一种射频探针模型参数提取方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种射频探针模型参数提取方法及装置，该方法包括：获取矢量网络分析仪的初始参数和校准标准件的前置参数；初始参数包括起止频点和频率步进，校准标准件包括反射开路

【技术实现步骤摘要】
一种射频探针模型参数提取方法及装置


[0001]本专利技术涉及射频微波毫米波探针
，特别涉及一种射频探针模型参数提取方法及装置
。

技术介绍

[0002]随着
5G、6G、
卫星通信等新一代通信技术与半导体制造工艺的快速发展，测试频率已由射频频段向微波毫米波乃至亚毫米波频段延伸，在裸芯片测试时必须使用射频探针
。
射频探针作为在片测试时，被测器件与测试系统连接的最直接过渡连接装置，其性能的好坏直接影响整体测试结果
。
射频微波毫米波探针电路模型及行为模型参数的精准与否对测试结果的好坏起着至关重要的作用
。
[0003]射频测试在测试前必须要进行系统校准，但现有自校准算法受实物物理排布限制，应用范围受限；而且大部分自校准算法还必须确定射频探针与相应校准件配合的模型参数，当前探针模型参数由电磁仿真所得，该方法精度较低，且难以适应毫米波乃至亚毫米对测试精度的要求
。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种射频探针模型参数提取方法及装置，采用该方法提取得到的模型参数精度高
、
适用范围更广
。
[0005]第一方面，本专利技术提供了一种射频探针模型参数提取方法，包括：
[0006]获取矢量网络分析仪的初始参数和校准标准件的前置参数；所述初始参数包括起止频点和频率步进，所述校准标准件包括反射开路
、
反射短路
、
匹配负载和双端口校准标准件直通；<br/>[0007]连接待测射频探针与所述校准标准件，获取测试
S
参数；
[0008]采用自校准算法，基于所述前置参数和所述测试
S
参数确定所述待测射频探针与所述校准标准件的反射系数；
[0009]将所述反射系数转换为初始模型参数；
[0010]根据所述初始模型参数和所述初始参数，确定目标模型参数
。
[0011]可选地，所述反射系数包括开路标准件反射系数
、
短路标准件反射系数
、
负载标准件反射系数；所述初始模型参数包括开路电容
、
短路电感
、
负载电感
。
[0012]可选地，所述将所述反射系数转换为初始模型参数，包括：
[0013]根据所述校准标准件的等效电路模型
、
所述待测射频探针的特征阻抗和所述开路标准件反射系数，计算得到所述开路电容；
[0014]根据所述校准标准件的等效电路模型
、
所述待测射频探针的特征阻抗和所述短路标准件反射系数，计算得到所述短路电感；
[0015]根据所述校准标准件的等效电路模型
、
所述待测射频探针的特征阻抗和所述负载标准件反射系数，计算得到所述负载电感
。
[0016]可选地，所述根据所述初始模型参数和所述初始参数，确定目标模型参数，包括：
[0017]根据所述起止频点和所述频率步进，确定所述初始模型参数对应的权重；
[0018]根据所述权重对所述初始模型参数进行加权计算，得到所述目标模型参数；其中，所述目标模型参数包括目标开路电容
、
目标短路电感
、
目标负载电感
。
[0019]可选地，所述目标模型参数通过如下公式计算得到：
[0020][0021]其中，
C
O
用于表征所述目标开路电容；
L
S
用于表征所述目标短路电感；
L
L
用于表征所述目标负载电感；
n
用于表征由所述起止频点和所述频率步进确定的总频点；
f
i
用于表征第
i
个频点对应的频率；
C
Oi
用于表征第
i
个频点下的开路电容；
L
Si
用于表征第
i
个频点下的短路电感；
L
Li
用于表征第
i
个频点下的负载电感
。
[0022]可选地，在所述获取测试
S
参数之前，还包括根据所述前置参数确定校准平面修正矩阵
。
[0023]可选地，所述自校准算法采用基于十项误差模型的
LRRM
算法
。
[0024]可选地，所述初始参数还包括输出功率
、
中频带宽和平均次数
。
[0025]可选地，所述前置参数包括所述双端口校准标准件直通的延时与插入损耗
、
匹配负载的直流电阻
。
[0026]第二方面，本专利技术提供了一种射频探针模型参数提取装置，包括：
