轨道环境监测装置和方法以及包括其的物流运输设备制造方法及图纸

一种使用行进载具的轨道环境监测装置，所述轨道环境监测装置包括：感测单元，连接到沿着行进轨道运输被输送物体的行进载具，该感测单元配置为感测位于行进载具的行进路径上的行进轨道和行进轨道周边部分；以及地图制作单元，配置为使用由感测单元根据行进载具的行进路径获取的数据来生成用于行进轨道或行进轨道周边部分的地图。道周边部分的地图。道周边部分的地图。

【技术实现步骤摘要】
轨道环境监测装置和方法以及包括其的物流运输设备
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2022年6月17日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10
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2022
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0074359号的优先权，其公开内容通过引用整体并入本文。


[0003]本专利技术涉及一种使用行进载具的轨道环境监测装置，包括该装置的物流运输设备以及该行进载具的轨道环境监测方法。

技术介绍

[0004]半导体是发展第四次工业革命的重要要素，其以人工智能(AI)、物联网(IoT)和大数据为代表。在制造半导体的领域中，由于器件的小型化和多层化，在工作场所中杂质的处理和管理直接影响制造产率，因此被视为重要的管理项目。为了应对在高技术工业的研究和开发过程和生产过程中引起严重的问题的空气中的精细颗粒物和各种微生物的活性，需要诸如清洁室的清洁工作环境。在诸如半导体、显示器、模块和部件等超精密产品的实际制造和生产车间中，所有工艺都在清洁室中进行，但是由于非特定且偶然产生的颗粒物而发生各种生产故障和产量的降低。随着半导体制造工艺变本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种使用行进载具的轨道环境监测装置，所述轨道环境监测装置包括：感测单元，连接到沿着行进轨道运输被输送物体的所述行进载具，所述感测单元配置为感测位于所述行进载具的行进路径上的所述行进轨道和行进轨道周边部分；以及地图制作单元，配置为使用由所述感测单元根据所述行进载具的所述行进路径获取的数据来生成用于所述行进轨道或所述行进轨道周边部分的地图。2.根据权利要求1所述的轨道环境监测装置，包括：控制单元，配置为使用所述感测单元周期性地收集轨道环境信息，并且控制所述行进载具的所述行进路径或者将所述轨道环境信息发送到所述地图制作单元，以便解决在所述行进载具的所述行进路径上发生的异常。3.根据权利要求2所述的轨道环境监测装置，其中，所述感测单元包括激光雷达传感器和成像单元，所述成像单元连接到所述行进载具的邻近所述行进轨道的位置，所述成像单元配置为对所述行进轨道和所述行进轨道周边部分进行成像，以及所述地图制作单元配置为将由所述成像单元成像的所述行进轨道和所述行进轨道周边部分的成像数据存储在所述地图中的与所述行进轨道的位置和所述行进轨道周边部分的位置相对应的位置中。4.根据权利要求3所述的轨道环境监测装置，其中，所述控制单元配置为分析由所述激光雷达传感器接收的反射光的波长，以便检测所述行进轨道上的颗粒物的存在与否。5.根据权利要求4所述的轨道环境监测装置，还包括：颗粒物去除单元，设置在所述行进载具的邻近所述行进轨道的第一表面或移动部分上，所述颗粒物去除单元配置为抽吸和去除位于所述行进轨道上的颗粒物，其中，所述控制单元配置为：当获取到所述反射光的波长超出参考波长范围的感测结果时，使所述行进载具移动到接收到所述反射光的位置，使得所述颗粒物去除单元执行颗粒物去除操作。6.根据权利要求5所述的轨道环境监测装置，其中，所述颗粒物去除单元包括抽吸电机和空气过滤器，所述抽吸电机朝向所述行进轨道设置在外部，所述空气过滤器设置在所述行进载具中以过滤通过所述抽吸电机的进气收集到的颗粒物。7.根据权利要求6所述的轨道环境监测装置，其中，所述空气过滤器包括主过滤部分和次过滤部分，所述主过滤部分配置为收集颗粒物，所述次过滤部分配置为额外收集穿过所述主过滤部分的颗粒物。8.根据权利要求3所述的轨道环境监测装置，其中，所述控制单元配置为：当获取到由所述激光雷达传感器接收的反射光的波长超出参考波长范围的感测结果时，分析由所述成像单元执行的成像的结果，并且将所述地图更新为包括所分析的异物的类型。9.根据权利要求1所述的轨道环境监测装置，其中，所述感测单元包括障碍物传感器和加速度传感器中的至少一个，所述障碍物传感器配置为通过用激光束照射所述行进轨道来感测障碍物的存在与否，所述加速度传感器配置为感测所述行进轨道的震动和噪声，以及所述地图制作单元配置为根据数值对由所述障碍物传感器或所述加速度传感器执行的感测的结果进行分类，并且将所述地图更新为包括针对每个类别不同的标记。
10.根据权利要求3所述的轨道环境监测装置，其中，所述成像单元配置为对附着到所述行进轨道的标签进行成像，以及所述控制单元配置为将存储在所述地图中的标签与所成像的标签的图像进行比较以识别所述标签的位置和异常，并且更新所述地图。11.根据权利要求1所述的轨道环境监测装置，还包括：OHT控制系统，配置为利用根据从多个行进载具周期性地收集的轨道环境信息生成的地图来确定所述行进载具的初始行进路径。12.根据权利要求2所述的轨道环境监测装置，其中，所述感测单元还包括红外图像传感器，所述红外图像传感器配置为检测电缆的升温状态，以及所述控制单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：金贞芋，郑钟元，吴允齐，全涍走，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：