一种多晶硅生产中往复式氢气压缩机密封气结构制造技术

本发明专利技术公开了一种多晶硅生产中往复式氢气压缩机密封气结构，密封填料组件上分别开设有密封氢气进入通道

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产中往复式氢气压缩机密封气结构


[0001]本专利技术涉及多晶硅生产
，更具体的说是涉及一种多晶硅生产中往复式氢气压缩机密封气结构
。

技术介绍

[0002]多晶硅生产中参与反应的氢气及氯硅烷
、
三氯氢硅
、
四氯化硅的混合气体在循环压缩等环节，需要往复式氢气压缩机进行压缩，以能使多晶硅生产可持续
、
循环进行
。
[0003]在往复式氢气压缩机中，曲柄摇杆机构
4(
曲轴
、
连杆
、
十字头
)
，气缸侧隔室
3、
密封填料组件1，气缸
、
接筒6以及机身侧隔室7都是属于往复式氢气压缩机的本体部分
。
具体的：机身侧隔室7相对的两端均通过接筒6连接有气缸侧隔室3，且每个气缸侧隔室3远离对应接筒6的一端连接在对应气缸的缸体
21
的有杆端，同时需要在每个气缸的有杆端连接有密封填料组件1，且使每个密封填料组件1远离气缸的一端延伸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种多晶硅生产中往复式氢气压缩机密封气结构，其特征在于，包括：密封填料组件
(1)
和气缸；其中，所述密封填料组件
(1)
位于气缸侧隔室
(3)
和所述气缸的缸体
(21)
之间，且所述密封填料组件
(1)
连接在所述缸体
(21)
有杆端的端部，同时所述气缸的活塞杆
(22)
沿所述密封填料组件
(1)
的长度方向贯穿所述密封填料组件
(1)
，并可相对所述密封填料组件
(1)
做直线往复移动，且所述活塞杆
(22)
远离所述气缸的活塞
(23)
一端延伸至所述气缸侧隔室
(3)
中，并且所述活塞杆
(22)
与所述密封填料组件
(1)
之间限定有密封间隙
(10)
；所述密封间隙
(10)
的两个端口一一对应接通所述气缸侧隔室
(3)
和所述缸体
(21)
的内腔，且所述密封填料组件
(1)
上分别开设有密封氢气进入通道
(101)、
漏气放空通道
(102)
和漏气回收通道
(103)
，并且所述密封氢气进入通道
(101)、
所述漏气放空通道
(102)
和所述漏气回收通道
(103)
均与所述密封间隙
(10)
接通，同时所述密封氢气进入通道
(101)
与所述密封间隙
(10)
的接通处位于所述漏气放空通道
(102)
与所述密封间隙
(10)
的接通处和所述漏气回收通道
(103)
与所述密封间隙
(10)
的接通处之间，并且所述漏气回收通道
(103)
与所述密封间隙
(10)
的接通处靠近所述活塞
(23)
一端，所述密封氢气进入通道
(101)
与所述密封间隙
(10)
的接通处靠近所述漏气回收通道
(103)
与所述密...

【专利技术属性】
技术研发人员：周新军，杜晓辉，王小雨，戚渊，张军旗，
申请(专利权)人：内蒙古兴洋科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：