一种用于腔体电动开盖机构的伺服零点恢复的方法技术

一种用于腔体电动开盖机构的伺服零点恢复的方法，包括盖板

【技术实现步骤摘要】
一种用于腔体电动开盖机构的伺服零点恢复的方法


[0001]本专利技术涉及半导体晶圆传输
，尤其涉及一种用于半导体真空传输设备腔体电动开盖机构的伺服零点恢复的方法
。

技术介绍

[0002]半导体真空传输和真空设备的应用，对于半导体技术的发展起到了不可或缺的关键作用
。
由于半导体制造与封测技术的复杂性，从晶圆裸片到芯片成品的生产过程中，需要经历氧化
、
溅镀
、
光刻
、
刻蚀
、
离子注入以及封装等数十个特殊工艺步骤，而这其中的多个步骤都离不开真空环境的应用
。
[0003]例如，在半导体应用设备中，如电子加速器
、
光电器件
、
电子材料
、
射线管
、
晶振
、
激光设备
、
离子注入机
、
离子刻蚀机
、
化学气相沉积机
、
等离子体增强化学气相沉积机
、
物理气相沉积机
、
分子束外延设备和集成电路封装等等，中高真空技术被广泛应用
。
[0004]为了便于工艺处理或维护真空腔体，通常真空腔体一般会设置盖板
。
盖板的开启机构有机械式和电动式两种，为了提升开盖效率，目前电动开盖机构成为主流的方式
。
电动开盖机构是指用于打开或关闭腔室的机构，通常用于半导体设备和真空设备等领域/>。
其主要目的是提供快速
、
可靠的腔室开合功能，以便进行工艺处理或维护
。
[0005]为了保证腔体维护时，人员作业的安全，盖子需要开启到一定角度，保证盖子的安全销能插入固定件的插孔中
。
因此，常规的电动开盖机构都是伺服进行开启角度的控制
。
在使用绝对值编码器的伺服时，需要设定开盖机构的零点，很多的绝对值编码器需要外部电池供电，当供电断开或者电池电量耗光时，开盖机构的零点会丢失，这会导致开盖机构在执行开盖或闭合操作时的偏差，影响腔室的准确开合
。
[0006]目前，零点调整的方式一般需要使用伺服厂家专用的调整软件，并制作相应的零点标定治具，进行零点调整，该方式调整方式操作复杂，效率较低，大幅增加了开盖机构的维护成本
。

