炉尾盖及炉尾密封装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种炉尾盖及炉尾密封装置，炉尾盖用于密封热炉的炉尾端，炉尾盖上设有与热炉内部的炉管连通的气管，且炉尾盖内部具有冷却腔，冷却腔内流通有冷却液

【技术实现步骤摘要】
炉尾盖及炉尾密封装置


[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种炉尾盖及炉尾密封装置
。

技术介绍

[0002]现有的尾盖密封装置是由尾盖钣金
、
硅酸铝隔热层等零件组成，广泛应用于光伏
、
半导体领域的热处理设备中
。
如图1所示：现有的结构是将硅酸铝隔热层2嵌套在尾盖钣金1上，然后将组成的尾盖密封装置通过螺栓固定在热场上，从而达到隔绝热源
、
保护热处理设备尾部的效果
。
由于安装在热场3上炉管4与尾盖密封装置为一体式，且炉管4的尾部存在多个气管
41
，现有结构加工困难，同时安装时对装配手法有一定的要求，难度较大，安装时可能会损坏石英管，生产效率低
。
[0003]此外，为了确保尾盖密封装置与热场的连接密封性，通常会设置一个炉尾密封圈，但是由于尾盖密封装置与热场连接位置的温度相对较高，炉尾密封圈非常容易老化，使用寿命较短
。