[0027]获取模块，用于获取矢量网络分析仪的初始参数和校准标准件的前置参数；所述初始参数包括起止频点和频率步进，所述校准标准件包括反射开路
、
反射短路
、
匹配负载和双端口校准标准件直通；并连接待测射频探针与所述校准标准件，获取测试
S
参数；
[0028]反射系数确定模块，用于采用自校准算法，基于所述前置参数和所述测试
S
参数确定所述待测射频探针与所述校准标准件的反射系数；
[0029]转换模块，用于将所述反射系数转换为初始模型参数；
[0030]参数确定模块，用于根据所述初始模型参数和所述初始参数，确定目标模型参数
。
[0031]第三方面，本专利技术实施例还提供了一种计算设备，包括存储器和处理器，所述存储器中存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时，实现本说明书任一第一方面所述的方法
。
[0032]第四方面，本专利技术实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，当所述计算机程序在计算机中执行时，令计算机执行本说明书任一第一方面所述的
方法
。
[0033]本专利技术实施例提供了一种射频探针模型参数提取方法及装置，该方法通过获取实测的测试
S
参数，采用自校准算法获得反射系数，在将该反射系数转换为初始模型参数后，结合包括起止频点和频率步进的初始参数进一步确定目标模型参数
。
如此，模型参数在校准过程中可自动获得，不再依赖于电磁仿真的参数，而是借助实测
S
参数通过起止频点和频率步进对初始模型参数进行优化，更符合物理实际，所提取到的目标模型参数的精度更高，进而有效解决现有射频微波毫米波探针精度不足
、
适用范围受限的问题
。
附图说明
[0034]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种射频探针模型参数提取方法，其特征在于，包括：获取矢量网络分析仪的初始参数和校准标准件的前置参数；所述初始参数包括起止频点和频率步进，所述校准标准件包括反射开路
、
反射短路
、
匹配负载和双端口校准标准件直通；连接待测射频探针与所述校准标准件，获取测试
S
参数；采用自校准算法，基于所述前置参数和所述测试
S
参数确定所述待测射频探针与所述校准标准件的反射系数；将所述反射系数转换为初始模型参数；根据所述初始模型参数和所述初始参数，确定目标模型参数
。2.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述反射系数包括开路标准件反射系数
、
短路标准件反射系数
、
负载标准件反射系数；所述初始模型参数包括开路电容
、
短路电感
、
负载电感
。3.
根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述将所述反射系数转换为初始模型参数，包括：根据所述校准标准件的等效电路模型
、
所述待测射频探针的特征阻抗和所述开路标准件反射系数，计算得到所述开路电容；根据所述校准标准件的等效电路模型
、
所述待测射频探针的特征阻抗和所述短路标准件反射系数，计算得到所述短路电感；根据所述校准标准件的等效电路模型
、
所述待测射频探针的特征阻抗和所述负载标准件反射系数，计算得到所述负载电感
。4.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述初始模型参数和所述初始参数，确定目标模型参数，包括：根据所述起止频点和所述频率步进，确定所述初始模型参数对应的权重；根据所述权重对所述初始模型参数进行加权计算，得到所述目标模型参数；其中，所述目标模型参数包括目标开路电容
、
目标短路电感
、
目标负载电感
。5.
根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述目标模型参数通过如下公式计算得到：到：到：其中，
C
O
用于表征所述目标开路电容；
L
S
用于表征所述目标短路电感；
L
L
用于表征所述

【专利技术属性】
技术研发人员：丁旭，徐棒，李云峰，
申请(专利权)人：浙江铖昌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：