用于真空加热腔室的接线结构及真空干燥镀膜设备制造技术

本发明专利技术公开了一种用于真空加热腔室的接线结构及真空干燥镀膜设备，包括：真空电极，真空电极与所述腔室盖体之间通过密封件密封；绝缘支撑组件，绝缘支撑组件的侧面设有多个连通接线槽的插口，真空电极从绝缘支撑组件与腔室盖体的贴合面插入所述接线槽内；金属接线组件，设置在绝缘支撑组件的接线槽内，并与插入接线槽的真空电极的电连接

【技术实现步骤摘要】
用于真空加热腔室的接线结构及真空干燥镀膜设备


[0001]本专利技术涉及太阳能光伏制造
，特别是涉及一种真空加热接线结构及真空干燥镀膜设备
。

技术介绍

[0002]在太阳能光伏玻璃生产中，需要对经过烘干
、
预热镀膜后带有镀膜液的玻璃片进行再次烘干以及镀膜液固化，使镀膜液在玻璃片上从液体变成固体
。
太阳能光伏玻璃主要是由低铁玻璃
、
背面玻璃
、
太阳能电池片
、
胶片
、
金属导线组成，是将太阳能电池片通过胶片密封在低铁玻璃和背面玻璃之间
。
为了提高太阳能光伏玻璃的透光率和降低反射率，确保更多的光线透过，产生更多的电能，需要对太阳能光伏玻璃进行镀膜工艺，且镀膜效果直接影响着太阳能光伏玻璃的品质
。
常用的固化镀膜方式有加热装置对外放热对玻璃片进行烘干，市面上现有结构，绝缘结构存在缺陷，金属支撑结构，有放电风险
。
非金属支撑结构，结构容易损坏，损害腔室以及影响镀膜质量
。

