一种硅片清洗干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗干燥装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有冲洗组件，所述箱体的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的另一端固定连接有

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗干燥装置


[0001]本技术涉及硅片清洗
，尤其涉及一种硅片清洗干燥装置
。

技术介绍

[0002]半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种
。
[0003]如申请号为：
202220647539.6
的中国技术专利，公开了一种硅片清洗干燥装置，包括清洗筒本体，所述清洗筒本体上方设置有电机
、
第一支撑座
、
第二支撑座，所述第一支撑座上方设置有水泵，所述水泵上方连接有水管，所述第二支撑座上方设置有气泵，所述气泵上方连接有气管，所述电机下方连接有转轴，该装置通过电机带着转轴转动，转轴带着固定机构转动，与此同时，转轴带着第一齿轮转动，第一齿轮通过啮合的方式带着第二齿轮转动，第二齿轮带着第一连管转动，第一连管带着水筒本体转动，水筒本体带着圆孔转动，此时清洗液经过水泵增压，即清洗液通过圆孔并以旋转的方式冲洗硅片与清洗筒本体内壁，增加清洗效率，提高清洗质量
。
[0004]如上述专利，现有的硅片清洗干燥装置在对硅片进行清洗时，需要先将硅片通过夹持机构进行夹持固定，在通过喷头进行冲洗，以此来清除硅片表面的污染和杂质，但是在对夹持的硅片进行冲洗时，由于硅片处于夹持状态，使得硅片的夹持处不能进行有效的冲洗，从而使得硅片的夹持处有污染和杂质残留，进而使得硅片清洗效果不佳
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片清洗干燥装置
。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种硅片清洗干燥装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有冲洗组件，所述箱体的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的另一端固定连接有
L
型板，所述
L
型板的一侧固定连接有双向电动伸缩杆，所述双向电动伸缩杆的双向伸缩端均固定连接有固定板，两个所述固定板上均设置有夹持组件，所述夹持组件包括固定连接在固定板一侧的电动伸缩杆和导向杆，所述电动伸缩杆的伸缩端固定连接有移动杆，所述移动杆上固定连接有若干个呈线性阵列状分布的移动板，所述导向杆活动贯穿移动板，所述导向杆远离固定板的一端固定连接有支撑板，所述移动杆活动贯穿支撑板，所述导向杆上固定连接有若干个呈线性阵列状分布的夹板，所述夹板的一侧固定连接有伸缩板
。
[0007]作为上述技术方案的进一步描述：
[0008]所述
L
型板的底部固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的另一端与其中一个支撑板的顶部固定连接
。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述：
[0010]所述移动板和夹板数量一致且一一对应设置
。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述：
[0012]所述伸缩板上开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有若干个挤压弹簧，所述伸缩板的伸缩端与若干个挤压弹簧固定连接
。
[0013]作为上述技术方案的进一步描述：
[0014]所述冲洗组件包括固定连接在箱体内壁背面的条形管，所述条形管的背面连通有进水管，所述进水管固定贯穿箱体并延伸至箱体外部，所述条形管的正面固定连通有若干个喷头
。
[0015]作为上述技术方案的进一步描述：
[0016]所述箱体的顶部固定连通有气管
。
[0017]作为上述技术方案的进一步描述：
[0018]所述箱体的底部开设有若干个渗水孔
。
[0019]本技术具有如下有益效果：
[0020]1、
与现有技术相比，该硅片清洗干燥装置，可实现对硅片的夹持处进行冲洗，当下方的夹持组件将硅片下方固定夹持后，可通过冲洗组件对硅片上方进行冲洗，并在硅片上方冲洗完成之后，可通过上方的夹持组件对硅片上方冲洗后的部位进行固定夹持，从而可解除对硅片下方的固定夹持，避免下方的夹持组件遮挡硅片，进而可对硅片下方的夹持处进行冲洗，避免了硅片的夹持处冲洗不到而有污染和杂质残留，进而提高了硅片的冲洗质量
。
[0021]2、
与现有技术相比，该硅片清洗干燥装置，通过气管
、
驱动电机
、
转轴
、L
型板
、
电动伸缩杆
、
移动板和夹板等结构的配合使用，可使得固定夹持的硅片在箱体内左右旋转，从而在离心力的作用下，可将硅片表面的水分甩掉，从而加快硅片的烘干效果，进而提高硅片的干燥效率
。
附图说明
[0022]图1为本技术提出的一种硅片清洗干燥装置的整体结构立体示意图；
[0023]图2为本技术提出的一种硅片清洗干燥装置的夹持组件结构示意图；
[0024]图3为本技术提出的一种硅片清洗干燥装置的移动板和夹板等结构示意图；
[0025]图4为本技术提出的一种硅片清洗干燥装置的凹槽和挤压弹簧等结构示意图；
[0026]图5为本技术提出的一种硅片清洗干燥装置的冲洗组件结构示意图
。
[0027]图例说明：
[0028]1、
箱体；
2、
驱动电机；
3、
转轴；
4、L
型板；
5、
双向电动伸缩杆；
6、
固定板；
7、
电动伸缩杆；
8、
导向杆；
9、
移动杆；
10、
移动板；
11、
夹板；
12、
伸缩板；
13、
支撑板；
14、
凹槽；
15、
挤压弹簧；
16、
伸缩杆；
17、
条形管；
18、
进水管；
19、
喷头；
20、
气管；
21、
渗水孔
。
实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0030]参照图1‑5，本技术提供的一种硅片清洗干燥装置：包括箱体1，箱体1的内部设置有冲洗组件，箱体1的顶部固定连接有驱动电机2，驱动电机2的输出端固定连接有转轴3，转轴3的另一端固定连接有
L
型板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅片清洗干燥装置，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）的内部设置有冲洗组件，所述箱体（1）的顶部固定连接有驱动电机（2），所述驱动电机（2）的输出端固定连接有转轴（3），所述转轴（3）的另一端固定连接有
L
型板（4），所述
L
型板（4）的一侧固定连接有双向电动伸缩杆（5），所述双向电动伸缩杆（5）的双向伸缩端均固定连接有固定板（6），两个所述固定板（6）上均设置有夹持组件，所述夹持组件包括固定连接在固定板（6）一侧的电动伸缩杆（7）和导向杆（8），所述电动伸缩杆（7）的伸缩端固定连接有移动杆（9），所述移动杆（9）上固定连接有若干个呈线性阵列状分布的移动板（
10
），所述导向杆（8）活动贯穿移动板（
10
），所述导向杆（8）远离固定板（6）的一端固定连接有支撑板（
13
），所述移动杆（9）活动贯穿支撑板（
13
），所述导向杆（8）上固定连接有若干个呈线性阵列状分布的夹板（
11
），所述夹板（
11
）的一侧固定连接有伸缩板（
12
）
。2.
根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置，其特征在于：所述
L
型板（4）的底部固定连接有伸缩杆（
16
），所述伸缩杆（
16
）的另一端与其中一个支撑板（
13
）的顶部固定连接

【专利技术属性】
技术研发人员：朱中亚，王迎枫，刘华俊，刘开连，纪磊，曹宝玉，
申请(专利权)人：安徽领坤生物科技有限公司，
类型：新型
国别省市：