一种槽式清洗设备抽风系统技术方案

本实用新型专利技术属于槽式清洗技术领域，具体涉及一种槽式清洗设备抽风系统，包括：密闭槽底座，所述密闭槽底座适于对混酸槽进行支撑，并且所述密闭槽底座适于收集混酸槽内的酸气；排气管道机构，所述排气管道机构与所述密闭槽底座连接，所述排气管道机构适于将所述密闭槽底座内的酸气排出；实现了硅芯硅棒槽式清洗设备中酸气的高效抽取，便于酸气的排出

【技术实现步骤摘要】
一种槽式清洗设备抽风系统


[0001]本技术属于槽式清洗
，具体涉及一种槽式清洗设备抽风系统
。

技术介绍

[0002]在目前的硅芯硅棒清洗工艺中，通常将其浸泡在硝酸与氢氟酸的混合酸内发生化学反应进行表面腐蚀处理，其反应方程式为：
[0003]3Si+4HNO3+18HF
→
3H2SiF6+4NO+8H2O
[0004]在混酸腐蚀处理的过程中会产生氟化氢和氮氧化物气体，酸气的抽取需要时间，这种气体不仅会影响周围环境和设备更是会对暴露在此种气体中的操作人员身体产生一定的危害
。
[0005]因此，基于上述技术问题需要设计一种新的槽式清洗设备抽风系统
。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是提供一种槽式清洗设备抽风系统，以解决酸气抽取效率低的技术问题
。
[0007]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种槽式清洗设备抽风系统，包括：
[0008]密闭槽底座，所述密闭槽底座适于对混酸槽进行支撑，并且所述密闭槽底座适于收集混酸槽内的酸气；
[0009]排气管道机构，所述排气管道机构与所述密闭槽底座连接，所述排气管道机构适于将所述密闭槽底座内的酸气排出
。
[0010]进一步，所述槽式清洗设备抽风系统还包括：混酸槽；
[0011]所述混酸槽适于对硅芯硅棒进行清洗
。
[0012]进一步，所述密闭槽底座包括：混酸槽底座顶板
、
混酸槽底座支撑和混酸槽底座隔板；
[0013]所述混酸槽底座顶板设置在所述混酸槽底座支撑上；
[0014]所述混酸槽底座顶板适于对混酸槽进行支撑；
[0015]所述混酸槽底座隔板与所述混酸槽底座支撑侧壁连接，并且所述混酸槽底座隔板适于支撑混酸槽底座顶板；
[0016]所述混酸槽底座顶板
、
混酸槽底座支撑和混酸槽底座隔板适于围成腔室以容纳酸气
。
[0017]进一步，所述腔室适于与混酸槽的管路连通，以通过管路将混酸槽内的酸气排入腔室内
。
[0018]进一步，所述排气管道机构包括：若干侧抽风道；
[0019]所述侧抽风道设置在所述混酸槽底座顶板上方
。
[0020]进一步，所述排气管道机构还包括：若干竖抽风道；
[0021]所述竖抽风道的一端与对应的侧抽风道连通，另一端与混酸槽底座顶板连接，并
与密闭槽底座内的腔室连通
。
[0022]进一步，所述侧抽风道上开设有出风口；
[0023]所述出风口与
FFU
连接
。
[0024]进一步，所述出风口处设置有调风板；
[0025]所述调风板适于调节出风口的大小
。
[0026]进一步，所述侧抽风道的顶面上设置有机顶风阀；
[0027]所述机顶风阀适于排出机顶风阀内的酸气
。
[0028]进一步，所述侧抽风道的底板倾斜设置，并且在底板靠近混酸槽底座顶板的位置设置有漏液活接
。
[0029]本技术的有益效果是，本技术通过密闭槽底座，所述密闭槽底座适于对混酸槽进行支撑，并且所述密闭槽底座适于收集混酸槽内的酸气；排气管道机构，所述排气管道机构与所述密闭槽底座连接，所述排气管道机构适于将所述密闭槽底座内的酸气排出；实现了硅芯硅棒槽式清洗设备中酸气的高效抽取，便于酸气的排出
。
[0030]本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解
。