技术实现思路

[0003]本专利技术为了解决上述现有技术中直接采用金属支撑结构在真空腔室中有放电风险的技术问题，提出一种用于真空加热腔室的接线结构及真空干燥镀膜设备
。
[0004]本专利技术采用的技术方案是：
[0005]本专利技术提出了一种用于真空加热腔室的接线结构，包括：
[0006]多个真空电极，所述真空电极安装在腔室盖体上，并穿过所述腔室盖体伸入腔室内，所述真空电极位于腔室盖体外侧的部分用于连接外部电源，且所述真空电极与所述腔室盖体之间通过密封件密封；
[0007]绝缘支撑组件，设置在所述腔室盖体内侧与所述真空电极一一对应，所述绝缘支撑组件内设有接线槽，所述绝缘支撑组件的侧面设有多个连通接线槽的插口，所述真空电极从绝缘支撑组件与腔室盖体的贴合面插入所述接线槽内；
[0008]金属接线组件，设置在所述绝缘支撑组件的接线槽内，并与插入所述接线槽的真空电极的电连接，加热装置的端部插入所述插口与金属接线组件电连接
。
[0009]绝缘支撑组件包括：并排设置在所述腔室盖体内侧的第一陶瓷板和第二陶瓷板；所述第一陶瓷板正对所述第二陶瓷板的侧面设有第一槽体，背对所述第二陶瓷板的侧面设有多个所述插口；所述第二陶瓷板盖住所述第一槽体，且正对所述第一陶瓷板的侧面设有贯通至顶面的第二槽体，所述真空电极位于腔体内侧的部分从所述第二槽体的顶部插入所述第二槽体内
。
[0010]进一步的，绝缘支撑组件还包括：连接所述腔室盖体的陶瓷固定板，所述第一陶瓷板和第二陶瓷板固定在所述陶瓷固定板下方
。
[0011]金属接线组件包括：安装在所述第二槽体内连接所述真空电极的导电片，安装在所述第一槽体内与所述导电片电连接的导电板，所述导电板正对每个所述插口设有一个导
电插槽；安装在所述第一陶瓷板上对应每个导电插槽的导电顶丝，所述导电顶丝可旋入所述插槽，顶紧经插口插入所述导电插槽的加热装置的接线端子
。
[0012]进一步的，所述腔室盖体的内侧面与加热装置安装位置之间间隔设置有多层间隔的隔热板
。
[0013]进一步的，所述密封件为安装在所述腔室盖体外侧的密封法兰
。
[0014]进一步的，所述真空电极成对设置，每一对所述真空电极间隔设置在所述腔室盖体靠近两侧的位置，对应每一对所述真空电极的绝缘支撑组件之间安装加热装置
。
[0015]进一步的，还包括：安装在所述腔室盖体内侧支撑加热装置的多块支撑板，所述支撑板靠近所述绝缘支撑组件设置
。
[0016]进一步的，所述腔室盖体的外侧还安装有罩住所述真空电极的防护罩
。
[0017]本专利技术还提出一种真空干燥镀膜设备，包括：腔体和盖装在腔体上的腔室盖体，以及安装在腔室盖体上的上述接线结构
。
[0018]与现有技术比较，本专利技术具有如下优势：
[0019]1.
将用于接线的金属接线结构与绝缘支撑结构做成分体式设计，将绝缘支撑结构安装在腔体上盖内侧，将金属接线结构设置在绝缘支撑结构内，使与腔室盖体接触的为绝缘材质，与加热管接触的为金属材质，即保证金属的力学强度，又实现陶瓷的绝缘性能
。
[0020]2.
在真空腔室内通过绝缘支撑结构包覆金属接线结构，通电能够避免引线端子出现拉电弧现象与短路
、
降低对腔室的损害以及提高镀膜质量
。
[0021]3.
采用支撑板来支撑加热管，同时采用导电顶丝固定加热管端部的接线端子，方便加热装置的拆卸安装，以及导电接触质量
。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0023]图1为本专利技术实施例中腔室结构示意图；
[0024]图2为本专利技术实施例中腔室盖体的立体结构示意图；
[0025]图3为本专利技术实施例中腔室盖体的正视图；
[0026]图4为本专利技术实施例中腔室盖体的侧视图；
[0027]图5为图3的
A
‑
A
截面图；
[0028]图6为图3的
B
的局部放大图；
[0029]图7为图5的
C
的局部放大图；
[0030]图8为本专利技术实施例中第二陶瓷板的结构示意图；
[0031]1、
腔体；
2、
加工件；
3、
载板；
[0032]4、
腔室盖体；
402、
第一隔热板；
403、
第二隔热板；
[0033]5、
绝缘支撑组件；
[0034]501、
防护罩；
502、
真空电极；
503、
密封法兰；
504、
法兰；
505、
陶瓷固定板；
506、
导电片；
507、
导电顶丝；
508、
第一陶瓷板；
509、
导电板；
510、
第二陶瓷板；
511、
支撑板；
5101、
第二
槽体；
5081、
第一槽体；
[0035]6、
加热装置；
61、
加热管；
62、
接线端子
。
具体实施方式
[0036]为了使本专利技术所要解决的技术问题
、
技术方案及有益效果更加清楚明白，以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，包括：多个真空电极，所述真空电极安装在腔室盖体上，并穿过所述腔室盖体伸入腔室内，所述真空电极位于腔室盖体外侧的部分用于连接外部电源，且所述真空电极与所述腔室盖体之间通过密封件密封；绝缘支撑组件，设置在所述腔室盖体内侧与所述真空电极一一对应，所述绝缘支撑组件内设有接线槽，所述绝缘支撑组件的侧面设有多个连通接线槽的插口，所述真空电极从绝缘支撑组件与腔室盖体的贴合面插入所述接线槽内；金属接线组件，设置在所述绝缘支撑组件的接线槽内，并与插入所述接线槽的真空电极的电连接，加热装置的端部插入所述插口与金属接线组件电连接
。2.
如权利要求1所述的用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，所述绝缘支撑组件包括：并排设置在所述腔室盖体内侧的第一陶瓷板和第二陶瓷板；所述第一陶瓷板正对所述第二陶瓷板的侧面设有第一槽体，背对所述第二陶瓷板的侧面设有多个所述插口；所述第二陶瓷板盖住所述第一槽体，且正对所述第一陶瓷板的侧面设有贯通至顶面的第二槽体，所述真空电极位于腔体内侧的部分从所述第二槽体的顶部插入所述第二槽体内
。3.
如权利要求2所述的用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，所述绝缘支撑组件还包括：连接所述腔室盖体的陶瓷固定板，所述第一陶瓷板和第二陶瓷板固定在所述陶瓷固定板下方
。4.
如权利要求2所述的用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，所述金属接线组...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，侯岳明，朱海剑，芦伟，戴宇星，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：