氧化镓基声表面波兼日盲紫外双模态探测器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种氧化镓基声表面波兼日盲紫外双模态探测器及其制备方法，所述探测器包括自下而上设置的衬底，

【技术实现步骤摘要】
氧化镓基声表面波兼日盲紫外双模态探测器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及半导体光电器件及微波器件领域，具体涉及一种氧化镓基声表面波兼日盲紫外双模态探测器及其制备方法
。

技术介绍

[0002]超宽禁带半导体日盲紫外光电探测器具有更宽的光谱响应范围，可实现日盲光全覆盖探测，可广泛应用于天际通信
、
火灾监控
、
气象监测和环境污染监测等领域，因而成为紫外光电探测领域的研究热点
。
[0003]可用于声表面波探测的传统压电材料为
ZnO
和
AlN
，
ZnO
具有较高的压电系数，约为
12.4 pm V
‑1，但带隙为
3.37 eV
，势必在声波探测中造成严重损耗，且带隙宽度不足以在日盲紫外探测中应用
。AlN
虽然具有较宽的带隙为
6.2 eV
，但带隙过宽也会导致原子间较强的化学键，使得材料弹性常数和硬度较高，因而压电常数仅为
5 pm V<br/>‑1。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种氧化镓基声表面波兼日盲紫外双模态探测器，其特征在于，所述探测器包括自下而上设置的衬底（
101
），
κ
‑
Ga2O3压电薄膜层（
102
），金属电极层；所述金属电极层包括叉指换能器（
103
），所述叉指换能器（
103
）沿宽度方向的两侧对称设置有反射栅（
104
）
。2.
根据权利要求1所述氧化镓基声表面波兼日盲紫外双模态探测器，其特征在于，所述衬底（
101
）材料包括蓝宝石
、
碳化硅
、
氧化镓
、
氮化铝
。3.
根据权利要求1所述氧化镓基声表面波兼日盲紫外双模态探测器，其特征在于，所述
κ
‑
Ga2O3压电薄膜层厚度为
100
‑
5000 nm。4.
根据权利要求1所述氧化镓基声表面波兼日盲紫外双模态探测器，其特征在于，所述金属电极层厚度为
50
‑
1000 nm
；所述金属电极层材料包括金属
Ti、
金属
Al
中的一种或两种金属的混合物
。5.
根据权利要求1所述氧化镓基声表面波兼日盲紫外双模态探测器，其特征在于，叉指换能器（
103
）的宽度为
32 μ
m
，波长为
1.6 μ
m
，占空比为
0.5
，叉指对数为
120。6.
根据权利要求1所述氧化镓基声表面波兼日盲紫外双模态探测器，其特征在于，反射栅（
104
）的各反射栅电极长度及宽度均相同；反射栅（
104
）的宽度为
32 μ
m
，波长为
1.6 μ
m
，占空比为
0.5
，叉指对数为
120。7.
一种如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶建东，崔梅，谷松昊，顾书林，张荣，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：