本技术的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得
。
[0031]为使本技术的上述目的
、
特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下
。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0033]图1是本技术的一种槽式清洗设备抽风系统的结构示意图；
[0034]图2是本技术的侧抽风道的结构示意图；
[0035]图3是本技术的底板的结构示意图；
[0036]图4是本技术的酸气流向图
。
[0037]图中：
[0038]1混酸槽底座顶板
、2
混酸槽底座支撑
、3
混酸槽底座隔板
、4
侧抽风道
、5
竖抽风道
、6
出风口
、7
机顶风阀
、8
底板
、9
漏液活接
、10
机顶进风口
、11
安装孔
。
具体实施方式
[0039]为使本技术实施例的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0040]如图1至图4所示，本实施例提供了一种槽式清洗设备抽风系统，包括：密闭槽底座，所述密闭槽底座适于对混酸槽进行支撑，并且所述密闭槽底座适于收集混酸槽内的酸
气；排气管道机构，所述排气管道机构与所述密闭槽底座连接，所述排气管道机构适于将所述密闭槽底座内的酸气排出；实现了硅芯硅棒槽式清洗设备中酸气的高效抽取，便于酸气的排出；利用密闭槽底座排出槽内酸气，使得槽式清洗设备空间利用最大化，节约成本
。
[0041]在本实施例中，所述槽式清洗设备抽风系统还包括：混酸槽；所述混酸槽适于对硅芯硅棒进行清洗；混酸槽内可以存储有硝酸与氢氟酸的混合酸，在硅芯硅棒清洗工艺中，将硅芯硅棒浸泡在硝酸与氢氟酸的混合酸内发生化学反应进行表面腐蚀处理，此时会产生酸气（氟化氢和氮氧化物气体）；混酸槽上端面可以设置槽盖，通过槽盖可以关闭或打开混酸槽，通过关闭槽盖可以避免酸气的外溢，通过设置在混酸槽上的管路，可以将混酸槽内产生的酸气抽出，避免酸气外溢造成周围环境和设备的损坏，并且避免酸气对周围操作人员的身体造成危害
。
[0042]在本实施例中，所述密闭槽底座包括：混酸槽底座顶板
1、
混酸槽底座支撑2和混酸槽底座隔板3；所述混酸槽底座顶板1设置在所述混酸槽底座支撑2上；所述混酸槽底座顶板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种槽式清洗设备抽风系统，其特征在于，包括：密闭槽底座，所述密闭槽底座适于对混酸槽进行支撑，并且所述密闭槽底座适于收集混酸槽内的酸气；排气管道机构，所述排气管道机构与所述密闭槽底座连接，所述排气管道机构适于将所述密闭槽底座内的酸气排出
。2.
如权利要求1所述的槽式清洗设备抽风系统，其特征在于，所述槽式清洗设备抽风系统还包括：混酸槽；所述混酸槽适于对硅芯硅棒进行清洗
。3.
如权利要求1所述的槽式清洗设备抽风系统，其特征在于，所述密闭槽底座包括：混酸槽底座顶板
、
混酸槽底座支撑和混酸槽底座隔板；所述混酸槽底座顶板设置在所述混酸槽底座支撑上；所述混酸槽底座顶板适于对混酸槽进行支撑；所述混酸槽底座隔板与所述混酸槽底座支撑侧壁连接，并且所述混酸槽底座隔板适于支撑混酸槽底座顶板；所述混酸槽底座顶板
、
混酸槽底座支撑和混酸槽底座隔板适于围成腔室以容纳酸气
。4.
如权利要求3所述的槽式清洗设备抽风系统，其特征在于，所述腔室适于与混酸槽的管路连通，以通过管路将混酸槽内的酸气排入腔室内

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，成旭，何其斌，杨依纯，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：