【技术实现步骤摘要】
一种环氧树脂组合物封装器件气孔率评价方法及其应用
[0001]本专利技术涉及环氧树脂触变性测试
,具体为一种环氧树脂组合物封装器件气孔率评价方法及其应用
。
技术介绍
[0002]随着
IC
半导体向高速
、
大规模
、
高功率方向发展,半导体封装技术也向高密度封装
、
薄封装等趋势发展,这导致环氧树脂组合物在封装成型过程中的窄间隙填充变得更具挑战性,这使得成型过程中更易产生气孔,因此,对环氧树脂组合物的流动性
、
成型性提出了更高要求
。
通常情况下,为了判断环氧树脂组合物是否具有良好的成型性,可采用树脂传递模塑方式(比如
Molding
压机)将环氧树脂组合物用于实际封装,通过光学显微镜观察封装器件外观并确定是否存在外部气孔,以及通过超声波扫描仪(
SAM
)检测封装器件内部是否存在气孔
。
中国专利申请(公开号为
CN114276653A
)公开了环氧树脂组合物及其应用
、
环氧树脂及其制备方法中通过将制备得到的环氧树脂置于
QFN
铜框架
(258mm
×
78mm)
上,在
175℃
条件下传递模塑工艺进行封装,脱模后,使用光学显微镜进行气孔观察,获得表面气孔数量和气孔直径
。
然而,环氧树脂的封装过程及后期检测都需要一定的人力
、< ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种环氧树脂组合物封装器件气孔率评价方法,其特征在于,至少包括以下步骤:(1)测试环氧树脂在测试温度下的实际触变性;(2)基于建立环氧树脂测试温度
、
理论触变环面积和理论气孔率之间的定量关系,对比实际触变性
、
理论触变环面积判定环氧树脂组合物封装器件的理论气孔率并以此预测环氧树脂组合物封装器件的气孔表现;所述环氧树脂测试温度
、
理论触变环面积和理论气孔率之间的定量关系为:当
A1· e
(E1/T)
≤S≤A2·
e
(E2/T)
时,
r
<
1%
,其中
A1=e
0.6968
, E1=4160.44
, A2=e
1.4756
, E2=3901.43
,
T
为测试温度,
r
为理论气孔率,
S
为理论触变环面积,单位为
Pa/s
,
A1· e
(E1/T)
和
A2·
e
(E2/T)
中的
T
仅带入测试温度的开尔文数值进行计算;所述测试温度为
393.15
‑
403.15 K。2.
根据权利要求1所述的一种环氧树脂组合物封装器件气孔率评价方法,其特征在于,所述环氧树脂为单一环氧树脂原料
、
组合环氧树脂原料或环氧树脂组合物产品
。3.
根据权利要求2所述的一种环氧树脂组合物封装器件气孔率评价方法,其特征在于,所述单一环氧树脂原料为缩水甘油醚类环氧树脂
、
缩水甘油酯类环氧树脂
、
缩水甘油胺类环氧树脂
、
脂环族环氧树脂
、
脂肪族环氧树脂中的一种
。4.
根据权利要求3所述的一种环氧树脂组合物封装器件...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘香,陆海平,谢广超,顾海勇,周凯,
申请(专利权)人:上海道宜半导体材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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