器件烧结用分段式辊道烧结炉制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体器件烧结用设备技术领域，具体的说是一种器件烧结用分段式辊道烧结炉，其特征在于，机架上设有分别对应预热工艺段

【技术实现步骤摘要】
器件烧结用分段式辊道烧结炉


：
[0001]本技术涉及半导体器件烧结用设备
，具体的说是一种结构合理
、
便于不同烧结工艺差异性调整的器件烧结用分段式辊道烧结炉
。

技术介绍

：
[0002]现有烧结炉中物料传送机构采用传送带式，烧结炉内设置一条完整的环状金属传送带，铺设在烧结炉炉膛内及外部的传动机构间，依靠出口驱动辊与传送带的摩擦力，驱动辊带动传送带循环运动，待烧结物放在金属传送带上，随传送带分别经过烧结炉的预热区
、
高温烧结区
、
冷却区，依次完成待烧结物的预热
、
高温烧结
、
冷却的生产工艺流程
。
[0003]但是不同的陶瓷或玻璃材料烧结在预热
、
高温
、
冷却段对应的工艺温度曲线不同，例如某些材料要求高温烧结后需要快速降温，有些材料要求预热温度高，预热时间长等，而现有传送带式烧结炉内的传送机构在预热工艺段
、
高温烧结工艺段
、
冷却工艺段的运转速度相同，不能同时满足不同工艺段的差异性需求，导致产品性能不及预期或生产效率低
。

技术实现思路

：
[0004]本技术针对现有技术中存在的缺点和不足，提出了一种结构合理
、
便于不同烧结工艺差异性调整的器件烧结用分段式辊道烧结炉
。
[0005]本技术通过以下措施达到：
[0006]一种器件烧结用分段式辊道烧结炉，设有机架，机架上对应预热工艺段
、
烧结工艺段
、
冷却工艺段依次设有相连通的预热段炉体
、
烧结段炉体
、
冷却段炉体，其特征在于，机架上设有分别对应预热工艺段
、
烧结工艺段
、
冷却工艺段的预热传送机构
、
烧结传送机构
、
冷却传送机构，所述预热传送机构
、
烧结传送机构
、
冷却传送机构均包括传动辊支架
、
辊轴
、
传动辊以及动力组件，其中传动辊支架设置在机架两侧，传动辊支架上开设辊轴孔，并在辊轴孔处设有轴承，传动辊固定在辊轴上，辊轴经轴承架设在机架上，所述动力组件包括电动机
、
减速器
、
链轮
、
传动链条
、
传动链轮，所述电动机的输出轴与减速器相连，减速器输出轴连接链轮，辊轴上设有传动链轮，传动链条分别与链轮
、
传动链轮啮合
。
[0007]本技术所述预热段炉体
、
烧结段炉体上分别设有进气管路
、
出气管路以及加热器件，所述加热器件采用电加热器，固定在炉体顶部和底部内侧，所述进气管路均沿炉体侧面送气，出气管路设置在炉体顶部，用于排出制造过程中的废气，进一步，为了改变炉体内各角落的气流氛围，预热段炉体和烧结段炉体侧面等间距的分布两个以上的进气管路，优选为4路进气管路
。
[0008]本技术所述冷却段炉体内侧顶部也设有加热器，用于配合实现对冷却传送机构上的烧结物控温冷却
。
[0009]本技术所述预热传送机构
、
烧结传送机构
、
冷却传送机构中均设有两个以上沿机架宽度方向平行设置的传动辊，传动辊的直径范围为
35
‑
40mm
，相邻辊轴间距范围为
30
‑
100mm。
[0010]本技术所述机架上的预热段炉体
、
烧结段炉体
、
冷却段炉体分别设有炉体保温层，所述传动辊支架设置在炉体及炉体保温层外侧的机架上，以便于维修，对应的，预热段炉体
、
烧结段炉体
、
冷却段炉体及炉体保温层上开设与传动辊支架相对的辊轴孔，使传动辊的辊轴两端穿过炉体架设在传动辊支架上
。
[0011]本技术通过分段式设置热传送机构
、
烧结传送机构
、
冷却传送机构，使预热工艺段
、
烧结工艺段
、
冷却工艺段的物料运转速度和时间能够适应性调整，在不增加设备整体长度的前提下，有效提高物料烧结质量，与现有技术相比，具有结构合理
、
调整灵活
、
维护简便等显著的优点
。
附图说明
：
[0012]附图1是本技术的结构示意图
。
[0013]附图2是本技术中传动辊的安装示意图
。
[0014]附图标记：预热工艺段
1、
烧结工艺段
2、
冷却工艺段
3、
机架
4、
辊轴
5、
传动辊
6、
电动机
7、
链轮
8、
传动链条
9、
传动链轮
10、
预热段炉体
11、
烧结段炉体
12、
冷却段炉体
13
、
进气管路
14、
出气管路
15、
加热器件
16、
烧结物
17。
具体实施方式
：
[0015]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明
。
[0016]如附图1所示，本技术提出了一种器件烧结用分段式辊道烧结炉，设有机架4，机架4上对应预热工艺段
1、
烧结工艺段
2、
冷却工艺段3依次设有相连通的预热段炉体
11、
烧结段炉体
12、
冷却段炉体
13
，机架4上设有分别对应预热工艺段
1、
烧结工艺段
2、
冷却工艺段3的位于预热段炉体内的预热传送机构
、
位于烧结段炉体内的烧结传送机构
、
位于冷却段炉体内的冷却传送机构，所述预热传送机构
、
烧结传送机构
、
冷却传送机构均包括传动辊支架
、
辊轴
5、
传动辊6以及动力组件，其中传动辊支架设置在机架4两侧，传动辊支架6上开设辊轴孔，并在辊轴孔处设有轴承，传动辊6固定在辊轴5上，辊轴5经轴承架设在机架4上，所述动力组件包括电动机
7、
减速器
、
链轮
8、
传动链条
9、
传动链轮
10
，所述电动机7的输出轴与减速器相连，减速器输出轴连接链轮8，辊轴5上设有传动链轮
10
，传动链条9分别与链轮
8、
传动链轮<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种器件烧结用分段式辊道烧结炉，设有机架，机架上对应预热工艺段
、
烧结工艺段
、
冷却工艺段依次设有相连通的预热段炉体
、
烧结段炉体
、
冷却段炉体，其特征在于，机架上设有分别对应预热工艺段
、
烧结工艺段
、
冷却工艺段的预热传送机构
、
烧结传送机构
、
冷却传送机构，所述预热传送机构
、
烧结传送机构
、
冷却传送机构均包括传动辊支架
、
辊轴
、
传动辊以及动力组件，其中传动辊支架设置在机架两侧，传动辊支架上开设辊轴孔，并在辊轴孔处设有轴承，传动辊固定在辊轴上，辊轴经轴承架设在机架上，所述动力组件包括电动机
、
减速器
、
链轮
、
传动链条
、
传动链轮，所述电动机的输出轴与减速器相连，减速器输出轴连接链轮，辊轴上设有传动链轮，传动链条分别与链轮
、
传动链轮啮合
。2.
根据权利要求1所述的一种器件烧结用分段式辊道烧结炉，其特征在于，所述预热段炉体
、
烧结段炉体上分别设有进气管路
、
出气管路...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹永茂，陈文卓，王吉刚，冷正超，于庆涛，
申请(专利权)人：山东华菱电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：