技术实现思路

[0004]本技术的第一个目的在于提出一种炉尾盖，该炉尾盖的安装方便，且能够较好地冷却炉尾密封件，延长炉尾密封件的使用寿命
。
[0005]本技术的第二个目的在于提出一种炉尾密封装置，该炉尾密封装置的安装较为方便，且能够较好地冷却炉尾密封件，延长炉尾密封件的使用寿命
。
[0006]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0007]本技术公开了一种炉尾盖，所述炉尾盖用于密封热炉的炉尾端，所述炉尾盖上设有与所述热炉内部的炉管连通的气管，且所述炉尾盖内部具有冷却腔，所述冷却腔内流通有冷却液，冷却腔的一部分设在炉尾盖用于密封炉尾端的结构内
。
[0008]在一些实施例中，所述冷却腔包括连通的第一腔体和第二腔体，所述第二腔体的纵截面与所述炉管的轴向垂直设置，所述第一腔体环绕所述第二腔体的周向设置
。
[0009]在一些具体的实施例中，所述第二腔体内设有多个沿所述炉管的周向间隔设置的挡水板
。
[0010]在一些更具体的实施例中，所述气管穿过所述第二腔体，沿所述炉管的周向相邻的两个挡水板中，其中一个所述挡水板的一端与所述气管相连，另一端与所述第二腔体的侧壁间隔设置，另一个所述挡水板的一端与所述第二腔体的侧壁相连，另一端与所述气管间隔设置
。
[0011]在一些具体的实施例中，所述第一腔体内还设有挡板，所述挡板位于所述第一腔体的进液口和所述第一腔体的出液口之间
。
[0012]在一些实施例中，所述炉尾盖上还设有进液管和出液管，所述进液管与所述第一腔体连通，所述出液管与所述第二腔体连通
。
[0013]在一些实施例中，所述炉尾盖包括：围板，所述围板包括竖板和连接于所述竖板上
的两个环形板，两个所述环形板间隔设置；外封板，所述外封板与两个所述环形板相连，且与所述两个环形板限定出第一腔体；内封板，所述内封板连接于位于内侧的所述环形板的内周壁，且与所述竖板限定出第二腔体；其中：位于内侧的所述环形板上设有连通所述第一腔体和所述第二腔体的连通孔
。
[0014]在一些实施例中，所述炉尾盖朝向所述炉管的一侧具有与所述炉管配合的配合槽以及止抵于炉尾密封件的密封凸起
。
[0015]在一些实施例中，所述炉尾盖沿其周向设有法兰盘，所述法兰盘用于与所述热炉的炉尾法兰相连
。
[0016]本技术还公开了一种炉尾密封装置，包括：法兰安装板，所述法兰安装板套设于热炉的炉尾端；炉尾法兰，所述炉尾法兰安装于所述法兰安装板；前文所述的炉尾盖，所述炉尾盖连接于所述炉尾法兰且用于封闭所述炉尾端，所述炉尾盖与所述炉尾法兰之间设有炉尾密封件
。
[0017]在一些具体的实施例中，所述炉尾盖上设有第一安装孔，所述炉尾法兰上设有与所述第一安装孔对应设置的第二安装孔，所述法兰安装板设有与所述第二安装孔对应设置的第三安装孔，连接件穿过所述第一安装孔
、
所述第二安装孔以及所述第三安装孔将所述炉尾盖
、
所述炉尾法兰及所述法兰安装板固定连接
。
[0018]本技术的炉尾盖的有益效果：由于炉尾盖上设有与热炉内部的炉管连通的气管，在炉尾盖安装过程中无需像现有技术中需要穿过炉管上的支管的安装操作，使得炉尾盖对装配手法的要求较低，安装难度较小，方便了炉尾盖的安装以及拆卸
。
与此同时，由于炉尾盖内部具有冷却腔，冷却腔的一部分设在炉尾盖用于密封炉尾端的结构内，一方面冷却腔能够降低由炉管内部向炉尾端辐射的热量，能够保证热炉的炉尾端具有较低的温度，另一方面还能够使得安装在炉尾端的炉尾密封件的环境温度保持在允许范围之内，降低了炉尾密封件的老化速度，延长了炉尾密封件的使用寿命
。
[0019]本实施例新型的炉尾密封装置的有益效果：在实际安装过程中，只需要将法兰安装板套设于炉尾端，然后将炉尾法兰安装到法兰安装板上，最后将炉尾盖安装到法兰安装板上既可，由于炉尾盖上设有与炉管连通的气管，在炉尾密封装置安装过程中无需像现有技术中需要穿过支管的安装操作，使得炉尾密封装置对装配手法的要求较低，安装难度较小，方便了炉尾密封装置的安装以及拆卸
。
此外，仅由一个炉尾法兰和一个炉尾盖通过挤压炉尾密封件进行密封，整个炉尾密封装置仅有一处密封点，降低了漏气时的排查难度
。
[0020]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到
。
附图说明
[0021]图1是现有技术中的尾盖密封装置的结构示意图；
[0022]图2是本技术实施例的炉尾盖的结构示意图；
[0023]图3是本技术的炉尾盖的内部结构示意图；
[0024]图4是本技术实施例的炉尾盖的另一个方向的结构示意图；
[0025]图5是图4所示的
A
‑
A
向剖视图；
[0026]图6是本技术实施例的炉尾盖的局部结构示意图；
[0027]图7是图6所示的
B
‑
B
向剖视图；
[0028]图8是图6所示结构的另一方向的结构示意图；
[0029]图9是本技术实施例的炉尾密封装置的剖视图；
[0030]图
10
是图9的局部结构放大视图
。
[0031]附图标记：
[0032]图1中：
[0033]1、
尾盖钣金；
2、
硅酸铝隔热层；
3、
热场；
4、
炉管；
41、
气管；
[0034]图2‑
图
10
中：
[0035]10、
炉尾盖；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
炉尾盖，其特征在于，所述炉尾盖用于密封热炉的炉尾端，所述炉尾盖上设有与所述热炉内部的炉管连通的气管，且所述炉尾盖内部具有冷却腔，所述冷却腔内流通有冷却液，所述冷却腔的一部分设在所述炉尾盖用于密封所述炉尾端的结构内
。2.
根据权利要求1所述的炉尾盖，其特征在于，所述冷却腔包括连通的第一腔体和第二腔体，所述第二腔体的纵截面与所述炉管的轴向垂直设置，所述第一腔体环绕所述第二腔体的周向设置
。3.
根据权利要求2所述的炉尾盖，其特征在于，所述第二腔体内设有多个沿所述炉管的周向间隔设置的挡水板
。4.
根据权利要求3所述的炉尾盖，其特征在于，所述气管穿过所述第二腔体，沿所述炉管的周向相邻的两个所述挡水板中，其中一个所述挡水板的一端与所述气管相连，另一端与所述第二腔体的侧壁间隔设置，另一个所述挡水板的一端与所述第二腔体的侧壁相连，另一端与所述气管间隔设置
。5.
根据权利要求2所述的炉尾盖，其特征在于，所述第一腔体内还设有挡板，所述挡板位于所述第一腔体的进液口和所述第一腔体的出液口之间
。6.
根据权利要求2‑5中任一项所述的炉尾盖，其特征在于，所述炉尾盖上还设有进液管和出液管，所述进液管与所述第一腔体连通，所述出液管与所述第二腔体连通
。7.
根据权利要求2‑5中任一项所述的炉尾盖，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，肖阳，易术，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：