有第二弯折部，且所述第一弯折部和所述第二弯折部均朝向靠近所述中心线的方向弯折
。3.
根据权利要求1所述的测试探针，其特征在于，在所述初始状态下，沿所述中心线的方向，所述第二端（
312
）与所述第四端（
332
）的间距小于所述第三端（
331
）与所述第四端（
332
）的间距，所述第三端（
331
）与所述第一端（
31...

【专利技术属性】
技术研发人员：刁章宇，徐朋，李尧尧，
申请(专利权)人：苏州微飞半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：