技术实现思路

[0007]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一
。
为此，本专利技术的目的在于提供一种用于腔体电动开盖机构的伺服零点恢复的方法
。
[0008]为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：
[0009]一种用于腔体电动开盖机构的伺服零点恢复的方法，包括用于腔体电动开盖机构的伺服零点恢复装置，其特征在于，包括盖板
、
涡轮蜗杆减速机
、
伺服驱动器
、
运动控制器
、
固定件
、
编码器和安全销插孔掉电位置备份模块和零点位置偏差恢复模块；其中，所述伺服驱动器连接在涡轮蜗杆减速机的输入轴，提供开启和关闭盖板1的动力；所述涡轮蜗杆减速机带动所述盖板进行旋转以进行开启和关闭动作；所述掉电位置备份模块在开盖机构运行正常且无编码器异常标识时，根据得到备份开盖备份位置
Pbku
，并在每一次运行中更新开盖备份位置
Pbku
；
[0010]当盖板1开启到一预定的角度，所述盖板的所述安全销插孔插入所述固定件的插孔；当伺服驱动器在所述盖板1进行开启和关闭过程中如果停止工作时，所述运动控制器判断所述编码器异常情况下，所述掉电位置备份模块停止开盖备份位置
Pbku
的位置更新，所述运动控制器得到所述盖板当前位置
Pcur
，并从所述伺服驱动器采集所述编码器数值，经过预定模型换算后得到理想情况下的开盖角度位置
Pecd
；所述零点位置偏差恢复模块根据所述当前位置
Pcur
和所述开盖角度位置
Pecd
，得到所述开盖零点位置与编码器换算后的零点位置的偏差值
Poff
，调整开盖机构的零点位置
。
[0011]为了实现上述目的，本申请采用又一如下技术方案：
[0012]一种上述的用于腔体电动开盖机构的伺服零点恢复的方法，其包括如下步骤：
[0013]步骤
S1
：如果判断出所述开盖机构的伺服驱动器运行正常且编码器没有异常标识，实时记录开盖机构当前位置
Pcur
，并用所述当前位置
Pcur
更新开盖备份位置
Pbku
；如果不是，执行步骤
S2
；
[0014]步骤
S2
：判断是否发生编码器异常相关的错误？如果是，将所述编码器有异常标识置位，停止开盖备份位置
Pbku
的位置更新，并根据错误代码对错误进行排查和完成错误源的处理后，执行编码器初始化操作指令，然后重启所述伺服驱动器3和运动控制器；如果不是，执行步骤
S4
；
[0015]步骤
S3
：将开盖实时位置与编码器换算后位置偏差值
Poff
进行调整，使
Poff
＝
Pbku
‑
Pecd
，此时
Pcur
＝
Pecd+Poff
＝
Pbku
，将
Pbku
作为更新开盖备份位置
Pbku
的值，即将开盖实时位置
Pcur
恢复为开盖备份位置
Pbku
；然后，将编码器异常标识复位，完成错误的恢复
。
[0016]步骤
S4
：执行其它异常处理操作流程
。
[0017]进一步地，该开盖机构初次使用时，先完成开盖实时位置与编码器换算后位置偏差值
Poff
的调整
。
[0018]本专利技术实施例提供的上述技术方案，可以广泛的应用于半导体真空传输及使用真空的工艺设备中，初次完成开盖机构的伺服零点调整后，后续发生编码器电池供电断开或者更换电机时，无需使用额外的调整软件及治具，快速恢复开盖机构的伺服零点
。
附图说明
[0019]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本专利技术的实施例，并与说明书一起用于解释本专利技术的原理
。
[0020]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0021]图1为本专利技术实施例中的开盖机构示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于腔体电动开盖机构的伺服零点恢复装置，其特征在于，包括盖板
(1)、
涡轮蜗杆减速机
(2)、
伺服驱动器
(3)、
运动控制器
、
固定件
、
编码器和安全销插孔
(4)
掉电位置备份模块和零点位置偏差恢复模块；其中，所述伺服驱动器
(3)
连接在涡轮蜗杆减速机
(2)
的输入轴，提供开启和关闭盖板
(1)
的动力；所述涡轮蜗杆减速机
(2)
带动所述盖板
(1)
进行旋转以进行开启和关闭动作；所述掉电位置备份模块在开盖机构运行正常且无编码器异常标识时，根据得到备份开盖备份位置
Pbku
，并在每一次运行中更新开盖备份位置
Pbku
；当盖板
(1)
开启到一预定的角度，所述盖板
(1)
的所述安全销插孔
(4)
插入所述固定件的插孔；当伺服驱动器
(3)
在所述盖板
(1)
进行开启和关闭过程中如果停止工作时，所述运动控制器判断所述编码器异常情况下，所述掉电位置备份模块停止开盖备份位置
Pbku
的位置更新，所述运动控制器得到所述盖板
(1)
当前位置
Pcur
，并从所述伺服驱动器
(3)
采集所述编码器数值，经过预定模型换算后得到理想情况下的开盖角度位置
Pecd
；所述零点位置偏差恢复模块根据所述当前位置
Pcur
和所述开盖角度位置
Pecd
，得到所述开盖零点位置与编码器换算后的零点位置的偏差值
Poff
，调整开盖机构的零点位置

【专利技术属性】
技术研发人员：董怀宝，张菊，马刚，苗义，刘恩龙，武一鸣，朱曼春，朱骏驰，王晨旭，李莹莹，张艺怀，卜天瑜，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：发明
国别省市：