线切割辅助振动装置及线切割设备制造方法及图纸

本申请实施例提供一种线切割辅助振动装置及线切割设备，其中，线切割辅助振动装置包括：振动发生器，用于将电能转换为机械振动；变幅杆，其一端与振动发生器相连；振动轮，与变幅杆的另一端转动连接；变幅杆将机械振动传递给振动轮，使振动轮产生振动

【技术实现步骤摘要】
线切割辅助振动装置及线切割设备


[0001]本申请涉及线切割技术，尤其涉及一种线切割辅助振动装置及线切割设备
。

技术介绍

[0002]线切割设备是利用快速移动的切割线对工件进行切割的设备，例如对硅棒进行截断
、
开方或切片等
。
技术人员在研究中发现，将超声振动施加在切割线上，能够提高切割效率，并能够提高切割质量
。
但是技术人员也发现施加超声振动后，切割线的磨损加重
、
断线几率增加，缩短了使用寿命，需要经常更换切割线，更换切割线的过程较为复杂，时间较长，降低了生产效率；而切割线断线还会造成切割质量降低
。
另外，由于切割线的变形能力较大，当振动作用在切割线上时，切割线自身会产生较大幅度的谐振，会导致振动损耗较大
。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术缺陷之一，本申请实施例中提供了一种线切割辅助振动装置及线切割设备
。
[0004]根据本申请实施例的第一个方面，提供了一种线切割辅助振动装置，包括：
[0005]振动发生器，用于将电能转换为机械振动；
[0006]变幅杆，其一端与振动发生器相连；
[0007]振动轮，与变幅杆的另一端转动连接；变幅杆将机械振动传递给振动轮，使振动轮产生振动
。
[0008]根据本申请实施例的第二个方面，提供了一种线切割设备，包括：
[0009]工件夹台，用于夹紧待切割工件；
[0010]切割装置，用于绕设切割线；切割装置与工件夹台可沿进给方向相对移动，所述切割线用于在走线过程中对待切割工件进行切割；
[0011]如上所述的线切割辅助振动装置，其输出端与切割线接触，以向切割线施加沿进给方向的超声振动
。
[0012]本申请实施例所提供的技术方案，采用振动发生器将电能转换为机械振动，变幅杆连接在振动发生器与振动轮之间，将机械振动传递给振动轮，并传递给与振动轮接触的切割线，带动切割线产生振动，实现在切割线走线对待切割工件进行切割的过程中进行超声辅助切割，切割线的振动会对硅棒产生微加工，通过叠加切割线切割和超声振动作用，有利于减小待切割工件切割面的显著线痕，使切割面的表面一致性更高，而且能减小待切割工件原料的损失，从而提高切割效率及切割质量
。
并且还能减小切割线所受的宏观作用力，使切割线的线弓控制和切削状态更加稳定
。
另外，采用振动轮与切割线滚动接触传递振动，振动轮的周面不易产生损伤，延长了振动轮的使用寿命，且减少对切割线走线及振动的限制
。
附图说明
[0013]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定
。
在附图中：
[0014]图1为本申请实施例提供的线切割辅助振动装置的主视图；
[0015]图2为本申请实施例提供的线切割辅助振动装置的侧视图；
[0016]图3为本申请实施例提供的线切割设备的结构示意图；
[0017]图4为图3所示线切割设备的后视图；
[0018]图5为本申请实施例提供的线切割辅助振动装置的部分结构立体图；
[0019]图6为本申请实施例提供的线切割装置中第二夹台振动装置的安装结构示意图；
[0020]图7为本申请提供的线切割装置中第一夹台振动装置的安装结构示意图
。
[0021]附图标记：
[0022]1‑
工件夹台；
11
‑
承载平台；
12
‑
导向杆；
13
‑
夹台底座；
14
‑
夹台；
15
‑
导向柱；
16
‑
夹板；
[0023]2‑
硅棒；
[0024]31
‑
切割线；
32
‑
切割轮；
33
‑
张力轮；
34
‑
过线导轮；
[0025]4‑
切割框架；
41
‑
横梁；
[0026]5‑
进给驱动机构；
[0027]7‑
线振动装置；
71
‑
振动发生器；
72
‑
变幅杆；
721
‑
振动臂；
73
‑
振动轮；
731
‑
轮体；
732
‑
轮轴；
74
‑
支座；
741
‑
调整缝；
[0028]81
‑
第一夹台振动装置；
82
‑
第二夹台振动装置
。
具体实施方式
[0029]为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举
。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合
。
[0030]本实施例提供一种线切割辅助振动装置，可用于线切割设备中，用于向切割线施加辅助振动，辅助切割过程提高切割效率及切割质量
。
[0031]线切割设备通过切割线对待切割工件进行切割，可以将较大或较长尺寸的待切割工件截断成合适尺寸的工件，例如截断机；也可以将圆柱形的待切割工件切割成横截面为矩形的工件，例如开方机；也可以将横截面为矩形的待切割工件切成一定数量的薄片，例如切片机
。
切割线可以为镀覆有金刚石磨粒的细线
。
[0032]待切割工件可以为光伏硅
(
单晶硅棒
、
多晶硅锭
)、
石英晶体
、
碳化硅
、
半导体
、
氮化硅
、
蓝宝石
、
磁材
、
陶瓷
、
硬质合金等硬脆材料工件
。
[0033]本实施例仅以硅棒作为待切割工件为例，以截断机作为线切割设备为例进行说明
。
本领域技术人员可以直接将本实施例所提供的方案应用于其它线切割设备，以对其它类型的工件进行切割；也可以对本实施例所提供的技术方案的相关技术特征作出等同的更改或替换后应用于其它线切割设备，以对其它类型的工件进行切割，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内
。
[0034]如图4和图5所示，本实施例提供的线切割设备包括：工件夹台
1、
切割装置和线切割辅助振动装置
(...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种线切割辅助振动装置，其特征在于，包括：振动发生器，用于将电能转换为机械振动；变幅杆，其一端与振动发生器相连；振动轮，与变幅杆的另一端转动连接；变幅杆将机械振动传递给振动轮，使振动轮产生振动；所述变幅杆的端部沿其长度方向延伸形成两个相对设置的振动臂，两个振动臂之间形成用于容纳振动轮的空间
。2.
根据权利要求1所述的线切割辅助振动装置，其特征在于，所述振动轮包括：轮体和轮轴；所述轮轴转动设置于变幅杆的端部，轮体与轮轴固定连接
。3.
根据权利要求2所述的线切割辅助振动装置，其特征在于，所述振动臂设有供轮轴穿过的连接孔，两个振动臂上的连接孔同轴
。4.
根据权利要求1‑3任一项所述的线切割辅助振动装置，其特征在于，还包括：支座；所述支座设有通孔，通孔的中心线与变幅杆的长度方向一致；所述振动发生器紧固于通孔内
。5.
根据权利要求4所述的线切割辅助振动装置，其特征在于，所述支座还设有调整缝，所述调整缝从支座的一端延伸至与通孔连通；所述调整缝将支座中设有调整缝的端部分隔为两个调整部，两个调整部之间通过紧固件紧固连接以夹紧振动发生器
。6.
根据权利要求5所述的线切割辅助振动装置，其特征在于，其中一个调整部设有通孔，另一个调整部设有螺纹孔，螺纹孔与通孔同轴，通过螺纹紧固件穿过通孔后旋入螺纹孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：仇健，张宏翔，张善保，杨晓鹏，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：